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公开(公告)号：CN103094049A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201110333503.7
申请日：2011-10-28
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: H01J41/06
Abstract: 本发明提供一种电离规，用于测量具有导体外壳的真空系统的真空度，该电离规包括阴极装置、阳极装置和离子收集装置，所述阴极装置与所述离子收集装置设置于所述阳极装置的两侧并与所述阳极装置间隔设置，所述阴极装置进一步包括电子发射体，所述电子发射体延伸向所述阳极装置并与所述阳极装置间隔设置，其特征在于，所述电子发射体包括至少一个碳纳米管线，所述电离规直接设置在待测真空系统的导体外壳中。
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公开(公告)号：CN101952703A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200880126701.2
申请日：2008-12-17
Applicant: 布鲁克机械公司
Inventor： 葛拉多·A·布鲁克尔
Abstract: 一种离子计包括电子产生器阵列，所述电子产生器阵列包括微通道板，所述微通道板包括：所述微通道板的电子产生部分，其包含用于产生种子电子的源；和所述微通道板的电子倍增器部分，其回应于所述电子产生部分所产生的所述种子电子而倍增电子。所述离子计包括：离子化容积，在其中所述电子撞击气态物质；和收集电极，用于收集通过所述电子与所述气态物质之间的撞击形成的离子。所述收集电极可由阳极围绕，或所述离子计可形成有多个收集电极。电子源可提供自发的电子发射，其中电子被级联地倍增。
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公开(公告)号：CN101138066B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200680007372.0
申请日：2006-03-02
Applicant: 因菲康有限公司
IPC: H01J41/06
Abstract: 本发明涉及一种冷阴极压力传感器(10)，其包括：气密壳体(12)；测试气体入口(18)；设置在所述壳体(12)中的阳极(14)和阴极(16、17)；以及朝向所述阴极(16、17)以触发冷阴极放电的辐射源(20)。所述壳体(12)的至少一部分由玻璃制成。所述辐射源(20)设置在所述壳体(12)外并透过制成所述壳体的玻璃照射所述阴极(16、17)。来自所述辐射源(20)的射线的波长大体上处于从大于350nm到小于1400nm的范围内。
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公开(公告)号：WO2009085165A2
公开(公告)日：2009-07-09
申请号：PCT/US2008/013790
申请日：2008-12-17
Applicant: BROOKS AUTOMATION, INC. , BRUCKER, Gerardo, A.
Inventor： BRUCKER, Gerardo, A.
Abstract: An ionization gauge includes an electron generator array that includes a microchannel plate that includes an electron generating portion of the microchannel plate comprising a source for generating seed electrons and an electron multiplier portion of the microchannel plate, responsive to the seed electrons generated by the electron generating portion, that multiplies the electrons. The ionization gauge includes an ionization volume in which the electrons impact a gaseous species, and a collector electrode for collecting ions formed by the impact between the electrons and gas species. The collector electrode can be surrounded by the anode, or the ionization gauge can be formed with multiple collector electrodes. The source of electrons can provide for a spontaneous emission of electrons, where the electrons are multiplied in a cascade.
Abstract translation: 电离计包括电子发生器阵列，该电子发生器阵列包括微通道板，微通道板包括微通道板的电子发生部分，微通道板的电子发生部分包括用于产生种子电子的源和微通道板的电子倍增器部分， 由电子发生部分产生的种子电子使电子倍增。 电离计包括其中电子撞击气态物质的电离体积和用于收集由电子和气体物质之间的碰撞形成的离子的收集电极。 集电极可以被阳极包围，或者电离规可以形成有多个集电极。 电子的来源可以提供电子的自发发射，其中电子级联成倍数。
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公开(公告)号：JP2015001391A
公开(公告)日：2015-01-05
申请号：JP2013124495
申请日：2013-06-13
Applicant: キヤノンアネルバ株式会社 , Canon Anelva Corp
Inventor： ENOMOTO ITARU , MANO HIDEO
IPC: G01L21/34
Abstract: 【課題】所定の放電空間を形成するにあたり装置の大型化を低減し、測定子容器の内壁への付着を低減するための部材のガタつきの低減を簡便に実現することが可能な冷陰極電離真空計及び内壁保護部材を提供すること。【解決手段】本発明の一実施形態に係る冷陰極電離真空計は、放電空間9を形成すべく一方を他方が囲むように配置された測定子容器(陰極)1、陽極2と、放電空間9に配置され、上記囲むように配置された他方の電極である測定子容器(陰極)1の内壁面7を保護する内壁保護部材5と、を備え、内壁保護部材5は、導電性を有し、内壁面7の形状に沿って弾性変形することで測定子容器(陰極)1と電気的に接続される。【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种冷阴极电离真空计和内壁保护构件，其能够在形成预定的放电空间时抑制装置的尺寸变大，并且容易地减少用于减少粘附的构件的松动 一个冷阴极电离真空计包括：一个排列为围绕一个电极形成放电空间9的量筒头容器（阴极）1; 阳极2作为一个电极; 以及布置在放电空间9中的内壁保护构件5，用于保护测量头容器（阴极）1的内壁7作为围绕一个电极布置的另一电极。 内壁保护构件5通过沿着内壁7的形状弹性变形而导电并电连接到量筒头容器（阴极）1。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2017168557A1
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：PCT/JP2016/060095
申请日：2016-03-29
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Abstract: 排気系の振動が引き起こす解像度の低下を抑制することができるようにするとともに、新たに真空測定ゲージを設けることなく真空度の測定を可能にするために、真空装置を、内部に電子源を備えた電子銃室と、電子源から放出される電子線を試料に照射する照射光学系を有する光学鏡筒と、電子銃室と電気的に絶縁され、非蒸発ゲッター合金にて形成されたカソードと、カソードから所定の間隔をあけてカソードの周囲を覆うアノードと、カソードとアノードとの間の領域に磁場を形成する磁場形成部と、カソードに流れる電流を検出する電流検出部とを備えて構成した。
Abstract translation: 一起，以便能够抑制分辨率的降低
排气系统的振动引起，为了使真空度的测量不必设置新的真空测量仪，真空装置 其中具有电子源的电子枪室，具有照射光学系统的光学镜筒，用于用从电子源发射的电子束照射样品，与电子枪室电绝缘的非易失性吸气剂， 检测由合金，阳极覆盖从阴极阴极的周边以预定的距离，并形成在阴极和阳极之间的区域中的磁场的磁场发生器，流过阴极的电流形成的阴极 还有一个电流检测部分。
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公开(公告)号：WO2017050361A1
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：PCT/EP2015/071846
申请日：2015-09-23
Applicant: INFICON AG
Inventor： WÜEST, Martin
IPC: H01J41/06
CPC classification number: H01J41/06 , H01J2237/18 , H01J2237/31701
Abstract: Eine Ionisations-Vakuummesszelle (10) umfasst ein evakuierbares Gehäuse (12) mit einem Messanschluss für ein zu messendes Vakuum an einem Endabschnitt, eine Messkammer (14) im Gehäuse (12), die mit dem Messanschluss in Fluidverbindung steht, wobei die Messkammer (14) als austauschbares Bauteil ausgebildet ist, und eine erste und eine zweite Elektrode (16, 18) in der Messkammer (14), die im Wesentlichen koaxial bezüglich einer Achse und voneinander beabstandet angeordnet sind. Ferner umfasst sind eine elektrisch isolierende und vakuumdichte Durchführung (20) für eine elektrische Zuführung zur zweiten Elektrode (18), und eine Magnetisierungsanordnung, welche ausgebildet ist, im Ionisationsraum ein Magnetfeld zu erzeugen. Erfindungsgemäss umfasst die Messkammer (14), insbesondere mindestens eine der Elektroden (16, 18) ein magnetisches Material.
Abstract translation: 包括可抽真空的外壳（12）具有在其端部用于测量真空测量连接的电离真空测量单元（10），与在流体连接测量端口，其中，所述测量腔连通的壳体（12）的测量室（14）（14 ）被构造为可更换部件，以及第一和在其相对于轴线基本上同轴地布置，并且彼此间隔开的所述测量室（14）的第二电极（16，18）。 进一步包括的是用于电气供应到第二电极（18），并且其适于生成在所述电离室的磁场的磁化装置的电绝缘和真空密封的通道（20）。 根据本发明，所述测量室（14），尤其是至少一个电极（16，18）包括磁性材料。
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公开(公告)号：WO2009063233A3
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/GB2008050913
申请日：2008-10-07
Applicant: EDWARDS LTD , KEY MATTHEW
Inventor： KEY MATTHEW
IPC: H01J41/06
CPC classification number: H01J41/06
Abstract: A gauge head (10) for an ionisation vacuum gauge includes an electrical device (12, 28, 54) operable to provide an electrical discharge in a gas whose pressure is to be measured to initiate ion discharge in the gas.
Abstract translation: 用于电离真空计的测量头（10）包括电气设备（12,28,54），其可操作以在要测量其压力的气体中提供放电，以启动气体中的离子放电。
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公开(公告)号：KR100481861B1
公开(公告)日：2005-04-11
申请号：KR1020020057188
申请日：2002-09-19
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김상기
IPC: H01L21/265
CPC classification number: H01J37/09 , H01J37/3171 , H01J41/06 , H01J2237/0264 , H01J2237/18
Abstract: 본 발명은 반도체 소자를 제조하기 위한 이온 주입 장치로, 이온 주입 장치는 이온소스부에서 생성된 이온들 중 웨이퍼에 주입할 이온만을 선별하는 분류기, 상기 분류기의 진공을 형성하기 위한 진공장치, 상기 분류기의 진공도를 측정하는 측정기, 그리고 상기 분류기에서 발생되는 자기장에 의해 상기 측정기가 영향을 받는 것을 최소화하는 차폐기를 구비한다. 본 발명에서 상기 차폐기는 상기 측정기의 둘레를 감싸는 복수의 차폐판들과 상기 복수의 차폐판들 사이에 삽입되는 유전체를 구비한다.
본 발명인 이온 주입 장치에 의하면 상기 측정기인 콜드 캐소드 이온 게이지의 둘레에 차폐기를 구비하므로, 상기 콜드 캐소드 이온 게이지 내부에 형성된 자기장이 분류기에서 발생된 자기장에 의해 영향을 받는 것을 최소화할 수 있어, 상기 분류기 내의 진공도를 정확하게 측정할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：WO2017192352A1
公开(公告)日：2017-11-09
申请号：PCT/US2017/029829
申请日：2017-04-27
Applicant: MKS INSTRUMENTS, INC.
Inventor： SWINNEY, Timothy, C. , PERCY, Clinton, L. , MARION, Duane, W. , KELLY, Brandon, J.
Abstract: A cold cathode ionization gauge includes multiple cathodes providing different spacings between the cathodes and an anode. The multiple cathodes allow for pressure measurements over wider ranges of pressure. A first cathode with a larger spacing may provide current based on Townsend discharge; whereas, a second cathode having a smaller spacing may provide current based on both Townsend discharge at higher pressures and on Paschen's Law discharge at still higher pressures. A feature on the second cathode may support Paschen's Law discharge. Large resistances between the cathodes and a return to power supply enable control of output profiles to extend the pressure ranges with accurate responses and avoid output minima. Pressure measurements may be made based on currents from respective cathodes dependent on the outputs of the cathodes through the wide pressure range of measurement. The multiple cathodes may also provide measurements that avoid the discontinuities found in current outputs of the respective cathodes.
Abstract translation: 冷阴极电离计包括在阴极和阳极之间提供不同间距的多个阴极。 多个阴极可以在更宽的压力范围内进行压力测量。 具有较大间距的第一阴极可以基于Townsend放电提供电流; 而具有较小间距的第二阴极可以基于较高压力下的Townsend放电和更高压力下的帕邢定律放电提供电流。 第二个阴极上的特征可以支持帕邢定律放电。 阴极之间的大电阻和返回电源可以控制输出配置文件，从而以精确的响应延长压力范围，并避免输出最小值。 压力测量可以基于来自各个阴极的电流，取决于阴极的输出通过宽测量压力范围。 多阴极也可以提供测量，以避免在各个阴极的电流输出中发现的不连续性。
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