冷阴极电子枪和采用该冷阴极电子枪的真空规管

    公开(公告)号:CN100426440C

    公开(公告)日:2008-10-15

    申请号:CN200410027020.4

    申请日:2004-04-21

    CPC classification number: G01L21/34

    Abstract: 一种用于超高真空和极高真空量测的冷阴极电子枪,其包括一栅极和一设置于该栅极下方的阴极,其特征在于在该栅极上方平行设置一屏蔽极。本发明还提供一种使用上述冷阴极电子枪的真空规管,其包括一外壳、一收集极、一阳极和一冷阴极电子枪;该冷阴极电子枪和该收集极相对该阳极同轴对称放置;该外壳开口一端与待测器件相接,其特征在于该冷阴极电子枪包括一栅极、一平行设置于该栅极上方的屏蔽极和一设置于该栅极下方的阴极。本发明采用冷阴极电子枪的真空规管具有阴极体积小、功耗小、灵敏度高和降低吸放气率的优点。

    真空测量仪
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101133308A

    公开(公告)日:2008-02-27

    申请号:CN200680007086.4

    申请日:2006-03-01

    CPC classification number: G01L21/32 G01L21/12 H01J1/3042 H01J41/04

    Abstract: 本发明提出一种发射电子的阴极(6),它由装接到由不锈钢制成的侧壁(2)上的导电的发射层(7)和门(9),将该门以很小的距离固定在发射层(7)的凹入的发射表面的内部。阴极(6)围绕着一个反应区域(3),该反应区域包含一个圆柱形的筛网状的阳极(5)和一个位于中心的离子收集器(4),该离子收集器包括一直的轴向细丝。电流计(11)测量反映在反应区域(3)中气体密度的离子收集器电流(IIC),同时将门电压(VG)保持在发射层(7)的地电压与较高的阳极电压(VA)之间,并且调节门电压,其方式使得将阳极电流(IA)保持不变。发射层(7)可包括碳纳米管,金刚石状的碳,一种金属或一种金属混合物,或者一种半导体材料,半导体材料例如是可以比如用碳化物或钼涂布的硅。然而,发射表面也可是例如被化学刻蚀过程变粗糙的侧壁的内表面的一部分。门(9)可以是一种筛网,或者,它可以包括覆盖分布在发射区上的隔离器的金属薄膜小片或覆盖设置在发射表面上的电子可穿透层的一层金属薄膜。

    POWER SUPPLY FOR IONIZATION
    18.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2001050845A

    公开(公告)日:2001-02-23

    申请号:JP22483699

    申请日:1999-08-09

    Applicant: SHIMADZU CORP

    Inventor: OSANAI KATSUTOYO

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a power supply for an ionization in which the capacity, heat generation and size are reduced by realizing output characteristics corresponding to the voltage-current characteristics of an ionization load where the load current is low under high voltage and high under low voltage. SOLUTION: The power supply for ionization comprises a high voltage DC/DC converter 2 applying a DC voltage to an ionization electrode and a voltage control section 4 controls the primary voltage of the high voltage DC/DC converter 2 based on a load current generated through ionization to vary the secondary voltage of the high voltage DC/DC converter 2 reversely to the varying direction of the load current I. In place of output voltage control using voltage drop across a resistor, output voltage control depending on the load current I is carried out and the capacity, heat generation and size of the power supply are reduced by realizing output characteristics corresponding to the voltage- current characteristics of an ionization load.

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