公开(公告)号：JP5551631B2

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：JP2011025835

申请日：2011-02-09

Applicant: 三菱電線工業株式会社

Inventor： 成珍 金

IPC: C03B37/018 ,  C03C13/04 ,  G02B6/00 ,  H01S3/067

CPC classification number: C03B37/01807 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/22 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36

公开(公告)号：JP5436426B2

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：JP2010522121

申请日：2009-11-16

Applicant: 株式会社フジクラ

Inventor： 映乃 中熊 ,  健太郎 市井 ,  庄二 谷川

IPC: H01S3/067 ,  G02B6/00

CPC classification number: H01S3/06716 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036 ,  G02B6/03605 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/03638 ,  G02B6/03644 ,  G02B6/03661 ,  H01S3/06712 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/0675 ,  H01S3/094007 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/1691 ,  H01S3/1693

公开(公告)号：JP5368935B2

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：JP2009244015

申请日：2009-10-23

Applicant: 信越石英株式会社

Inventor： 龍弘 佐藤 ,  智一 熊田

IPC: C03C13/04 ,  C03B20/00 ,  G02B6/00 ,  G02B6/02 ,  H01S3/067

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B37/01433 ,  C03B37/01446 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/36 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/10 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide synthetic silica glass for clad which has low refractive index in a desired ratio to a core used for a fiber laser, has no bubble and foreign substance and has high optical stability, and a method for manufacturing the same. SOLUTION: The synthetic silica glass for clad is controlled to have ≥0.001 cm -1 and ≤2 cm -1 absorption coefficient at 215 nm, ≥0.001 cm -1 and ≤2 cm -1 absorption coefficient at 250 nm, ≤5 ppm concentration of OH, ≥1×10 13.5 and ≤1×10 15.5 poise viscosity at 1,100°C and +0.03-(+3)% specific refractive index difference of the synthetic quartz glass for clad in a range of ≥600 nm and ≤1,700 nm wavelength when being based on synthetic quartz glass having -1 absorption coefficient at 215 nm, -1 absorption coefficient at 250 nm and ≤1 ppm in total of the concentration of contained metal elements. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

公开(公告)号：JP4846175B2

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：JP2002254859

申请日：2002-08-30

Applicant: 株式会社フジクラ

Inventor： 真一 中山 ,  邦治 姫野 ,  佳弘 寺田 ,  嘉磊 賀

IPC: C03C13/04 ,  G02B6/02 ,  C03B20/00 ,  H01S3/06 ,  H01S3/10

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/36

公开(公告)号：JP2008056533A

公开(公告)日：2008-03-13

申请号：JP2006236178

申请日：2006-08-31

Applicant: Shinetsu Quartz Prod Co Ltd ,  信越石英株式会社

Inventor： SATO TATSUHIRO

IPC: C03C3/06 ,  C03B8/04 ,  C03B20/00 ,  C03C3/078 ,  C03C3/083 ,  C03C3/085 ,  C03C3/087 ,  C03C3/095 ,  C03C3/112 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C03C1/00 ,  C03B19/063 ,  C03B32/005 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/36 ,  C03C3/06 ,  C03C3/112 ,  C03C4/20 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/24 ,  C03C2201/26 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3435 ,  C03C2201/36

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide quartz glass used for semiconductor manufacture and having excellent corrosion resistance to plasma, a quartz glass tool, a method of manufacturing the quartz glass, mixed quartz powder suitably used for the manufacture of the quartz glass and a method of manufacturing the mixed quartz powder.
SOLUTION: The quartz glass contains 0.1 to 20 mass% in total of two or more of dope elements. The dope element contains one or more of first elements selected from the group composed of N, C and F and one or more of second elements selected from the group composed of Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, lanthanoids, and actinoids.
COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供用于半导体制造的石英玻璃和对等离子体具有优异的耐腐蚀性，石英玻璃工具，石英玻璃的制造方法，适用于制造石英玻璃的混合石英粉末和 一种混合石英粉的制造方法。 解决方案：石英玻璃含有0.1〜20质量％的两种以上的掺杂元素。 掺杂元素含有选自由N，C和F组成的组中的一种或多种第一元素和选自Mg，Ca，Sr，Ba，Sc，Y，Ti，Zr， Hf，镧系元素和锕系元素。 版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

公开(公告)号：WO2012072396A1

公开(公告)日：2012-06-07

申请号：PCT/EP2011/069832

申请日：2011-11-10

Applicant: OSRAM AG ,  BENTEN, Wolfgang ,  BÜTTNER, Wolfgang ,  DEISENHOFER, Manfred ,  MURPHY, Thomas

Inventor： BENTEN, Wolfgang ,  BÜTTNER, Wolfgang ,  DEISENHOFER, Manfred ,  MURPHY, Thomas

IPC: C03C3/06 ,  C03C1/10 ,  C03C4/02 ,  C03C4/08

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C1/10 ,  C03C4/02 ,  C03C4/085 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3423 ,  C03C2201/3435 ,  C03C2201/3447 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/54 ,  C03C2203/10

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von dotiertem Quarzglas, das aus Quarzsand oder Bergkristall zusammen mit Zusatzstoffen erschmolzen wird, wobei als Zusatzstoff zumindest Neodymaluminat (NdAlO 3 ) zugesetzt wird.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造掺杂的石英玻璃，它是由与添加剂一起石英砂或石晶体熔融，作为添加剂，至少加入Neodymaluminat（NdAlO3）。

公开(公告)号：WO2010055700A1

公开(公告)日：2010-05-20

申请号：PCT/JP2009/052756

申请日：2009-02-18

Applicant: 株式会社フジクラ ,  中熊 映乃 ,  市井 健太郎 ,  谷川 庄二

Inventor： 中熊 映乃 ,  市井 健太郎 ,  谷川 庄二

IPC: H01S3/06 ,  G02B6/02 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036

CPC classification number: H01S3/06716 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036 ,  G02B6/03605 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/03638 ,  G02B6/03644 ,  G02B6/03661 ,  H01S3/06712 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/0675 ,  H01S3/094007 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/1691 ,  H01S3/1693

Abstract: 　本発明のイッテルビウム添加光ファイバは、イッテルビウム、アルミニウム及びリンを少なくとも含有するコアと、このコアを囲むクラッドと、を備え、前記コア中の、前記イッテルビウムの酸化イッテルビウム換算濃度が０．０９～０．６８モル％であり、前記コア中の、前記リンの五酸化二リン換算濃度と前記酸化イッテルビウム換算濃度とのモル比が３～３０であり、前記コア中の、前記アルミニウムの酸化アルミニウム換算濃度と前記酸化イッテルビウム換算濃度とのモル比が３～３２であり、前記酸化アルミニウム換算濃度と前記五酸化二リン換算濃度とのモル比が１～２．５である。

Abstract translation: 公开了一种镱掺杂光纤，其包含至少包含镱，铝和磷的芯以及包围芯的包层。 以镱氧化物计，核心中的镱浓度为0.09-0.68摩尔％ 以五氧化二铜计的核心中的磷浓度与以氧化镱换算的上述镱浓度之间的摩尔比为3-30; 以氧化铝计的核心中的铝浓度与氧化镱之间的上述镱浓度之间的摩尔比为3-32; 以氧化铝计的上述铝浓度与以五氧化二磷计算的上述磷浓度之间的摩尔比为1-2.5。

公开(公告)号：WO2009017020A1

公开(公告)日：2009-02-05

申请号：PCT/JP2008/063258

申请日：2008-07-24

Applicant: 信越石英株式会社 ,  佐藤 龍弘 ,  稲木 恭一

Inventor： 佐藤 龍弘 ,  稲木 恭一

IPC: C03C3/06 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C03B19/01 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/54 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/36 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/68757 ,  Y02P40/57

Abstract: 　プラズマエッチング工程で使用されるドープ石英ガラスで、使用中に、問題となるような弗化物の堆積が起こらないようなプラズマエッチング用ドープ石英ガラス部材を提供する。 　半導体製造用治具としてプラズマエッチング工程に用いられるプラズマエッチング用石英ガラス部材であって、少なくとも、該石英ガラス部材が２種類以上の金属元素を併せて０．０１ｗｔ％以上０．１ｗｔ％未満含有し、該金属元素が周期律表第３Ｂ族から選ばれた少なくとも１種の第１の金属元素と、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ、Ｙ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、ランタノイド及びアクチノイドからなる群から選ばれた少なくとも１種の第２の金属元素からなることを特徴とする。

Abstract translation: 用于等离子体蚀刻操作的用于等离子体蚀刻的掺杂石英玻璃构件，在使用期间没有任何有问题的氟化物积聚。 用于等离子体蚀刻的石英玻璃构件是用于等离子体蚀刻操作中的半导体制造的夹具，其特征在于，含有总量为0.01至小于0.1重量％的至少两种或更多种金属元素。 金属元素由选自元素周期表第3B族中的至少一种第一金属元素和选自Mg，Ca，Sr，Ba，Sc，Y的至少一种第二金属元素组成 ，Ti，Zr，Hf，镧系元素和锕系元素。

公开(公告)号：WO2005054139A1

公开(公告)日：2005-06-16

申请号：PCT/EP2004/013544

申请日：2004-11-30

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO. LTD. ,  KÖPPLER, Rainer ,  KÜHN, Bodo ,  WERDECKER, Waltraud ,  KIRST, Ulrich ,  LEHMANN, Walter

Inventor： KÖPPLER, Rainer ,  KÜHN, Bodo ,  WERDECKER, Waltraud ,  KIRST, Ulrich ,  LEHMANN, Walter

IPC: C03B19/10

CPC classification number: C03C4/0071 ,  C03B19/06 ,  C03B19/063 ,  C03B19/066 ,  C03B19/1005 ,  C03B19/1065 ,  C03B19/108 ,  C03B19/1095 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/34 ,  C03C1/026 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3435 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/30 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52

Abstract: Es wird ein Verfahren angegeben, das die wirtschaftliche Herstellung eines Roh­lings für ein Bauteil aus laseraktivem Quarzglas in beliebiger Form und Abmes­sung ermöglicht. Das Verfahren umfasst die folgenden Verfahrensschritte: a) Bereitstellen einer Dispersion mit einem Feststoffgehalt von mindestens 40 Gew.-%, die Si0 2 -Nanopulver sowie Dotierstoffe umfassend ein Kation der Seltenerdmetalle und der Übergangsmetalle in einer Flüssigkeit enthält, b) Granulation durch Bewegen der Dispersion unter Entzug von Feuchtigkeit bis zur Bildung eines dotierten Si0 2 -Granulats aus sphärischen, porösen Granu­latkörnern mit einem Feuchtigkeitsgehalt von weniger als 35 Gew.-% und mit einer Dichte von mindestens 0,95 g/cm 3 , c) Trocknen und Reinigen des Si0 2 -Granulats durch Aufheizen auf eine Tempe­ratur von mindestens 1000 °C unter Bildung einer dotierten, porösen Si0 2 ­Körnung mit einem OH-Gehalt von weniger als 10 ppm; und d) Sintern oder Erschmelzen der dotierten SiO 2 -Körnung in einer reduzierend wirkenden Atmosphäre unter Bildung des Rohlings aus dotiertem Quarzglas.

Abstract translation: 本发明提供这使得经济地生产的坯件的用于在任何期望的形状和尺寸的激光活性石英玻璃部件的方法。 该方法包括以下步骤：a）提供具有至少40重量％的固体含量的分散体，所述的SiO 2纳米粉末和掺杂剂，包括含有由与移动分散体中的稀土类金属的阳离子和在液体中的过渡金属，B）造粒 湿气的撤回，直到其具有小于35重量％的水分含量，并且具有的SiO 2的至少0.95克/厘米<3>，c）干燥的密度和清洁的球形多孔粒状颗粒的掺杂的SiO 2-颗粒的形成 颗粒通过加热到至少1000℃的温度下，以形成一个掺杂的多孔Si02Körnung具有小于10 ppm的OH含量; 以及d）烧结或在还原气氛中熔化掺杂的SiO 2颗粒尺寸，以形成掺杂的石英玻璃的坯料。

公开(公告)号：WO2003057640A1

公开(公告)日：2003-07-17

申请号：PCT/US2002/037404

申请日：2002-11-21

Applicant: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY

Inventor： ANDERSON, Mark, T. ,  SCHARDT, Craig, R. ,  ONSTOTT, James, R. ,  BUDD, Kenton, D.

IPC: C03C13/04

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1065 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/29 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3405 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3458 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/3494 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1616 ,  H01S3/1693 ,  H01S3/1695 ,  H01S3/1698 ,  H01S3/17 ,  H01S3/176 ,  Y02P40/57

Abstract: A method of making an erbium-doped optical fiber for use in optical amplifiers according to the present invention includes the step of providing a substrate tube. High purity silica-based cladding layers are deposited on the inside of the tube. A core glass that includes silica, Al, a non-fluorescent rare-earth ion, Ge, Er, and Tm is then depositedin the tube. The non-fluorescent rare-earth ion may be La and the core may further include F. The tube is then collapsed to form a preform. Finally, the preform is drawn to yield optical fiber. The core glass may be substantially homogeneous. The core may include at least two regions, wherein one region contains a substantially different Er toTm ratio than the other region. Said regions may be in an annular arrangement. The core of such a waveguide may be made with multiple MCVD passes, multiple sol-gel passes or with multiple soot deposition, solution doping, and consolidation passes.

Abstract translation: 根据本发明的制造用于光放大器的掺铒光纤的方法包括提供衬底管的步骤。 高纯度的二氧化硅基包覆层沉积在管的内部。 然后在管中沉积包括二氧化硅Al，非荧光稀土离子Ge，Er和Tm的芯玻璃。 非荧光稀土离子可以是La，并且芯可以进一步包括F.然后将管塌缩以形成预制件。 最后，预制​​件被拉伸以产生光纤。 芯玻璃可以是基本均匀的。 芯可以包括至少两个区域，其中一个区域包含与其它区域基本上不同的Er至Tm比率。 所述区域可以是环形布置。 这种波导的核心可以通过多次MCVD通过，多次溶胶 - 凝胶通过或多次烟灰沉积，溶液掺杂和固结通过来制成。