公开(公告)号：TW502003B

公开(公告)日：2002-09-11

申请号：TW090121199

申请日：2001-08-28

Applicant: 3M新設資產公司

Inventor： 比利 李 維文 ,  道格拉斯 保羅 勾茲 ,  凱西 李 海根 ,  邁可 艾德華 漢摩里 ,  羅勃 吉 史密斯 ,  西瓦 柯斯婷 絲絲

IPC: B81B

CPC classification number: B81B3/0024 ,  B81B2201/031 ,  H01H1/0036 ,  H01H61/01 ,  H01H2001/0068 ,  H01H2061/006 ,  H01H2061/008

Abstract: 本發明揭示一種微米尺寸、單級之水平及垂直熱致動器，其能夠可重複及快速地將一微米尺寸之光學裝置移離一基板之表面。該水平及垂直熱致動器建構在一基板之表面上。至少一熱支臂具有扣牢至該表面之第一端點及位於該表面上方之一自由端。一冷支臂具有扣牢至該表面之第一端點及一自由端。該冷支臂係相對該表面位於該熱支臂上方及由該熱支臂橫側偏離。該冷支臂被設計成適於接近其第一端點提供受到控制之彎曲作用。一構件以機械及電的方式耦合該熱及冷支臂之自由端，使得當電流施加至該至少一熱支臂時，該致動器呈現水平及垂直位移。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种微米尺寸、单级之水平及垂直热致动器，其能够可重复及快速地将一微米尺寸之光学设备移离一基板之表面。该水平及垂直热致动器建构在一基板之表面上。至少一热支臂具有扣牢至该表面之第一端点及位于该表面上方之一自由端。一冷支臂具有扣牢至该表面之第一端点及一自由端。该冷支臂系相对该表面位于该热支臂上方及由该热支臂横侧偏离。该冷支臂被设计成适于接近其第一端点提供受到控制之弯曲作用。一构件以机械及电的方式耦合该热及冷支臂之自由端，使得当电流施加至该至少一热支臂时，该致动器呈现水平及垂直位移。

公开(公告)号：TW472118B

公开(公告)日：2002-01-11

申请号：TW089117777

申请日：2000-08-31

Applicant: JDS尤尼費斯公司

Inventor： 維加亞庫馬 R 德戶勒 ,  馬克 大衛 沃特

IPC: F15C

CPC classification number: F15C5/00 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/051 ,  B81C2203/031 ,  B81C2203/036 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0007 ,  F16K99/0009 ,  F16K99/0011 ,  F16K99/0036 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  H01H2001/0042

Abstract: 在此提出一種微型電氣機械(MEMS)裝置，其包括一微電子基體及一熱促動微型致動器以及位在該基體上且由單一結晶化材料形成為一單元化結構之相關元件，其中此等相關元件由該微型致動器熱促動之後引動。舉例來說，該微型電氣機械裝置可為一閥。因此，該閥可包括至少一閥片可控制地由該微型致動器之選擇性促動與在該微電子基體內之至少一閥門口接合。儘管該微型電氣機械裝置得包括各式微型致動器，該微型致動器有利地包括配置在該基體上之一對相隔支撐件以及在該對支撐件間延伸之至少一拱樑。藉由加熱該微型致動器之至少一拱樑，該等拱樑會更為彎拱使該微型致動器在一關閉位置(其中該閥片與該閥門口密封地接合)與一開放位置(其中該閥片至少局部脫離該閥門口且未密封)間移動。該微型致動器更可在該等拱樑之末稍部分包括金屬化軌線(traces)以將該等拱樑之熱促動區域限制在其中間部分。該閥方可包括閂鎖用來將該閥片維持於一期望位置而不用持續對該微型致動器輸入能量。在此亦提出一種製造具有單元化結構單一結晶化元件之微型電氣機械閥約有利方法。

Abstract in simplified Chinese: 在此提出一种微型电气机械(MEMS)设备，其包括一微电子基体及一热促动微型致动器以及位在该基体上且由单一结晶化材料形成为一单元化结构之相关组件，其中此等相关组件由该微型致动器热促动之后引动。举例来说，该微型电气机械设备可为一阀。因此，该阀可包括至少一阀片可控制地由该微型致动器之选择性促动与在该微电子基体内之至少一阀门口接合。尽管该微型电气机械设备得包括各式微型致动器，该微型致动器有利地包括配置在该基体上之一对相隔支撑件以及在该对支撑件间延伸之至少一拱梁。借由加热该微型致动器之至少一拱梁，该等拱梁会更为弯拱使该微型致动器在一关闭位置(其中该阀片与该阀门口密封地接合)与一开放位置(其中该阀片至少局部脱离该阀门口且未密封)间移动。该微型致动器更可在该等拱梁之末稍部分包括金属化轨线(traces)以将该等拱梁之热促动区域限制在其中间部分。该阀方可包括闩锁用来将该阀片维持于一期望位置而不用持续对该微型致动器输入能量。在此亦提出一种制造具有单元化结构单一结晶化组件之微型电气机械阀约有利方法。

公开(公告)号：TW201640816A

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：TW104120435

申请日：2015-06-25

Applicant: 國立清華大學 ,  NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY

Inventor： 李昇憲 ,  LI, SHENG-SHIAN ,  李冠賢 ,  LEE, KUAN-HSIEN ,  陳政吉 ,  CHEN, CHENG-CHI

IPC: H03B28/00

CPC classification number: H03B5/30 ,  B81B3/0081 ,  B81B2201/031 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0163 ,  H03B5/04 ,  H03H9/02259 ,  H03H9/2463 ,  H03H2009/02291 ,  H03H2009/02307 ,  H03H2009/02322

Abstract: 本發明係揭露一種超低功率熱致動振盪器及其驅動電路，超低功率熱致動振盪器包含質量塊、熱致動元件及複數個驅動件。質量塊為對稱配置且由彈簧結構懸空連接於基板上。熱致動元件為線結構以有效減低運動阻抗和降低直流功率，其中，熱致動元件與質量塊或彈簧結構相連接。複數個驅動件則分別設置在熱致動元件兩側以提供驅動電流。當驅動電流流經熱致動元件時，使熱致動元件產生變形，以驅動質量塊產生振盪。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系揭露一种超低功率热致动振荡器及其驱动电路，超低功率热致动振荡器包含质量块、热致动组件及复数个驱动件。质量块为对称配置且由弹簧结构悬空连接于基板上。热致动组件为线结构以有效减低运动阻抗和降低直流功率，其中，热致动组件与质量块或弹簧结构相连接。复数个驱动件则分别设置在热致动组件两侧以提供驱动电流。当驱动电流流经热致动组件时，使热致动组件产生变形，以驱动质量块产生振荡。

公开(公告)号：TW520340B

公开(公告)日：2003-02-11

申请号：TW090122243

申请日：2001-09-07

Applicant: 3M新設資產公司

Inventor： 比利 李 威文 ,  道格拉斯 保羅 葛茲 ,  凱西 李 海根 ,  邁可 愛德華 海默利 ,  羅伯 吉 史密斯 ,  西娃 克利斯丁 絲斯

IPC: B81B

CPC classification number: B81B3/0024 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/058 ,  B82Y15/00 ,  H01H2061/006 ,  H01H2061/008

Abstract: 一種具有可控制彎度之微米尺寸、單級、直立式熱致動器其係能夠重複並快速地將微米尺寸之光學元件移離基板之表面。直立式熱致動器係建構在基板之一表面上。至少一熱臂件之第一端部係固定至表面上以及一自由端部係位在表面上。冷臂件具有固定至表面上之第一端部及一自由端部。冷臂件相對於表面係位在熱臂件上方。冷臂件係設計用以提供接近其第一端部處之可控制的彎度。一構件以機械與電氣方式與熱及冷臂件之自由端部連接，以致致動器大致上在彎曲部分處彎曲因此當至少施以電流至熱臂件時該構件自基板移離。

Abstract in simplified Chinese: 一种具有可控制弯度之微米尺寸、单级、直立式热致动器其系能够重复并快速地将微米尺寸之光学组件移离基板之表面。直立式热致动器系建构在基板之一表面上。至少一热臂件之第一端部系固定至表面上以及一自由端部系位在表面上。冷臂件具有固定至表面上之第一端部及一自由端部。冷臂件相对于表面系位在热臂件上方。冷臂件系设计用以提供接近其第一端部处之可控制的弯度。一构件以机械与电气方式与热及冷臂件之自由端部连接，以致致动器大致上在弯曲部分处弯曲因此当至少施以电流至热臂件时该构件自基板移离。

公开(公告)号：TW517041B

公开(公告)日：2003-01-11

申请号：TW090121174

申请日：2001-08-28

Applicant: 3M新設資產公司

Inventor： 比利 李 維文 ,  道格拉斯 保羅 勾茲 ,  凱西 李 海根 ,  邁可 艾德華 漢摩里 ,  羅勃 吉 史密斯 ,  西瓦 K 絲絲

IPC: B81B

CPC classification number: G02B6/358 ,  B81B3/0024 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/053 ,  B82Y15/00 ,  G02B6/352 ,  G02B6/3576 ,  H01G5/18 ,  H01H1/0036 ,  H01H61/04 ,  H01H2061/006 ,  H01H2061/008

Abstract: 本發明揭示一種微米尺寸設計、單級之垂直熱致動器，其能夠可重複及快速地將微米尺寸設計之光學裝置移離一基板之表面。在一基板之表面上製成該垂直熱致動器。至少一熱支臂具有扣牢至該表面之第一端點及位於該表面上方之一自由端。一冷支臂具有扣牢至該表面之第一端點及一自由端。該冷支臂係相對該表面位於該熱支臂上方。一構件機械及電耦合該熱及冷支臂之自由端，以致當電流施加至該至少一熱支臂時，該構件移離該基板。該熱支臂可視需要包含一接地翼片，以使該冷支臂之熱膨脹減至最低。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种微米尺寸设计、单级之垂直热致动器，其能够可重复及快速地将微米尺寸设计之光学设备移离一基板之表面。在一基板之表面上制成该垂直热致动器。至少一热支臂具有扣牢至该表面之第一端点及位于该表面上方之一自由端。一冷支臂具有扣牢至该表面之第一端点及一自由端。该冷支臂系相对该表面位于该热支臂上方。一构件机械及电耦合该热及冷支臂之自由端，以致当电流施加至该至少一热支臂时，该构件移离该基板。该热支臂可视需要包含一接地翼片，以使该冷支臂之热膨胀减至最低。

公开(公告)号：KR1020110077522A

公开(公告)日：2011-07-07

申请号：KR1020090134132

申请日：2009-12-30

Applicant: 전남대학교산학협력단

Inventor： 이동원 ,  최영수

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0035 ,  B81B7/0019 ,  B81B2201/0292 ,  B81B2201/031

Abstract: PURPOSE: A micro-stage having a piezo resistance displacement sensor and a chevron beam structure is provided to amplify displacement of a column driver having a large shift through the chevron beam structure extended from four sides of a platform to vertical and horizontal directions. CONSTITUTION: A micro-stage having a piezo resistance displacement sensor and a chevron beam structure includes a platform(100), an extension beam(200), a chevron beam(300), a piezo resistance displacement sensor, and a column driver(400). The platform has a square shape, and a sample is placed in the center of the platform. The extension beam is extended from one side of the platform. The extension beam includes an electrode for preventing the extension beam from being bent to a specific axis. The chevron beam has a 'V' shape, and the center thereof is connected to the extension beam. The chevron beam draws the extension beam to drive the platform when the piezo resistance displacement sensor is driven. The piezo resistance displacement sensor is driven to a particular direction by generating Joule heat when a voltage is applied thereto. The piezo resistance displacement sensor comprises two integrated column drivers.

Abstract translation: 目的：提供具有压电阻位移传感器和人字形梁结构的微型平台，用于放大通过从平台的四个侧面延伸到垂直和水平方向的人字形梁结构具有大偏移的列驱动器的位移。 构造：具有压电阻位移传感器和人字形梁结构的微型平台包括平台（100），延伸梁（200），人字形梁（300），压电阻位移传感器和列驱动器（400 ）。 该平台具有正方形形状，样品放置在平台的中心。 延伸梁从平台的一侧延伸。 延伸梁包括用于防止延伸梁弯曲到特定轴线的电极。 人字形梁具有“V”形，其中心连接到延伸梁。 当压电阻力位移传感器被驱动时，人字形梁拉伸延伸梁来驱动平台。 当施加电压时，通过产生焦耳热来将压电阻位移传感器驱动到特定的方向。 压电阻位移传感器包括两个集成的列驱动器。

公开(公告)号：KR1020100001486A

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：KR1020080061394

申请日：2008-06-27

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 김창규

IPC: G02B26/00 ,  H01S3/105

CPC classification number: G02B26/0833 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/031 ,  G02B6/3576 ,  G02B26/0866

Abstract: PURPOSE: A thermally actuated wavelength variable light source is provided to have variable range bigger than an electrostatic actuation mode by driving a thermal actuator using less power. CONSTITUTION: A lower reflector(20) locates on top of a substrate(10). An active medium(30) is located on top of the lower reflector. An upper side fixing mirror(40) is located on top of the active medium. A first electrode(34) is located on the lower part of the active medium in order to apply the current to the active medium. A second electrode(35) is located on top of the active medium in order to apply the current to the active medium. A heat driver(50) is installed on the upper part of the lower reflector in order to be highly located than the second electrode, and both side end point thereof is fixed to the lower reflector. A third and fourth electrodes are located on top of the thermal actuator in order to apply the current to the thermal actuator.

Abstract translation: 目的：通过使用更少的功率驱动热致动器，提供热致动波长可变光源以具有比静电致动模式更大的可变范围。 构成：下反射器（20）位于衬底（10）的顶部。 活动介质（30）位于下反射器的顶部。 上侧固定镜（40）位于活动介质的顶部。 第一电极（34）位于活性介质的下部，以将电流施加到活性介质上。 第二电极（35）位于活性介质的顶部，以便将电流施加到活性介质上。 为了高于第二电极的位置，在下部反射器的上部安装有热驱动器（50），并且其两侧端点固定在下部反射器上。 第三和第四电极位于热致动器的顶部，以将电流施加到热致动器。

公开(公告)号：KR1020070116405A

公开(公告)日：2007-12-10

申请号：KR1020060050413

申请日：2006-06-05

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 박승호 ,  이준식 ,  최영기 ,  권오명 ,  권기남 ,  김동현

IPC: G02B26/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0833 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/031 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/3594

Abstract: A thermal expansion micro actuator, a micro mirror formed directly on the same, a micro mirror actuating apparatus using the thermal expansion micro actuator, and a light switch using the same are provided to secure displacement larger than that of the existing thermal expansion micro actuator, satisfying two driving limit elements including maximum allowed temperature and yield stress. A thermal expansion micro actuator(100) is composed of a high temperature unit(101) of which temperature is increased up to high level due to high resistance by applying electricity and a low temperature unit(103) connected to the high temperature unit through a connecting unit(102), wherein the temperature of the low temperature unit is increased below the temperature of the high temperature unit due to resistance smaller than that of the high temperature unit. The thermal expansion micro actuator is bent from the high temperature unit to the low temperature unit when electricity is applied. An insulating layer(108) and a metal layer(109) are laminated in order on the outer surface of the high temperature unit at the opposite side of the low temperature unit.

Abstract translation: 提供了一种热膨胀微型致动器，直接形成在其上的微反射镜，使用热膨胀微型致动器的微反射镜致动装置和使用其的光开关，以确保位移大于现有热膨胀微型致动器的位移， 满足包括最大允许温度和屈服应力在内的两个驾驶极限要素。 热膨胀微型致动器（100）由高温单元（101）构成，高温单元（101）由于施加高电阻而升高到高电平，并且通过一个连接到高温单元的低温单元（103） 连接单元（102），其中由于电阻小于高温单元的温度，低温单元的温度升高到高温单元的温度以下。 在施加电力时，热膨胀微型致动器从高温单元弯曲到低温单元。 在低温单元的相对侧的高温单元的外表面上依次层叠绝缘层（108）和金属层（109）。

公开(公告)号：KR1020050117810A

公开(公告)日：2005-12-15

申请号：KR1020040043042

申请日：2004-06-11

Applicant: 에이엔디티 주식회사

Inventor： 고순탁 ,  김병희 ,  김헌영 ,  장인배 ,  최종필

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/036

Abstract: 본 발명은 기포의 생성과 소멸에 의하여 다이어프램을 작동시켜 정량의 유체를 공급하는 버블형 마이크로펌프용 마이크로히터를 개시한다. 본 발명의 마이크로펌프는 펌핑챔버의 유체와 다이어프램에 의하여 격리되어 있으며, 마이크로히터는 버블링챔버의 작동유체를 가열 및 냉각하여 기포의 생성과 소멸을 발생한다. 또한, 마이크로히터는 버블링챔버의 작동유체와 접촉하며 서로 평행하도록 이격되어 있는 직선형의 제1 및 제2 메인전극과, 제1 및 제2 메인전극 각각으로부터 서로 대응하도록 연장되어 있으며 서로 이격되어 있는 직선형의 제1 및 제2 브렌치전극과, 제1 및 제2 브렌치전극의 말단을 연결하고 작동유체를 가열하여 기포를 단 하나로 생성하는 직선형의 버블링전극으로 구성된다. 본 발명에 의하면, 짧고 가는 버블링전극에 의하여 짧은 거리에서 큰 전위차를 발생하여 단일의 기포를 일정한 크기로 정밀하고 정확하게 제어하여 생성함으로써, 정량의 유체를 공급할 수 있으며, 전극의 전기분해를 최소화시켜 신뢰성을 크게 향상킬 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020030093663A

公开(公告)日：2003-12-11

申请号：KR1020020031428

申请日：2002-06-04

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김광호 ,  송귀은 ,  전재학 ,  이윤표

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0338

Abstract: PURPOSE: A closed-loop type micro generator is provided to stably supply power by adopting a thermodynamic cycle concept to a micro system. CONSTITUTION: A magnet(10) is used so as to convert a thermal energy into a mechanical movement energy and a coil(14) wound around the magnet(10) is used so as to convert the mechanical movement energy into an electric energy. A capillary pump(24) is provided so as to continuously supply operating fluid(12) into a micro valve(24) or a micro channel(30). A micro channel(30) is provided at an upper portion of a heating section(20). The heating section(20) is opened/closed by means of a thin film(16). The magnet(10) and the coil(14) are provided between the heating section(20) and the micro channel(30). A cooling section(22) is formed on the heating section(20). An insulation section(20) is formed between the heating section(20) and the micro channel(30) except for the center of the micro channel(30).

Abstract translation: 目的：提供一种闭环型微型发电机，通过对微系统采用热力循环概念来稳定供电。 构成：使用磁体（10）以将热能转换成机械运动能量，并且使用卷绕在磁体（10）上的线圈（14），以将机械运动能量转换成电能。 设置毛细泵（24），以将工作流体（12）连续供给到微阀（24）或微通道（30）中。 微通道（30）设置在加热部（20）的上部。 加热部分（20）通过薄膜（16）打开/关闭。 磁体（10）和线圈（14）设置在加热部分（20）和微通道（30）之间。 在加热部（20）上形成有冷却部（22）。 除了微通道（30）的中心之外，在加热部分（20）和微通道（30）之间形成绝缘部分（20）。