公开(公告)号：KR100432764B1

公开(公告)日：2004-09-13

申请号：KR1019980705070

申请日：1997-01-02

Applicant: 엘제이 레버러토리 엘.엘.씨

Inventor： 중,웨인,디. ,  중,러셀,더블유. ,  라우더밀크,알란,알.

IPC: G01J3/51 ,  G01N21/25 ,  G01N21/47

CPC classification number: A61C19/10 ,  A61B2560/0233 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/04 ,  G01J3/10 ,  G01J3/46 ,  G01J3/50 ,  G01J3/508 ,  G01J3/51 ,  G01J3/513 ,  G01J3/524 ,  G01N21/474 ,  G01N21/57

Abstract: Color measuring systems and methods are disclosed. Perimeter receiver fiber optics are spaced apart from a central source fiber optic and receive light reflected from the surface of the object being measured. Light from the perimeter fiber optics pass to a variety of filters. The system utilizes the perimeter receiver fiber optics to determine information regarding the height and angle of the probe with respect to the object being measured. Under processor control, the color measurement may be made at a predetermined height and angle. Various color spectral photometer arrangements are disclosed. Translucency, fluorescence and/or surface texture data also may be obtained. Audio feedback may be provided to guide operator use of the system. The probe may have a removable or shielded tip for contamination prevention.

Abstract translation: 公开了颜色测量系统和方法。 周边接收器光纤与中央源光纤间隔开并接收从被测物体表面反射的光。 来自周边光纤的光线通过各种滤光片。 该系统利用周边接收器光纤来确定关于探头相对于被测物体的高度和角度的信息。 在处理器控制下，颜色测量可以在预定的高度和角度下进行。 公开了各种颜色光谱光度计布置。 也可以获得半透明，荧光和/或表面纹理数据。 可以提供音频反馈以指导操作员使用该系统。 探头可能有一个可拆卸或屏蔽的尖端用于防止污染。

公开(公告)号：KR1020020046147A

公开(公告)日：2002-06-20

申请号：KR1020010070986

申请日：2001-11-15

Applicant: 우시오덴키 가부시키가이샤

Inventor： 신보리마사시 ,  가메다히로유키 ,  모로이시고타로

IPC: G01J3/42

CPC classification number: G01N21/4738 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/10 ,  G01M11/005 ,  G01N21/33 ,  G01N2021/4742

Abstract: PURPOSE: To provide a spectral reflectance measuring apparatus and method capable of measuring the reflectance of light with a specific wavelength, over a wide wavelength range including the ultraviolet range, and easily obtaining a reference value. CONSTITUTION: The spectral reflectance measuring apparatus comprises a light source part having a xenon lamp, an incoming fiber, a measuring head for applying light from the incoming fiber to a surface to be measured via a positive lens and a light diffusion panel and for receiving the light reflected from the surface, an outgoing fiber, and a spectroradiometer receiving the light from the outgoing fiber. The measuring head includes an incoming tube part and an ongoing tube part which is independent of the incoming tube part, with the incoming and ongoing tube parts being separably and integrally connected to each other while their respective optical axes intersect at or near the surface to be measured. Further, the incoming and ongoing tube parts can be connected to each other while their optical axes are coincident.

Abstract translation: 目的：提供一种能够在包括紫外线范围的宽波长范围内测量特定波长的光的反射率的光谱反射率测量装置和方法，并且容易获得参考值。 构成：光谱反射测量装置包括具有氙灯的光源部分，入射光纤，用于通过正透镜和光散射板将来自入射光纤的光线施加到待测表面的测量头， 从表面反射的光，出射光纤和接收来自光纤的光的分光辐射计。 测量头包括入射管部分和独立于入射管部分的正在进行的管部分，其中进入的和正在进行的管部分彼此分离地并且一体地连接，同时它们各自的光轴在表面处或附近相交， 测量。 此外，进入和正在进行的管部件可以彼此连接，同时它们的光轴重合。

公开(公告)号：KR1020000048393A

公开(公告)日：2000-07-25

申请号：KR1019990061666

申请日：1999-12-24

Applicant: 샤프 가부시키가이샤

Inventor： 하따나까마사쯔구 ,  다나까주니찌 ,  다니가와도루 ,  다구사야스노브

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01B11/0625 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0232 ,  G01N21/8422

Abstract: PURPOSE: An apparatus for measuring thin film thickness using an interferometer is provided which can measure the thickness of a thin film with a high precision in a short time. CONSTITUTION: An apparatus for measuring the thickness of a thin film includes: a light detecting/incident part making a light be incident on a substrate(3) nearly vertically and receiving the light reflected from the substrate; and an analysis part analyzing the thickness of a thin film according to the intensity of the reflected light received in the light detecting/incident part. The apparatus includes: a light source(1); a branch optic fiber(2) guiding the light from the light source to the substrate and receiving the light reflected from the substrate; a light limiting shutter(4) blocking the reflected light from the substrate; a spectroscope dividing the reflected light guided by the branch optic fiber; and a computer(6) analyzing the thickness of the thin film by analyzing the light intensity of each wavelength.

Abstract translation: 目的：提供一种使用干涉仪测量薄膜厚度的装置，其可以在短时间内以高精度测量薄膜的厚度。 结构：用于测量薄膜厚度的装置包括：使光入射的光线几乎垂直地入射到基板（3）上并接收从基板反射的光; 以及分析部件，根据在光检测/入射部分中接收的反射光的强度来分析薄膜的厚度。 该装置包括：光源（1）; 分支光纤（2），其将来自所述光源的光引导到所述基板并且接收从所述基板反射的光; 光限制快门（4）阻挡来自基板的反射光; 分光器由分支光纤引导的反射光分开; 以及通过分析每个波长的光强度来分析薄膜的厚度的计算机（6）。

公开(公告)号：KR20180032595A

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：KR20187004622

申请日：2016-07-21

Applicant: INSTR SYSTEMS OPTISCHE MESSTECHNIK GMBH

Inventor： FRANK FELIX ,  ESTERMANN MARKUS ,  KAPPEL CHRISTOPH ,  SCHEWE FLORIAN ,  HARING RETO ,  WINKLER AMY ,  GREAVES CORIN MICHAEL RICARDO

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/10 ,  G01J3/18 ,  G02B19/00 ,  G02B27/10

CPC classification number: G01J3/10 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0297 ,  G01J3/18 ,  G01J2003/104 ,  G01J2003/1286 ,  G02B19/0066 ,  G02B27/1086 ,  G02B27/425

Abstract: 본발명은, 광을발생시키는장치에관한것으로, - 복수의광원들(light soucrces)(1), - 상기광원들(1)을구동하는제어디바이스(contral device)(2), 및 - 상기광원들(1)에의해방출된광을출구개구(exit opening)(3)에서중첩시키는중첩광학유닛(superimposition optical unit)을포함한다. 본발명의목적은종래기술에비해개선된장치를제공하는것이다. 이러한목적을위하여본 발명은다음과같은중첩광학유닛을제안한다. 상기중첩광학유닛은, - 상기광원들(1)이위치된초점평면에있는제1 오목거울(4), - 상기광원들(1)에의해방출된광(6)이상기제1 오목거울(4)에의해반사되어도달되는광학격자(optical grating)(5), 및 - 제2 오목거울(7)을포함하고, 상기제2 오목거울(7)은상기광학격자(5)에서회절된광(8)을상기제2 오목거울(7)의초점에위치된출구개구(3) 상으로반사시키는것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种装置，用于产生光; - 一多个光源（光soucrces）（1）， - 控制设备（CONTRAL装置）（2），用于驱动所述光源（1），以及 - 所述光源 以及叠加光学单元，用于将光源（1）发射的光叠加在出口（3）处。 本发明的目的是提供一种比现有技术更好的装置。 为此目的，本发明提出如下的叠加光学单元。 叠加光学单元，所述，在光的位置上机构焦平面（6）由所述光源（1）中，第1凹面镜发射光源（1）的第一凹面镜（4）（4 以及由第一凹面镜7和第二凹面镜7反射并到达的光栅5.第二凹面镜7包括光栅5， ）到位于第二凹面镜（7）的焦点处的出口（3）。

公开(公告)号：KR20180006617A

公开(公告)日：2018-01-18

申请号：KR20177032265

申请日：2016-04-28

Applicant: IMEC VZW ,  SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD

Inventor： CLAES TOM

IPC: G01J3/453 ,  G01J3/02 ,  G02B6/293

CPC classification number: G01J3/4531 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0259 ,  G02B6/29346 ,  G02B6/29349

Abstract: 일양상에따른간섭계는다중모드도파로(120), 다중모드도파로(120)에광 신호를공급하기위해다중모드도파로(120)의제1 측면에광학적으로결합된입력도파로(110), 다중모드도파로(120)의제2 측면에광학적으로결합되고제1 도파로거울(150)에의해종결되는제1 도파로(130), 다중모드도파로(120)의제2 측면에광학적으로결합되고제2 도파로거울(160)에의해종결되는다른단부에서의제2 도파로(140), 또는다중모드도파로(120)의제2 측면에직접광학적으로결합된제2 도파로거울(160) 및다중모드도파로(120)내에부분적으로또는전체적으로통합되고, 제1 도파로거울(150) 및제2 도파로거울(160)로부터반사된광을두 개의반사파들사이의위상차이에의존하는전력으로수신하도록배치되는적어도하나이상의신호판독구조(170)를포함할수 있다.

Abstract translation: 根据一个方面的干涉仪包括输入波导110，其光学耦合到多模波导120的第一侧以向多模波导120提供光信号; 光耦合到搅拌器2侧并且由第一波导镜150终止的第一波导130，光耦合到多模波导120的第二侧并且由第二波导镜160耦合的第二波导镜 直接光学耦合到多模波导120的第二侧的第二波导镜160和部分或全部集成在多路复用模式波导120中的第二波导镜160， 并且至少一个信号读取结构170被布置为以取决于两个反射波之间的相位差的功率接收从第一波导镜150和第二波导镜160反射的光。

公开(公告)号：KR1020170017796A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：KR1020160099612

申请日：2016-08-04

Applicant: 비아비 솔루션즈 아이엔씨.

Inventor： 스미스,파울라 ,  흐루스카,커티스알. ,  캐칭,벤자민에프. ,  쿰스,폴지.

IPC: G01J3/26 ,  G02B6/293

CPC classification number: G01J3/0229 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/12 ,  G01J3/26 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/1213 ,  G01J2003/1217 ,  G01J2003/123 ,  G01J2003/1234 ,  G01J2003/1239 ,  G01J2003/1291 ,  G01J2003/2806 ,  G01J2003/2813 ,  G01N21/255 ,  G01N21/8507 ,  G02B5/22 ,  G02B5/3025 ,  G02B6/4215

Abstract: 업스트림필터가다운스트림필터의공간필터로서기능하도록서로고정된거리로스택되는 2개의횡방향가변대역통과필터를포함하는광학어셈블리가개시된다. 횡방향변위는, 업스트림및 다운스트림필터들상의사선빔의침투위치들에서전송통과대역들이오버랩하지않을때 사선빔의억제를유도할수 있다. 광검출기어레이는다운스트림필터의다운스트림에배치될수 있다. 광학어셈블리는유체샘플의스펙트로스코픽측정들을위해다양한광도관들또는광섬유들을통해커플링될수 있다.

Abstract translation: 公开了一种光学组件，其包括彼此以固定距离堆叠的两个横向可变带通光学滤光器，使得上游滤波器用作下游滤波器的空间滤波器。 当倾斜光束的入射位置在上游和下游滤波器上的传输通带不重叠时，横向位移可能导致倾斜光束的抑制。 光电检测器阵列可以设置在下游滤波器的下游。 光学组件可以经由各种光学导管或光纤耦合，用于流动样品的光谱测量。

公开(公告)号：KR1020160135769A

公开(公告)日：2016-11-28

申请号：KR1020167028947

申请日：2015-03-20

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 마나센암논 ,  힐앤디앤드류 ,  아브라모브아비

IPC: G01N21/88 ,  G03F7/20 ,  G01J3/02 ,  G01N21/47 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01J1/0228 ,  G01J3/02 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/2823 ,  G01N21/47 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N21/95623 ,  G01N2021/8848 ,  G01N2201/06 ,  G03F7/70633

Abstract: 계측타겟의조명을스펙트럼범위및/또는편광과관련하여패터닝하고, 패터닝된조명으로계측타겟을조명하며, 그리고수집패턴을동공평면픽셀에적용함으로써, 동공평면에서, 선택된동공평면픽셀을각각의단일검출기(들)로지향시키는것에의해서타겟으로부터산란된복사선을측정하는방법및 시스템이제공된다. 단일검출기측정(압축감지)이광 감도를증가시켰고, 그러한광 감도는조명을패터닝하기위해서그리고미리규정된계측매개변수와관련하여검출된산란복사선의정보콘텐츠를추가적으로향상시키기위해서이용된다.

Abstract translation: 提供了方法和系统，其针对光谱范围和/或偏振来对计量目标进行照明，通过图案化照明照亮度量目标，并且通过在瞳孔平面指导所选择的瞳孔来测量从目标散射的辐射 通过将收集图案应用于瞳孔平面像素，从一个或多个单个检测器的平面像素。 单个检测器测量（压缩感测）具有增加的光敏度，其用于对照明进行图案化，并且相对于预定义的度量参数进一步增强检测到的散射辐射的信息内容。

公开(公告)号：KR101640202B1

公开(公告)日：2016-07-21

申请号：KR1020160041313

申请日：2016-04-04

Applicant: 스페클립스 주식회사

Inventor： 변성현 ,  민완기

IPC: A61B5/00 ,  F21V8/00 ,  G06T7/00 ,  G01J3/28 ,  G02B27/30 ,  H01S5/042

CPC classification number: A61B5/0077 ,  A61B5/0075 ,  A61B5/441 ,  A61B5/7246 ,  A61B5/7282 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/024 ,  G01J3/0248 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/443 ,  G01J2003/282 ,  G06F19/00 ,  A61B5/44 ,  G02B6/002 ,  G02B27/30 ,  G06T7/001 ,  H01S5/0428

Abstract: 본발명의일 실시예에따르면광이신체조직에조사되었을때 발생되는발생광을수집하여질병을진단하는질병진단장치에있어서발생광의일부를수집하는제1 집광부, 발생광의일부를수집하는제2 집광부; 제2 집광부에의해수집된광의스펙트럼을분석하는분광기, 분광기에의해분석된스펙트럼과, 기준스펙트럼데이터를비교하는분광데이터비교부, 제1 집광부에의해수집된광을디지털이미지로변환하는 CCD, CCD에의해변환된디지털이미지와, 기준이미지를비교하는이미지데이터비교부, 및분광데이터비교부의비교결과와, 이미지데이터비교부의비교결과중 적어도하나를참조하여상기신체조직에질병이있는지여부를판단하는질병진단부를포함하며, 신체조직에조사되는광은콜리메이트광인것을특징으로하는질병진단장치가개시된다.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种疾病诊断装置，用于通过收集光发射到身体组织时产生的光来诊断疾病。 疾病诊断装置包括：第一聚光单元，用于收集部分产生的光; 第二聚光单元，用于收集一部分产生的光; 用于分析由第二聚光单元收集的光的光谱的分光镜; 由分光镜分析的光谱; 频谱数据比较单元，用于将分析的频谱数据与参考频谱数据进行比较; 将由第一聚光单元收集的光转换为数字图像的CCD; 图像数据比较单元，用于将由CCD转换的数字图像与参考图像进行比较; 以及疾病诊断单元，通过参照频谱数据比较单元的比较结果和图像数据比较单元的比较结果中的至少一个来确定身体组织中是否存在疾病。

公开(公告)号：KR101600520B1

公开(公告)日：2016-03-08

申请号：KR1020150013650

申请日：2015-01-28

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 윤일구 ,  이상명

IPC: H05H1/00

CPC classification number: G01J3/443 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0235 ,  H01J37/32935 ,  H01J37/32972 ,  H05H1/0025 ,  H05H1/0037

Abstract: 본발명은광학분광분석장치에관한것으로, 플라즈마를발생하여기판을처리하는플라즈마공정챔버내의광을수집하는광수집부; 수집된광을전달하는광전달부; 및광전달부를통해제공된광을분석하여플라즈마상태를분석하는분석부를포함하고, 광수집부는플라즈마공정챔버의내부에서발생하는광을집속하여광전달부로제공하는집광부를포함하는광학분광분석장치를제공한다.

Abstract translation: 光谱分析装置技术领域本发明涉及一种光谱分析装置，其特征在于，包括：聚光单元，其用于在等离子体处理室内采集光， 用于传送所收集的光的光转移单元; 以及分析单元，用于通过分析由光传输单元提供的光来分析等离子体状态。 集光单元包括用于聚集等离子体处理室内产生的光并将光提供给光传输单元的聚光单元。

公开(公告)号：KR101491889B1

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：KR1020127015976

申请日：2008-06-05

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 시바야마가츠미 ,  스즈키도모후미 ,  이토마사시

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0291

Abstract: 분광기(1)는 도광부(7)가 마련된 패키지(2)와, 패키지(2) 내에 수용된 분광 모듈(3)과, 패키지(2)의 내벽면상에 배치되고, 분광 모듈(3)을 지지하는 지지 부재(29)를 구비하고 있다. 분광 모듈(3)은 도광부(7)로부터 입사한 광을 투과하는 본체부(11)와, 본체부(11)의 소정의 면측에 있어서 본체부(11)를 투과한 광을 분광하는 분광부(13)를 가지고, 분광부(13)가 내벽면으로부터 이간한 상태에서 소정의 면에 있어서 지지 부재(29)에 의해 지지되어 있다.