干涉式膜厚计
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103063149A

    公开(公告)日:2013-04-24

    申请号:CN201210394819.1

    申请日:2012-10-17

    Abstract: 本发明提供一种能够在在线式测量中进行稳定的测量的干涉式膜厚计。该干涉式膜厚计设置有焦点位置扫描部(7),该焦点位置扫描部(7)使作为从投受光探头(5)照射的光的焦点位置、且入射至投受光探头(5)的光的焦点位置的共同焦点位置在规定范围内进行扫描。运算部(13)具备:分光数据获取部(15),其获取投受光探头(5)所接收的光的分光光谱数据;能谱算出部(17),其基于分光光谱数据来计算能谱;膜厚算出部(19),其基于能谱的数据来计算测量对象膜(23)的膜厚;和数据提取部(21),其针对分光光谱数据或能谱的数据或者这两者设置阈值,对阈值以上的数据进行提取。膜厚算出部(19)输出与数据提取部(21)所提取的数据对应的膜厚数据。

    生物体测量方法及其使用装置

    公开(公告)号:CN1211735A

    公开(公告)日:1999-03-24

    申请号:CN98117157.5

    申请日:1998-08-12

    Inventor: 徐可欣

    CPC classification number: A61B5/1455 A61B5/14532

    Abstract: 一种生物体测量方法及其使用装置,在测量前探测被测部位的当前物体温度或当前环境温度,被测出的当前物体温度(t0)、当前环境温度(T0)或一预先取得的被测物的光热传导温度(T1)被视为用一控温系统(16)控制探头(14)温度的目标温度水平,当探头(14)的温度达到目标温度水平时,它与被测物(12)接触,以用发自嵌入探头(14)的一光纤维件(15)的光照射被测物(12)并测量被测物(12)的物理参数。

    瓶罐的口部检查方法及检查装置

    公开(公告)号:CN103597338A

    公开(公告)日:2014-02-19

    申请号:CN201280028030.2

    申请日:2012-06-04

    CPC classification number: G01N21/9515 B07C5/3408 G01N21/9054 G01N21/909

    Abstract: 本发明提供一种生产率优异的瓶罐的口部检查方法及检查装置,能够切实地只检测出具有可能发生成漏液等的划痕等凹凸形状的瓶罐,并且能够缩短检查的处理时间。本发明的瓶罐的口部检查方法具备:一次检查工序,对沿主运送通道(101)连续地依次运送的瓶罐(30)的摄像区域(α)内的卷边部(32)照射白色光(W)并进行拍摄,从得到的黑白检查图像检测有无低亮度区域,排除检测到低亮度区域的瓶罐(30b);和二次检查工序,沿从主运送通道(101)退避的副运送通道(102),依次运送由一次检查工序排除的瓶罐(30b)的同时,沿口部(31)的圆筒面大致切线方向,分别从不同的方向对摄像区域(α)内的卷边部(32)照射双色的照明光并进行拍摄,从得到的彩色检查图像的各光色的信号强度,辨别卷边部(32)中有无凹凸形状,从而判定瓶罐的优劣。

    基板处理装置
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102969257A

    公开(公告)日:2013-03-13

    申请号:CN201210311001.9

    申请日:2012-08-28

    Abstract: 本发明提供一种基板处理装置,由于可直接检测处理液的浓度,所以能够进行独立的浓度控制,且由于不易产生因透镜温度变化引起的测定误差,因此能够高精度地进行基板的药液处理。一种在由磷酸和稀释液混合而成的处理液中浸渍基板而进行处理的基板处理装置,具备通过测定处理液的吸光特性而检测处理液浓度的浓度检测单元,浓度检测单元具备:透光部,将处理液导入内部并使之在内部流通;发光部,向透光部照射规定波长的光;受光部,通过透光部接收来自发光部的光;第一透镜,将由发光部发出的光汇聚于透光部;第二透镜,将通过透光部的光汇聚于受光部;和冷却机构,冷却第一透镜和第二透镜中的至少任一个。

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