公开(公告)号：CN101157199A

公开(公告)日：2008-04-09

申请号：CN200710162207.9

申请日：2007-10-08

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 胜冈诚司 ,  关本雅彦 ,  国泽淳次 ,  宫崎充 ,  渡边辉行 ,  小林贤一 ,  粂川正行 ,  横山俊夫

IPC: B24B29/00 ,  B24B57/02 ,  B24B41/04 ,  B24B41/06

CPC classification number: B24B37/04 ,  B24B55/02 ,  Y10S451/914

Abstract: 一种衬底抛光设备包括衬底保持机构和抛光机构，所述衬底保持机构包括用于保持待抛光衬底的机头，所述抛光机构包括上面安装有抛光垫的抛光台。由所述机头保持的衬底被压靠所述抛光台上的所述抛光工具，以通过所述衬底和所述抛光工具的相对运动抛光所述衬底。所述衬底抛光设备还包括衬底传递机构，所述衬底传递机构用于将待抛光的衬底送到所述机头并接收已抛光的衬底。所述衬底传递机构包括用于接收待抛光衬底的待抛光衬底接收器和用于接收已抛光衬底的已抛光衬底接收器。

公开(公告)号：CN1946486A

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200580013155.8

申请日：2005-04-27

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 胜冈诚司 ,  关本雅彦 ,  渡边辉行 ,  加藤亮 ,  横山俊夫 ,  铃木宪一 ,  小林贤一

IPC: B05C9/06 ,  B05B15/12 ,  B05C3/09 ,  B05C11/10 ,  B05C15/00 ,  C23C18/31 ,  C25D17/06 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明涉及基板处理单元，通过用一个基板处理单元进行使用不同处理液的处理，能够实现基板处理整个工艺的空间的削减及基板搬运所需的能量的削减。该基板处理单元具有：上下移动自如的基板保持部(72)，保持基板(W)；外槽(70)，包围该基板保持部(72)的周围；内槽(74)，位于基板保持部(72)的下方，配置在外槽(70)的内部，内部具有药液处理部(84)；喷射处理用盖(76)，自如地闭塞内槽(74)的上端开口部，具有分别喷雾至少2种以上的处理液的多个喷射嘴(116、118)；外槽(70)及内槽(74)具有分别的排液线路(78、92)。

公开(公告)号：CN1685080A

公开(公告)日：2005-10-19

申请号：CN200380100012.1

申请日：2003-11-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 胜冈诚司 ,  关本雅彦 ,  横山俊夫 ,  渡边辉行 ,  小川贵弘 ,  小林贤一 ,  宫崎充 ,  本岛靖之 ,  尾渡晃 ,  大直树

IPC: C23C18/04 ,  C23C18/18 ,  C25D7/12 ,  H01L21/288

CPC classification number: H01L21/67161 ,  C23C18/1628 ,  C23C18/1893 ,  C25D7/123 ,  C25D17/001 ,  C25D17/08 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/6723 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68721 ,  Y10S134/902 ,  Y10T279/11

Abstract: 本发明涉及适合于对基板进行镀敷处理或者把基板浸入到处理液中进行处理的基板处理装置。本发明的基板处理装置(1)，具有：放入和取出基板(W)用的装卸区(100)、用于清洗基板的清洗区(200)、及进行基板镀敷处理的镀敷处理区(300)，在上述装卸区(100)内布置了：具有干式的多个手(137、139)的基板传送机械手(130)、安放基板收纳架的装料口(110)、以及把基板从正面朝上切换到正面朝下的干式翻转机(150)。

公开(公告)号：CN111621832B

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202010122398.1

申请日：2020-02-27

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 平尾智则 ,  山崎岳 ,  阿部贵宏 ,  横山俊夫

IPC: C25D17/00

Abstract: 提供一种阻止或缓解电场绕行的镀覆装置。根据本发明的一个实施方式，提供一种用于对基板保持件所保持的基板进行镀覆处理的镀覆装置，该镀覆装置包括：镀覆槽，该镀覆槽能够接受保持有基板的基板保持件；挡块部件，该挡块部件从所述镀覆槽内侧的壁面向镀覆槽的内侧延伸，并且可以在镀覆槽内移动；以及移动机构，该移动机构使所述挡块部件向配置在所述镀覆槽内的基板保持件移动。

公开(公告)号：CN109537032B

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN201811109882.X

申请日：2018-09-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 山崎岳 ,  平尾智则 ,  横山俊夫

IPC: C25D17/00 ,  C25D5/02 ,  C25D21/12

Abstract: 镀覆装置具有：镀覆槽；基板保持架，该基板保持架配置于所述镀覆槽，用于保持基板；阳极，该阳极用于在与所述基板之间产生电场；以及至少一个电场遮蔽体，该至少一个电场遮蔽体用于遮蔽所述基板保持架和所述电场的一部分或者全部，所述电场遮蔽体具有使所述基板与所述阳极之间的电场穿过的开口部，并且，所述电场遮蔽体构成为能够独立地调整所述开口部的第一方向上的开口尺寸以及第二方向上的开口尺寸。

公开(公告)号：CN108221019B

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：CN201711332926.0

申请日：2017-12-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 横山俊夫 ,  向山佳孝 ,  对马拓也

IPC: C25D7/12 ,  C25D17/00 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明提供基板装卸装置及其控制装置、镀覆装置、存储介质。本发明的基板装卸装置是利用基板保持器的第一及第二保持部件对基板进行夹持来保持该基板的基板装卸装置，具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

公开(公告)号：CN112585303A

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201980054296.6

申请日：2019-07-30

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 山川纯逸 ,  窦春晖 ,  木村梨沙 ,  横山俊夫

IPC: C25D21/14 ,  B22F1/00

Abstract: 本发明涉及一种使用有不溶性阳极的基板的镀覆中使用的氧化铜固体物质。进而，本发明涉及一种制造该氧化铜固体物质的方法。进而，本发明涉及一种用于将溶解有氧化铜固体物质的镀覆液供给至镀覆槽的装置。供给至基板(W)的镀覆用镀覆液的氧化铜固体物质(CS)包含氧化铜粉体和作为将氧化铜粉体固体化的粘合剂的液体。

公开(公告)号：CN111621832A

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN202010122398.1

申请日：2020-02-27

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 平尾智则 ,  山崎岳 ,  阿部贵宏 ,  横山俊夫

IPC: C25D17/00

Abstract: 提供一种阻止或缓解电场绕行的镀覆装置。根据本发明的一个实施方式，提供一种用于对基板保持件所保持的基板进行镀覆处理的镀覆装置，该镀覆装置包括：镀覆槽，该镀覆槽能够接受保持有基板的基板保持件；挡块部件，该挡块部件从所述镀覆槽内侧的壁面向镀覆槽的内侧延伸，并且可以在镀覆槽内移动；以及移动机构，该移动机构使所述挡块部件向配置在所述镀覆槽内的基板保持件移动。

公开(公告)号：CN109072475B

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201780019492.0

申请日：2017-03-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 向山佳孝 ,  横山俊夫 ,  山川纯逸 ,  对马拓也 ,  平尾智则 ,  田村翔 ,  大桥弘尭

IPC: C25D17/08 ,  B65G49/02 ,  C25D17/06 ,  H01L21/683 ,  H05K3/18

Abstract: 本发明提供一种可容易进行基板定位的基板保持架及镀覆装置。基板保持架具有：保持基板的基板保持体；及夹着所述基板保持体而保持的第一保持部件及第二保持部件；所述第一保持部件具有：使所述基板的被镀覆面露出的开口部；及以与所述基板的被镀覆面接触的方式而构成的供电部件。

公开(公告)号：CN108221019A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201711332926.0

申请日：2017-12-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 横山俊夫 ,  向山佳孝 ,  对马拓也

IPC: C25D7/12 ,  C25D17/00 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/68728 ,  C25D17/001 ,  C25D17/06 ,  H01L21/68764 ,  C25D7/123 ,  C25D17/00

Abstract: 本发明提供基板装卸装置及其控制装置、镀覆装置、存储介质。本发明的基板装卸装置是利用基板保持器的第一及第二保持部件对基板进行夹持来保持该基板的基板装卸装置，具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。