Abstract:
니켈 샐리사이드 공정 및 이를 사용하여 반도체소자를 제조하는 방법을 제공한다. 상기 니켈 샐리사이드 공정은 실리콘을 함유하는 절연 영역 및 실리콘 영역을 모두 구비하는 기판을 준비하는 것을 구비한다. 상기 기판 상에 니켈을 증착하고, 상기 니켈을 300℃ 내지 380℃의 제1 온도에서 열처리하여 상기 실리콘 영역 상에 선택적으로 모노 니켈 모노 실리사이드막을 형성함과 동시에 상기 절연 영역 상에 미반응된 니켈막(unreacted nickel layer)만을 남긴다. 상기 미반응된 니켈막을 선택적으로 제거하여 상기 절연 영역을 노출시킴과 동시에 상기 실리콘 영역 상에 상기 모노 니켈 모노 실리사이드막만을 남긴다. 이어서, 상기 모노 니켈 모노 실리사이드막을 상기 제1 온도보다 높은 제2 온도에서 열처리하여 상기 모노 니켈 모노 실리사이드막의 상변이(phase transition) 없이 열적으로 안정한(thermally stable) 모노 니켈 모노 실리사이드막을 형성한다.
Abstract:
PURPOSE: A nickel alloy salicide process is provided to remarkably improve thermal stability of a nickel alloy silicide layer by using a nickel alloy layer containing an additive element like tantalum. CONSTITUTION: A nickel alloy layer containing at least one species of additive element is formed on a semiconductor substrate containing silicon wherein the content of the species of additive element is from 0.1 atomic percent to 10 atomic percent. A heat treatment is performed on the semiconductor substrate having the nickel alloy layer to form the nickel alloy silicide layer generated by reaction of the nickel alloy layer and the semiconductor substrate.
Abstract:
An image display method for a portable terminal comprises a vertical screen display process where images on screen are displayed on one page, in a vertical display mode; and a horizontal screen display process where images on screen are displayed on two pages with a distinguishing line in the center of the screen, in a horizontal display mode.
Abstract:
A semiconductor device with an CMOS transistor and a manufacturing method thereof are provided to obtain optimum Vt values from NMOS and PMOS transistors using an improved gate electrode including a predetermined metal alloy layer. A semiconductor device includes a CMOS transistor which is composed of a first MOS transistor with a first channel of a first conductive type and a second MOS transistor with a second channel of a second conductive type. The first MOS transistor(110) is composed of a first gate insulating layer(112) and a gate electrode. The gate electrode includes a first metal alloy layer(118) composed of a first metal(114) and a second metal(116).
Abstract:
A semiconductor device with a nitrogen implanting active region is provided to embody a semiconductor device capable of adjusting a threshold voltage as using high-K dielectrics as a membrane material of a gate dielectric layer by forming a nitrogen implanting active region in a first region of a semiconductor substrate and by sequentially stacking a first gate dielectric layer and a first gate electrode on the nitrogen implanting active region. First and second regions(1,2) are defined in a semiconductor substrate(51). A nitrogen implanting active region(61) is disposed in the first region of the semiconductor substrate. A first gate electrode(73) is disposed on the nitrogen implanting active region. A first gate dielectric layer(75') is interposed between the nitrogen implanting active region and the first gate electrode, including high-K dielectrics(63) and a nitrogen-containing high dielectric layer(63N). A second gate electrode(74) is disposed on the semiconductor substrate in the second region. A second gate dielectric layer is interposed between the semiconductor substrate in the second region and the second gate electrode, including the high-K dielectrics. The first and second gate dielectric layers have the same thickness. The nitrogen-containing high dielectric layer comes in contact with the nitrogen implanting active region. A first well(53) is disposed in the first region of the semiconductor substrate. A second well(54) is disposed in the second region of the semiconductor substrate. The first well is a p-well, and the second well is an n-well or a p-well.
Abstract:
본 발명에 따른 방법은, 프리뷰 모드에서 프리뷰 이미지를 갱신하여 디스플레이 패널로 표시하고, 촬영 모드에서 촬영 동작에 의하여 얻어진 사용자 파일들을 저장 매체에 저장하는 디지털 촬영 장치의 제어 방법으로서, 단계들 (a) 및 (b)를 포함한다. 단계 (a)에서는, 프리뷰 모드에서 갱신되는 프리뷰 이미지가 미리 설정된 시간 간격마다 프리뷰 이미지 저장소에 저장된다. 단계 (b)에서는, 프리뷰 이미지 저장소에 저장된 프리뷰 이미지들 중 사용자에 의해 선택된 하나 이상의 프리뷰 이미지들이 저장 매체에 저장된다. 디지털 카메라, 프리뷰 이미지
Abstract:
니켈 샐리사이드 공정 및 이를 사용하여 반도체소자를 제조하는 방법을 제공한다. 상기 니켈 샐리사이드 공정은 실리콘을 함유하는 절연 영역 및 실리콘 영역을 모두 구비하는 기판을 준비하는 것을 구비한다. 상기 기판 상에 니켈을 증착하고, 상기 니켈을 300℃ 내지 380℃의 제1 온도에서 열처리하여 상기 실리콘 영역 상에 선택적으로 모노 니켈 모노 실리사이드막을 형성함과 동시에 상기 절연 영역 상에 미반응된 니켈막(unreacted nickel layer)만을 남긴다. 상기 미반응된 니켈막을 선택적으로 제거하여 상기 절연 영역을 노출시킴과 동시에 상기 실리콘 영역 상에 상기 모노 니켈 모노 실리사이드막만을 남긴다. 이어서, 상기 모노 니켈 모노 실리사이드막을 상기 제1 온도보다 높은 400℃ 내지 500℃의 제2 온도에서 열처리하여 상기 모노 니켈 모노 실리사이드막의 상변이(phase transition) 없이 열적으로 안정한(thermally stable) 모노 니켈 모노 실리사이드막을 형성한다.
Abstract:
자기정렬 실리사이드층을 가지는 반도체 소자 및 그 제조방법을 제공한다. 이 소자는 기판에 형성되어 활성영역을 한정하는 소자분리막과 상기 활성영역 상부를 가로지르는 게이트 패턴을 포함한다. 상기 게이트 패턴의 양 측벽에 스페이서 절연막이 형성된다. 상기 게이트 패턴의 상부(upper portion)에 제 1 및 제 2 살리사이드층(salicide layer)가 형성되고, 상기 스페이서 절연막과 상기 소자분리막 사이의 활성영역에 각각 제 1 살리사이드층(salicide layer)이 형성된다. 상기 게이트 패턴 상부의 제 1 및 제 2 살리사이드층은 번갈아 서로 연결되어 형성된다. 폭이 좁은 게이트 패턴에 제 1 살리사이드층이 집괴되어 형성된 후 제 2 살리사이드층으로 패치하여 이어진 살리사이드층을 형성할 수 있다.