公开(公告)号：KR1020020074707A

公开(公告)日：2002-10-04

申请号：KR1020010014656

申请日：2001-03-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 황정성 ,  최재흥 ,  김혁기

IPC: H01L21/68

Abstract: PURPOSE: A wafer carrier is provided to minimize a processing time and a wafer transfer time by increasing the amount of loaded wafers into a body of a FOUP(Front Opening Unified Pod) type wafer carrier. CONSTITUTION: A FOUP type wafer carrier(100) is formed with a body(110) and a door. The body(110) of FOUP type wafer carrier has a shape of a rectangular box. A handle is formed on both sides of the body(110). A hanger(130) is formed on an upper surface of the body(110). A support plate(190) is formed on a bottom surface of the body(110). A plurality of wafers are loaded in the body(110). A plurality of wafer cushions(115) are installed on inner both sides of the body(110). Namely, 26 wafer cushions(115) are installed on inner both sides of the body(110) in order to load 25 sheets of product wafers and a sheet of monitoring wafer into the body(110).

Abstract translation: 目的：提供晶片载体，以通过将加载的晶片的量增加到FOUP（前开口统一荚）型晶片载体的主体中来最小化处理时间和晶片传送时间。 构成：FOUP型晶片载体（100）形成有主体（110）和门。 FOUP型晶片载体的主体（110）具有矩形盒的形状。 手柄形成在主体（110）的两侧。 衣架（130）形成在主体（110）的上表面上。 支撑板（190）形成在主体（110）的底表面上。 多个晶片装载在主体（110）中。 多个晶片垫（115）安装在主体（110）的内侧两侧。 也就是说，26个晶片垫（115）安装在主体（110）的内侧两侧，以将25张产品晶片和一片监视晶片装载到主体（110）中。

公开(公告)号：KR1020000015652A

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019980035688

申请日：1998-08-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김혁기 ,  한윤수 ,  류재준 ,  안요한

IPC: H01L21/68

Abstract: PURPOSE: The wafer box prevents the generation of a particle due to the wearing with a wafer cassette. CONSTITUTION: A wafer box(10) receives a wafer cassette(11) where a wafer is placed in. The wafer box has a support pin(15) formed in the top inner side to receive and to support the wafer cassette. The wafer box prevents the wearing with the wafer by forming the support pin with a wear-resistant material. The wear-resistant material is formed by mixing an original material with a sub material. The original material is selected among composite materials such as polybutyl terephthalate and polyetheretherketone, and the sub material is selected among carbon-fiber and carbon-powder.

Abstract translation: 目的：晶圆盒可防止因晶片盒磨损而产生颗粒。 构成：晶片盒（10）接收放置晶片的晶片盒（11）。晶片盒具有形成在顶部内侧的支撑销（15），用于接收和支撑晶片盒。 晶片盒通过用耐磨材料形成支撑销来防止与晶片的磨损。 耐磨材料通过将原材料与副材料混合而形成。 原材料选自聚对苯二甲酸丁二醇酯和聚醚醚酮等复合材料，子材料选自碳纤维和碳粉。

公开(公告)号：KR1020080050703A

公开(公告)日：2008-06-10

申请号：KR1020060121266

申请日：2006-12-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 오형섭 ,  김혁기 ,  김기두 ,  이민선 ,  강진영 ,  백승희

IPC: H01L21/02

Abstract: A wafer protecting film in a wafer packaging container is provided to prevent impact and the generation of a surface scratch during a wafer transfer by using an absorption film for absorbing moisture and contaminants. A wafer protecting film(30) is a wafer insert which is arranged between wafers for protecting a surface of the wafer from contamination and rubbing between the wafers. The wafer protecting film is comprised of an upper film(32), a lower film(34), and an absorption film(36). The upper film, the lower film, and the absorption film are thermally treated at a high temperature and cemented at each edge thereof to configure the wafer protecting film. The absorption film is disposed between the upper film and the lower film. The absorption film includes an activated carbon as an absorbent for eliminating contaminants. Therefore, the wafer protecting film effectively eliminates the contaminants from the outside and/or contaminants generated in a wafer packaging container.

Abstract translation: 提供晶片封装容器中的晶片保护膜，以通过使用用于吸收水分和污染物的吸收膜来防止晶片转移期间的冲击和表面划痕的产生。 晶片保护膜（30）是晶片插入件，其被布置在晶片之间，用于保护晶片的表面免受晶片之间的污染和摩擦。 晶片保护膜由上膜（32），下膜（34）和吸收膜（36）组成。 上部膜，下部膜和吸收膜在高温下进行热处理，并在其每个边缘进行胶合以构成晶片保护膜。 吸收膜设置在上膜和下膜之间。 吸收膜包括作为消除污染物的吸收剂的活性炭。 因此，晶片保护膜有效地消除了来自外部的污染物和/或在晶片封装容器中产生的污染物。

公开(公告)号：KR1020070035275A

公开(公告)日：2007-03-30

申请号：KR1020050089945

申请日：2005-09-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김기두 ,  김혁기 ,  안요한 ,  오형섭 ,  이민선 ,  강진영

IPC: B65D85/48 ,  B65D81/18 ,  B65D81/20

CPC classification number: B65D81/20 ,  B65D81/18 ,  B65D85/38 ,  H01L21/682

Abstract: 본 발명은 웨이퍼 운송용기에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 웨이퍼 운송용기는 상부용기와 상기 하부용기에 의해 만들어지는 실린더 내부로 청정 가스를 주입하고 불순 가스 및 수분을 배출할 수 있는 가스 입출입 장치를 포함한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 운송용기는 가스 입출입 장치를 구비하여 용기 내에 있는 불순 가스 및 수분을 제거할 수 있게 된다.
가스 입출력 장치, 질소

公开(公告)号：KR1020040035418A

公开(公告)日：2004-04-29

申请号：KR1020020064555

申请日：2002-10-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이옥선 ,  김혁기 ,  조창민 ,  김기두

IPC: A42B1/00

CPC classification number: A42B1/066 ,  A42B1/045 ,  Y10S2/901

Abstract: PURPOSE: A dustproof cap for a sanitary chamber is provided to minimize particles discharged from a body of a worker and to improve a wearing condition. CONSTITUTION: A dustproof cap for a sanitary chamber comprises a hood unit(102) being formed to expose a part of a face of a worker and to cover the whole head of the worker and including an edge connected to the face and made of fiber materials with elasticity to be worn to fit the worker's face; and a wing unit(110) being connected to the lower end of the hood unit(102) and having an adhesive tape on the end of the wing to control the size around a neck when wearing. The hood unit(102) includes a first portion(106) to cover the upper part and the rear middle part of the head on the basis of the face of the worker, and a second portion(107) continuously sewed with the edge of the first portion(106) to cover both sides of the head and the forehead and jaw of the face of the worker.

Abstract translation: 目的：提供用于卫生室的防尘盖，以使从工作人员身体排出的颗粒最小化并改善磨损状况。 构成：用于卫生室的防尘盖包括罩单元（102），其形成为暴露工作人员的一部分面部并覆盖工作人员的整个头部，并且包括连接到面部并由纤维材料制成的边缘 具有弹性以适应工人的脸部; 以及翼单元（110），其连接到所述罩单元（102）的下端，并且在所述翼的端部上具有粘合带，以在穿着时控制颈部周围的尺寸。 罩单元（102）包括：第一部分（106），用于基于工人的脸部覆盖头部的上部和后部中部;以及第二部分（107），其连续缝合 第一部分（106），以覆盖头部的两侧以及工作者面部的前额和下颌。

公开(公告)号：KR1020040018865A

公开(公告)日：2004-03-04

申请号：KR1020020050946

申请日：2002-08-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조창민 ,  김혁기 ,  이옥선 ,  김기두

IPC: A41D13/00

Abstract: PURPOSE: A clean room dust-free garment is provided to minimize the inflow of ion components or metal components generated from a worker into a clean room. CONSTITUTION: The clean room dust-free garment(10) comprises: an upper garment(12) for the upper body of a worker; a zipper(22) attached to the upper garment, coated with polyurethane material and for use in putting on or taking off the upper garment; and a lower garment(14) for the lower body of the worker.

Abstract translation: 目的：提供洁净室无尘衣服，以尽量减少从工作人员进入洁净室的离子组件或金属部件的流入。 规定：洁净室无尘服装（10）包括：用于上层工人的上衣（12）; 附着在上衣上的拉链（22），涂覆有聚氨酯材料并用于穿上或脱下上衣; 和用于工人下半身的下衣（14）。

公开(公告)号：KR200260705Y1

公开(公告)日：2002-01-17

申请号：KR2019990008420

申请日：1999-05-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조창민 ,  김혁기 ,  이건형 ,  이옥선

IPC: A43B7/36

Abstract: 본 고안은 청정실용 방진화를 개시한다. 이에 의하면, 가피와 몸판을 도전성 방진원단으로 2중 봉제처리하고 가피의 내부면에 카본사가 벌집모양의 형태를 가지면서 혼합된 방진원단을 배치하고, 깔창에 카본사가 벌집모양의 형태를 갖는 방진원단을 덮고, 밑창 내에 고 저항체와 도전성 유연 판재를 내재한다.
따라서, 몸판에서의 정전기가 2중 봉제처리된 도전성 방진원단에 의해 신속하게 제거되고, 가피와 몸판의 이음매에서 파티클의 발진이나 통과가 어려워 인체에서 발생되는 파티클의 효과적인 차단이 가능하고, 가피와 몸판의 결합이 견고하여 제품수명의 연장에 따른 원가절감이 가능하고, 깔창과 밑창의 원활한 정전기 제거가 가능하고, 방전된 정전기의 역류가 방지된다.

公开(公告)号：KR1020000060993A

公开(公告)日：2000-10-16

申请号：KR1019990009705

申请日：1999-03-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임창수 ,  김혁기 ,  박문수 ,  이건형

IPC: G01N1/00

Abstract: PURPOSE: An organic ingredients collector using a chamber is provided to secure the reliability of organic ingredient analysis by collecting organic ingredient without changing and removing a sample. CONSTITUTION: An organic ingredients collector includes a chamber(14) wherein a sample(18) surrounded by a heatproof wall(26) including a heating unit is inserted and the inside of the chamber includes sample keeping stand for mounting sample, a gas injection unit(12) wherein an inert gas connected with the sample keeping stand, is injected in the lower part of the chamber, a discharging unit(28) for discharging the organic ingredients of the sample and the inert gas connected with the upper part of the chamber from the chamber, a temperature controller(20) for controlling the temperature of the inside of the chamber, and a collecting unit(30) attachable to the discharging unit for collecting the organic ingredients.

Abstract translation: 目的：提供使用室的有机成分收集器，以通过收集有机成分来确保有机成分分析的可靠性，而不改变和去除样品。 构成：有机成分收集器包括室（14），其中插入由包括加热单元的耐热壁（26）围绕的样品（18），并且室的内部包括用于安装样品的样品保持架，气体注入单元 （12），其中与所述样品保持架连接的惰性气体注入所述室的下部，用于排出所述样品的有机成分和与所述室的上部连接的惰性气体的排出单元（28） 来自所述室的用于控制所述室内部的温度的温度控制器（20），以及可附接到所述排出单元的收集单元（30），用于收集有机成分。

公开(公告)号：KR100244926B1

公开(公告)日：2000-03-02

申请号：KR1019970073509

申请日：1997-12-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임창수 ,  김혁기 ,  김수련 ,  김일경

IPC: B32B5/26 ,  A41D13/00 ,  D06N7/00

CPC classification number: B32B27/12 ,  A41D31/02 ,  B32B5/024 ,  B32B5/026 ,  B32B7/14 ,  B32B27/40 ,  B32B2262/0276 ,  B32B2375/00 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/2481 ,  Y10T428/24818 ,  Y10T428/24826 ,  Y10T442/2008 ,  Y10T442/2418 ,  Y10T442/2475 ,  Y10T442/3179 ,  Y10T442/3293 ,  Y10T442/365 ,  Y10T442/3854 ,  Y10T442/40

Abstract: 반도체 클린룸용 방진원단으로서, 편직물로 된 기저층, 상기 기저층위에 점접착되며 무공(無空)타입의 고흡수성 폴리우레탄 수지필름으로 된 중간층, 상기 중간층위에 접착되며 경사 또는 위사 방향의 소정 간격으로 도전사가 배열된 폴리에스테르 고밀도 직물로 이루어진 외피층의 3층 구조로 구성되어 인체에서 발생되는 수분 등의 미세한 파티클에 대한 차폐 기능이 우수하고 착용감이 뛰어난 반도체 클린룸용 방진원단이 개시되어 있다.

公开(公告)号：KR100237831B1

公开(公告)日：2000-01-15

申请号：KR1019970066719

申请日：1997-12-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 한윤수 ,  김승언 ,  김혁기 ,  김현준

IPC: A41D13/00

CPC classification number: A41D13/1263 ,  A41D13/02 ,  A41D27/28 ,  Y10S2/01

Abstract: 본 발명은 청정실 내에서 작업하는 작업자의 인체로부터 발생된 각종 파티클이 유출되어 작업대상체가 오염 또는 손상되는 것을 방지하도록 하는 청정실용 방진복에 관한 것이다.
본 발명은 공기의 흐름이 하향 수직층류 타입으로 이루어진 청정실 내에 작업자가 착용하는 청정실용 방진복에 있어서, 인체의 허리 상측 소정 부위를 커버하는 상의와 상기 허리 하측 소정 부위를 커버하는 하의가 일체형으로 제작되고, 상기 허리 부위를 중심으로 상의 내측과 하의 내측을 상호 연통하도록 연결하는 통풍관이 형성되며, 상기 하의 소정 위치에 내측의 공기가 배출 가능하도록 배출부가 형성됨을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 허리 부위에 형성된 통풍관과 하의 하측에 형성된 배출부를 통해 청정실용 방진복 내부의 공기를 외측으로 배출함에 따라 내측의 파티클 유출을 방지하게 되어 인체로부터 발생되는 파티클에 의한 작업대상체의 오염 및 손상이 방지되는 효과가 있다.