Abstract:
보안 부팅 방법 및 그 방법을 사용하는 반도체 메모리 시스템이 개시된다. 상기 반도체 메모리 시스템은 외부 메모리, 내부 메모리 및 OTP 메모리(One-time Programmable memory)를 구비한다. 상기 외부 메모리는 커널(kernel), 공개키, 상기 공개키를 인증하고 테스트 비밀키를 생성하는데 사용되는 제 1 부팅정보 및 상기 커널의 무결성을 검증하는 제 2 부트로더를 포함한다. 상기 내부 메모리는 상기 제 2 부트로더의 무결성을 검증하고 상기 테스트 비밀키를 생성하는 제 1 부트로더를 포함한다. 상기 OTP 메모리는 상기 공개키와 비밀키를 이용하여 생성된 제 2 부팅정보를 포함한다. 상기 보안 부팅 방법 및 그 방법을 사용하는 반도체 메모리 시스템은 종래기술과 달리 비밀키를 저장하기 위해서 별도의 OTP 메모리(One-time Programmable memory)를 필요로 하지 않으므로, OTP 메모리의 용량 및 기록 시간을 종래에 비하여 절반 정도로 감소시킬 수 있는 장점이 있다.
Abstract:
PURPOSE: Trusted mobile web client and server systems are provided to allow an authorized remote web server to easily browse/update private data stored in a trust zone. CONSTITUTION: A trusted service application (TSA) is executed on a trusted operating system (T-OS) through secure user access. A trusted web server (TWS) module (124) is executed on the T-OS. The TWS module transmits information generated by the execution of the TSA through internet protocol (IP). A user application is executed on a rich operating system (R-OS) through normal user access. The user application relays data exchanges between a remote web server (RWS) and the TWS module through a secure session.
Abstract:
미세 구조물의 임계 치수를 정확하게 측정할 수 있는 측정 방법에 따르면, ⅰ)기판 상에 형성된 미세 구조물의 이미지에서 미세 구조물의 제1측 둘레를 커버하는 제1 측정 박스 및 제1 측정 박스에 대하여 선대칭 관계를 가지며 미세 구조물의 제2측 둘레를 커버하는 제2 측정 박스를 포함하는 측정 세트를 설정하고, ⅱ)제1 측정 박스 내의 제1측 둘레를 따라서 복수개의 제1 측정 지점들을 설정한다. ⅲ)제2 측정 박스 내의 제2측 둘레를 따라서 복수개의 제2 측정 지점들을 설정하고, ⅳ)제1 측정 지점들 간의 거리를 합산하여 제1 소계값을 획득한다. ⅴ)제2 측정 지점들 간의 거리를 합산하여 제2 소계값을 획득하고, ⅵ)제1 소계값과 제2 소계값을 합산하여 총계값을 획득한다. ⅶ)미세 구조물에 대한 측정 세트의 위치를 변경시켜가며 ⅱ) 및 ⅵ)를 반복적으로 수행하여 총계값들을 획득하는 하고, ⅷ)총계값들 중에서 최소 값이 획득된 측정 세트의 위치에서 미세 구조물의 임계 치수를 측정한다.
Abstract:
본 발명은, 웨이퍼검사장치에 관한 것으로서, 웨이퍼를 지지하는 시료대와; 상기 시료대에 지지된 웨이퍼의 판면 방향으로 상기 시료대를 이송시키는 시료대이송부와; 상기 웨이퍼의 판면과 이격된 위치에서 상기 웨이퍼를 관측하는 대물렌즈와; 상기 대물렌즈와 상기 시료대에 지지된 웨이퍼의 이격거리를 조절하는 렌즈구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 구조가 간단하고 신속한 검사 및 분류가 가능할 뿐만 아니라, 정확도를 향상시키고, 부품간의 간섭을 줄여 안정적으로 동작을 구현할 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: Provided are a composition for removing resist, which has excellent ability for removing the resist, polymers, organic metallic polymers, and metal oxides and dose not cause damage to a lower part membrane and dose not leave residues after rinsing, and a method for removing the resist by using the composition. CONSTITUTION: The composition for removing the resist contains: alkoxy N-hydroxyalkyl alkanamide represented by the formula 1: R4-O-R3-CO-N-R1R2OH; at least one compound selected from the group consisting of an alkanol amine represented by the formula 2: R1-NH-R2OH, a polar material having a dipole moment of more than 3, and an attack inhibitor represented by the formula 3: R6-(OH)n; hydroxy ammonium salt like hydroxy ammonium sulfate. And the method for removing the resist contains the steps of: forming a resist membrane on a substrate; bring the substrate into contact with the composition for removing the resist. In the formula, R1 is H, C1-C5 hydrocarbon, or aromatic hydrocarbon having 1-3 ring structure, R2 is C1-C5 hydrocarbon or aromatic hydrocarbon having 1-3 ring structure, each of R3 and R4 is C1-C5 hydrocarbon, R6 is C1-C5 hydrocarbon, C1-C5 hydrocarbon having -COOH, aromatic hydrocarbon having 1-3 ring structure, or aromatic hydrocarbon having -COOH and 1-3 ring structure, and n is an integer of 1-4.
Abstract:
PURPOSE: Provided are a detergent and a method for cleansing an ESC chuck of a metal dry etcher for semiconductors, which can secure stability for workers, maximize work efficiency, minimize the attack of the ESC chuck against a wafer, stabilize the supply and demand of the detergent, and prevent chemicals from remaining on the wafer. CONSTITUTION: The detergent comprises 0.1-0.2vol% of HF, 2-5vol% of NH4OH, 5-10vol% of CH3COOH, 5-10vol% of xylitol, 5-10vol% of (NH3OH)2SO4, and 60-80vol% of H2O. And the cleansing method is performed by soaking a cotton swab with the detergent and cleansing or impregnating into the detergent at a room temperature to 80deg.C.
Abstract:
디펙트 검출설비에서 얻어지는 디펙트 결과 데이터를 변환시키는 프로그램을 인스톨하여 디펙트 결과 데이터를 분석을 위하여 변환시켜서 이용함으로써 정확히 디펙트 위치를 인식할 수 있도록 개선시킨 반도체장치의 디펙트 분석 시스템과 그에 따른 분석 방법 및 이를 수행하기 위한 프로그램을 저장한 기록 매체에 관한 것이다. 본 발명은, 웨이퍼 상의 디펙트를 검출하는 검출설비에서 검출된 디펙트의 분석을 수행하는 반도체장치의 디펙트 분석 시스템에 있어서, 디펙트 분석기의 분석동작을 제어하는 분석용 컴퓨터와 상기 검출설비에 구비된 컴퓨터가 통신망을 통하여 연결되고, 상기 분석용 컴퓨터에 검출 데이터로써 분석동작을 위한 디펙트 위치 판단 프로스램이 인스톨되어서 상기 분석용 컴퓨터는 상기 통신망을 통하여 상기 검출설비의 검출결과로써 분석을 위한 웨이퍼 상 디펙트 위치를 판단하도록 구성됨을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 의하면 디펙트 검출설비로 출력된 검출자료를 분석설비에서 활용할 수 있도록 프로그램을 설치함으로써 디펙트 위치가 정확히 인식될 수 있고, 분석시간이 절감되어서 작업성이 증대되는 효과가 있다.