公开(公告)号：KR100163551B1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR1019950031492

申请日：1995-09-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이현재 ,  이상호 ,  남창현

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 반도체 제조공정에 사용되는 화학용액을 정량적으로 공급하는 반도체제조장치에 관한 것으로, 특히 비율이 높은 화학용액의 혼합시 소량의 약액을 공정조 또는 혼합조에 정밀한 제어로 공급이 가능하도록 한 것이다.
종래의 약액의 정량공급장치는 공급이 어렵고 약액의 낭비나 약액이 비율의 변화에 적절히 대응할 수 없는 단점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로, 반도체 제조장비에 사용되는 화학용액을 공정조 또는 혼합조에 정량공급하기위한 약액중앙공급부(CCSS)와 버퍼탱크를 구비하고, 상기 버퍼탱크에 담겨진 용액을 소정량 수용하는 용기수단과 : 상기 용기수단에 채어진 용액을 상기 공정조나 혼합조로 일정량 공급하는 배출수단을 포함하여, 약액의 낭비없이 정확한 량의 공급과 정량의 따라 조작이 비율변경에 따라 조작이 용이하도록 한 것이다.

公开(公告)号：KR1019970072138A

公开(公告)日：1997-11-07

申请号：KR1019960012523

申请日：1996-04-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이현재 ,  고용선

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 웨이퍼 세정장치 및 세정방법에 관해 개시한다. 본 발명에 의한 세정장치는 세정액 공급부와 상기 세정액 공급부로부터 세정액을 공급받는 초음파는 방출하는 DI 소닉(sonic)과 웨이퍼 세정용 브러쉬와 DI 노즐(nozzle)을 포함하는 메가소닉 세정공정이 진행되는 스핀 스크래블러를 구비한다.
따라서 본 발명에 의한 세정장치를 이용한 세정방법은 메가소닉장치와 DI소닉을 이용한 매엽식 세정장치를 결합한 세정장치를 이용함으로써, 물리 화학적인 방법으로 웨이퍼를 세정할 수 있다. 즉, 초음파 세정과 세정액을 이용한 세정을 결합하여 세정을 실시하므로 세정효과를 높일 수 있을 뿐만 아니라 세정시간을 짧게할 수 있으므로 대구경 웨이퍼의 세정에도 긴 시간을 요하지 않는다. 결과적으로 반도체장치의 생산성을 높일 수 있다.

公开(公告)号：KR1019970063533A

公开(公告)日：1997-09-12

申请号：KR1019960003807

申请日：1996-02-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 황인석 ,  정대혁 ,  이현재 ,  고용선

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 반도체소자의 제조장비중에서 공정의 진행중 발생한 웨이퍼 표면의 오염을 제거하기 위한 세정장치에 관한 것으로 특히 세정장치내에서 웨이펴의 이송을 위하여 사용되는 이송아암에 대한 것이다.
종래의 세정장치는 웨이퍼의 이송시 대기중에 노출되어 주위의 파티클이 웨이퍼의 표면에 흡착하는 기회가 잦아지게 되고 특히 이 과정에서 자연건조가 발생하여 웨이퍼의 물반점이 발생하는 등 후속공정에 치명적인 불량을 일으키는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점들을 해소하기 위한 것으로 세정조를 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 아암의 중심에 소정길이 돌출되게 형성된 복수개의 분사공을 갖는 노즐과, 상기 노즐에 순수를 공급하는 순수공급라인에 연결되는 순수공급부와, 상기 세척액의 공급을 제어하는 제어수단으로 구성하여, 세정조에서 공기중으로 웨이퍼가 노출될 때 지속적으로 탈이온수가 공급되도록하여 공기중 파티클의 흡착과 자연건조에 의한 오염이 방치되도록 한것이다.

公开(公告)号：KR1019970023610A

公开(公告)日：1997-05-30

申请号：KR1019950035602

申请日：1995-10-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남창현 ,  남재우 ,  이현재 ,  이상호

IPC: H01L21/00

Abstract: 본 발명은 반도체 제조공정에 사용되는 화학용액을 공급하는 반도제조장치에 관한 것으로, 특히 비율이 높은 화학용액의 혼합시 소량의 약액을 공정조 또는 혼합조에 정밀한 제어로 공급이 가능하도록 한 화학용액의 정량공급장치에 대한 것이다.
종래의 약액공급장치는 이러한 설비가 공간을 많이 차지할 뿐 아니라 다양한 비율을 요구하는 현재의 세정공정에 대처하기 어렵고, 정량을 조절할 수 없는 상태에서 자체적으로 보정할거나 제어할 수 있는 장비가 없어 후속세정공정에 막대한 영향을 미쳐왔었다.
본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로, 반도체 제조장비에 사용되는 화학용액을 공정조 또는 혼합조에 정량공급하기 위한 밸브를 구비한 약액중앙공급부(CCSS)을 구비하고 상기 약액중앙공급부와 밸브사이의 공급라인에 연결되는 유량감지수단과, 상기 유량감지부재에서 감지된 데이터를 입력받아 상기 밸브를 제어하는 제어 신호를 출력하는 제어수단을 포함하여 약액의 정량공급과 다양한 비율에 대한 조절은 물론 정량공급의 에러에 대해 자체진단을 하여 보정할 수 있도록 한 것이다.

公开(公告)号：KR1020170062613A

公开(公告)日：2017-06-08

申请号：KR1020150167578

申请日：2015-11-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 오인욱 ,  이현재 ,  양재석

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/8234 ,  H01L29/66 ,  H01L29/417

CPC classification number: H01L29/6681 ,  H01L21/76816 ,  H01L21/823821 ,  H01L21/845 ,  H01L23/528 ,  H01L27/11573 ,  H01L27/11575 ,  H01L27/3223

Abstract: 반도체장치의제조방법은제1 방향으로서로이격하는제1 및제2 메인영역들, 및상기제1 및제2 메인영역들주변의더미영역을포함하는기판을제공하되, 상기더미영역은상기제1 및제2 메인영역들사이의더미연결영역, 및상기더미연결영역을사이에두고상기제1 방향과교차하는제2 방향으로서로이격하는제1 및제2 더미셀 영역들을포함하는것; 및상기더미영역상에상기제2 방향으로연장되고상기제1 방향으로서로이격하는더미활성패턴들을형성하되, 상기더미활성패턴들은상기제1 더미셀 영역상의제1 더미활성패턴들, 상기제2 더미셀 영역상의제2 더미활성패턴들, 및상기더미연결영역상의연결더미패턴들을포함하고, 상기연결더미활성패턴들은상기제1 더미활성패턴들중 일부와상기제2 더미활성패턴들중 일부를연결하는것을포함할수 있다.

Abstract translation: 一种制造半导体器件的方法包括：提供衬底，该衬底包括在第一方向上彼此间隔开的第一主区域和第二主区域以及围绕第一主区域和第二主区域的虚设区域， 2个第一微透镜区域和第二微透镜区域，所述第一微透镜区域和第二微透镜区域在与所述第一方向交叉的第二方向上彼此间隔开， 并且伪虚拟有源图案在第二方向上延伸并且在虚拟区域上沿着第一方向彼此间隔开，伪有源图案包括第一虚设单元区域上的第一虚设有源图案， 第二虚设有源图案，并且包括连接在虚设连接区域中的虚设图案，在胶束区域虚设有源图案的连接是一些第一虚设有源图案的所述部分和所述第二虚设有源图案的 它可以包含连接。

公开(公告)号：KR1020140093818A

公开(公告)日：2014-07-29

申请号：KR1020130005494

申请日：2013-01-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이현재 ,  김광수 ,  안명기 ,  전병환

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/24

Abstract: A profile management system is provided. The profile measurement system comprises a light source; a beam shaper forming a light generated from the light source; a beam splitter transmitting a portion of the light formed by the beam shaper and reflecting the other portion of the light; an objective lens receiving the light from the beam splitter and emitting the light to a stage which mounts an object; and a profile estimation unit having a plurality of focuses which continuously changes. The profile estimation unit includes a focusing lens and a light receiving unit receiving the light passing through the focusing lens.

Abstract translation: 提供配置文件管理系统。 轮廓测量系统包括光源; 光束整形器，形成从光源产生的光; 分束器，透射由光束整形器形成的光的一部分并反射光的另一部分; 接收来自分束器的光并将光发射到安装物体的台的物镜; 以及具有连续变化的多个焦点的轮廓估计单元。 轮廓估计单元包括聚焦透镜和接收穿过聚焦透镜的光的光接收单元。

公开(公告)号：KR101138395B1

公开(公告)日：2012-04-27

申请号：KR1020070075872

申请日：2007-07-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이현재

IPC: H04L9/32

CPC classification number: H04L12/2821 ,  H04L63/0428 ,  H04L63/10 ,  H04L65/1073 ,  H04L65/4076 ,  H04L2463/101 ,  H04N5/4401 ,  H04N7/106 ,  H04N7/17318 ,  H04N21/4108 ,  H04N21/43615 ,  H04N21/4405 ,  H04N21/44231 ,  H04N21/4622 ,  H04N21/482 ,  H04N21/64322 ,  H04N21/6581

Abstract: A method and an apparatus for sharing access rights of contents are provided to manage copyrights of the constants from a constant server by transmitting an encryption key or device information using a portable security module. A security information receiver(410) receives an encryption key and/or device information from a portable security module. The portable security module receives an encryption key and device information of a second device by using a contactless scheme and stores the received information. A memory(420) stores the encryption key and the device information, which are received at the security information receiver. The encryption key is transmitted to a device authenticator, while the device information is transmitted to a content interface(450). Then the encryption key is transmitted to the content server. A device authenticating unit(430) authenticates the second device based on the encryption key which is received from the security information receiver.

公开(公告)号：KR1020080071378A

公开(公告)日：2008-08-04

申请号：KR1020070009544

申请日：2007-01-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이현재 ,  송태영

IPC: H04L9/32 ,  H04L12/28 ,  G06F17/00

CPC classification number: H04L9/321 ,  H04L9/3234 ,  H04L2209/805

Abstract: A method and an apparatus for sharing access right of contents are provided to transmit an encryption key and device information by using a portable security module. An information receiving process is performed to receive Information related to a predetermined encryption key provided from a second device(130) on a home network including a first device(120) by using a portable security module(150). An authentication process is performed to authenticate the second device through the home network on the basis of the received encryption key. A transmitting process is performed to transmit information required for accessing contents to the authenticated second device.

Abstract translation: 提供一种用于共享内容访问权限的方法和装置，用于通过使用便携式安全模块来发送加密密钥和设备信息。 执行信息接收处理，以通过使用便携式安全模块（150）接收与包括第一设备（120）的家庭网络上的第二设备（130）提供的预定加密密钥有关的信息。 执行认证处理以基于所接收的加密密钥通过家庭网络认证第二设备。 执行发送处理以将访问内容所需的信息发送到认证的第二设备。

公开(公告)号：KR1020020040441A

公开(公告)日：2002-05-30

申请号：KR1020000070487

申请日：2000-11-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이현재

IPC: G06F17/00

Abstract: PURPOSE: An apparatus and method for automatically creating, converting, and inputting a random ID and password are provided to prevent the leakage of the personal information by accessing a web site through the random-created ID and password in the log-in. CONSTITUTION: A user accesses the relevant web site by entering URL(Uniform Resource Locator) of the web site(301). The user runs a log-in mode and a log-in window is displayed through a monitor. The user enters the ID and password for the authentication to the log-in window(303). A user PC runs an ID/password conversion and input program stored to a memory, and searches and outputs the random ID/password stored to a DB(304). The random ID/password are inputted as the ID/password of an authentication site automatically or manually(305).

Abstract translation: 目的：提供用于自动创建，转换和输入随机ID和密码的设备和方法，以通过在登录中通过随机创建的ID和密码访问网站来防止个人信息泄漏。 规定：用户通过输入网站的URL（统一资源定位符）来访问相关网站（301）。 用户运行登录模式，通过监视器显示登录窗口。 用户将验证的ID和密码输入登录窗口（303）。 用户PC运行存储在存储器中的ID /密码转换和输入程序，并搜索并输出存储到DB（304）的随机ID /密码。 随机ID /密码作为认证站点的ID /密码自动或手动输入（305）。

公开(公告)号：KR100189778B1

公开(公告)日：1999-06-01

申请号：KR1019950046457

申请日：1995-12-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 방주식 ,  황인석 ,  박명준 ,  이현재

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 반도체소자의 제조공정에서 웨이퍼를 화학용액으로 세정한 후 그 화학용액과 파티클을 초순수로 제거하는 웨이퍼세정장치에 관한 것으로서, 프로세스조(10)의 저부에서 토출되는 초순수를 오버플로시키는 단계와 상기 프로세스조(10)의 상부에서 상기 웨이퍼를 향하여 초순수를 분사시키는 단계로 구분하여 웨이퍼를 세정공정에서, 상기 초순수분사단계에서 상기 프로세스조(10)의 덮개로서 기능하고 그리고 상기 프로세스조(10)의 상부로부터 웨이퍼를 향하여 수직적으로 초순수를 분사하는 초순수분사수단을 구비한다. 상기 초순수분사수단은 상기 프로세스조(10)에 대하여 수직하게 복수열로 설치된 복수의 분사노즐을 포함한다. 이와 같은 웨이퍼세정장치에 의하면, 웨이퍼를 향하여 상부에서 수직적으로 초순수를 분사할 수 있기 때문에, 초순수가 도달하지 않는 영역이 없기 때문에 충분한 웨이퍼의 세정효과를 얻을 수 있다.