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公开(公告)号：KR101234155B1
公开(公告)日：2013-02-15
申请号：KR1020060136627
申请日：2006-12-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 홈 네트워크 시뮬레이션 시스템 및 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 홈 네트워크 시뮬레이션 시스템은, 제어 메시지를 입력하는 클라이언트와 디바이스 관리 모듈에 의하여 제어 메시지에 따른 응답 메시지를 생성하여 클라이언트로 전달하는 시뮬레이션 서버를 포함하는 홈 네트워크 시뮬레이션 시스템에 있어서, 디바이스 관리모듈은, 디바이스 객체를 저장하는 디바이스 객체 저장 모듈; 입력된 제어 메시지에 해당하는 디바이스가 복수의 단일 디바이스로 구성된 멀티 디바이스이며, 멀티 디바이스에 대한 멀티 디바이스 객체가 디바이스 객체 저장 모듈에 존재하지 않는 경우, 멀티 디바이스 객체를 생성하는 멀티 디바이스 객체 생성 모듈; 멀티 디바이스를 구성하는 단일 디바이스에 대한 단일 디바이스 객체가 디바이스 객체 저장 모듈에 존재하지 않는 경우, 단일 디바이스 객체를 생성하는 단일 디바이스 객체 생성 모듈; 및 저장된 단일 디바이스 객체 또는 생성된 단일 디바이스 객체를 통해 제어 메시지에 따른 응답 메시지를 생성하는 응답 메시지 생성 모듈을 포함한다. 본 발명에 따르면, 복수의 단일 디바이스로 구성된 멀티 디바이스에 대한 테스트가 시료를 구비하지 않은 상태에서도 수행될 수 있다.
홈 네트워크, 멀티 디바이스, 단일 디바이스, 시뮬레이션 서버-
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公开(公告)号：KR100151077B1
公开(公告)日：1998-12-01
申请号：KR1019950021383
申请日：1995-07-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 본 발명은 자동조절 정량공급장치에 관한 것으로서, 특히 케미컬 용액 공급관을 통해 공급되는 용액을 받는 정량챔버; 상기 정량챔버의 오버플로우 용액을 드레인하기 위한 오버플로우관; 상기 오버플로우관에 설치되어 오버플로우되는 용액의 양을 감지하는 감지센서; 상기 정량챔버로부터 프로세스 배스에 용액을 자유낙하방식으로 공급하기 위한 정량공급관; 상기 정량챔버내에 설치되어 상하로 이동이 가능한 원통형 코아; 공정레시피조건에 따라서, 상기 원통형 코아의 높낮이를 자동조절하는 자동조절장치를 구비한 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에서는 코아의 높낮이를 자동조절함으로써 조성비관리 및 공정변화에 따른 정량조절이 가능하다.-
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公开(公告)号：KR1019980005739A
公开(公告)日：1998-03-30
申请号：KR1019960023948
申请日：1996-06-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019970008382A
公开(公告)日：1997-02-24
申请号：KR1019950021941
申请日：1995-07-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 신규한 반도체장치의 세정장치가 개시되어 있다. 본 발명의 세정장치는 혼합화학제를 공급하는 하나의 처리유닛을 구비함으로써, 상기 하나의 처리유닛에서 화학제 공급, 린스 및 건조 공정이 모두 진행된다. 따라서, 사용하고자 하는 화학제를 버퍼 탱크에서 혼합한 후 하나의 노즐을 통해 공급하여 세정공정을 진행함으로써, 웨이퍼의 대구경화에 따른 세정설비크기의 최소화, 쓰루풋의 증가 및 세정조건의 개선을 달성할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100679033B1
公开(公告)日：2007-02-06
申请号：KR1020050006360
申请日：2005-01-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04B1/40
Abstract: 본 발명은 이동 통신 단말기용 웹 페이지를 제공하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 각기 다른 브라우저 포맷을 지원하는 이동 통신 단말기에 대한 스크립트를 생성함에 있어서 소정의 필터에 XML로 작성된 기본 스크립트를 적용함으로써 각각의 이동 통신 단말기가 지원하는 스크립트를 생성하여 제공하는 이동 통신 단말기용 웹 페이지를 제공하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 이동 통신 단말기용 웹 페이지를 제공하는 장치는 수신된 웹 페이지 요청 메시지의 압축을 해제하고, 상기 요청 메시지에 따라 송신되는 응답 웹 페이지를 압축하는 압축 처리부와, 상기 수신된 웹 페이지 요청 메시지에 포함된 단말기 정보를 검색하는 정보 검색부 및 소정의 기본 스크립트에 상기 단말기 정보에 따른 소정의 스크립트 변환 규칙을 적용하여 상기 응답 웹 페이지를 생성하는 웹 페이지 생성부를 포함한다.
스크립트, 브라우저, 마크-업 언어, XML-
公开(公告)号：KR100175009B1
公开(公告)日：1999-04-01
申请号：KR1019950022945
申请日：1995-07-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/306
CPC classification number: H01L21/02052 , H01L21/31111
Abstract: 실리콘과 실리콘산화막간의 식각선택비 조절이 가능한 식각용액을 이용한 반도체 장치의 식각방법에 관하여 개시한다. 상기 식각용액은 불화암모늄, 불산 및 순수로 구성된 제1용액과 과산화수소수 및 순수로 구성된 제2용액의 혼합용액이며, 상기 제1용액은 상기 불화암모늄과 불산의 비를 7:1의 비율로 순수에 18% 포함된 용액이며, 상기 제2용액은 상기 과산화수소수와 순수의 비를 3:7로 구성된다. 본 발명의 식각용액을 이용하여 실리콘산화막이 형성된 실리콘 기판을 식각할 때, 실리콘과 실리콘산화막의 식각선택비를 조절할 수 있어 공정을 단순화하고 식각효과를 극대화 시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019980011994A
公开(公告)日：1998-04-30
申请号：KR1019960029346
申请日：1996-07-19
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
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公开(公告)号：KR1019970077281A
公开(公告)日：1997-12-12
申请号：KR1019960018236
申请日：1996-05-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 본 발명은 반도체 제조 장치의 화학 약제 공급 시스템에 관한 것으로, 본 발명에 의한 화학 약제 공급 시스템은 화학 약제 공급부에서 공급되는 2종류 이상의 화학 약제로 이루어진 화학 약제 혼합물을 저장하는 적어도 1개의 탱크와, 상기 화학 약제 공급부와 상기 탱크 사이에 설치되고, 상기 탱크로 공급되는 각 화학 약제의 양을 원하는 양으로 되도록 조절하는 공급량 조절부와, 상기 탱크로부터 공급된 화학 약제 혼합물을 소정의 온도로 조절한 후 공급 밸브를 통해 공정 처리조로 공급하는 온도 조절 탱크를 포함한다. 본 발명에 의하면, 화학 약제의 공급량을 정확하게 조절할 수 있고, 혼합 비율도 정확하게 제어할 수 있으며, 화학 약제의 공급단계에서 화학 약제의 오염 가능성을 최소화할 수 있다.
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