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公开(公告)号：KR1020120019545A
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：KR1020100082790
申请日：2010-08-26
Applicant: 전남대학교산학협력단
CPC classification number: G03F7/2014 , C08G77/18 , C08G77/50 , C08J5/18 , C08L83/04 , C08L83/14 , C09D183/04 , C09D183/14 , G03F7/063 , G03F7/0752
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a super water-repellent polymer film is provided to cost-effectively obtain the super water-repellent polymer film and to improve the contact angle of the super water-repellent film. CONSTITUTION: A method for manufacturing a super water-repellent polymer film includes the following: aluminum deposited on a silicon wafer as a sacrificial layer; photo-resist is coated on the aluminum deposited layer; a chrome mask of constant pattern grooves is aligned on the photo-resist; an exposing operation and a developing operation are implemented; super hydrophobic polymer is coated on the developed photo-resist; the aluminum deposited layer is eliminated; and the photo-resist eliminated. The super hydrophobic polymer is polydimethylsiloxane or SU-8.
Abstract translation: 目的：提供一种制造超疏水性聚合物膜的方法，以便成本有效地获得超疏水性聚合物膜并改善超级防水膜的接触角。 构成：超疏水性聚合物膜的制造方法，其特征在于：将沉积在硅晶片上的铝作为牺牲层; 光致抗蚀剂涂覆在铝沉积层上; 恒定图案凹槽的铬掩模在光致抗蚀剂上对准; 实施曝光操作和显影操作; 将超疏水性聚合物涂覆在显影的光刻胶上; 淘汰铝沉积层; 并消除光刻胶。 超疏水性聚合物是聚二甲基硅氧烷或SU-8。
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公开(公告)号：KR101090493B1
公开(公告)日：2011-12-06
申请号：KR1020080091794
申请日：2008-09-18
Applicant: 전남대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 금속와이어에 탐침을 형성하는 식각장치에 관한 것으로 보다 상세하게는, 전기화학적 식각장치에 소수성을 갖는 테플론으로 이루어진 식각용기를 구비함으로써, 종래의 전긱화적 식각장치가 갖는 문제점을 해결하고, 고종횡비의 날카로운 탐침을 제작할 수 있는 전기화학적 식각을 이용한 탐침 제작장치 및 탐침에 관한 것이다.
소수성, 텅스텐, 메니스커스, 테플론, 전기화학적 식각, STM-
公开(公告)号：KR101003448B1
公开(公告)日：2010-12-28
申请号：KR1020080092912
申请日：2008-09-22
Applicant: 전남대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 마이크로 탐침장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 날카로운 탐침을 제작하는데 있어서, 건식식각 방식 및 습식식각 방식을 동시에 수행하는 새로운 방식의 공정을 이용하여, 사각구조의 4 단자 탐침을 제작함으로써, 시편의 평면상 뿐만 아니라, 곡면상의 전기적 특성의 측정가능하다.
또한, 캔틸레버내에 열적구동을 위한 열구동 배선을 형성하여, 각각의 캔틸레버를 초소형 집게로도 활용가능한 마이크로 탐침장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
마이크로 4 단자 탐침, 열구동기, 마이크로 집게-
公开(公告)号：KR100999658B1
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：KR1020080092956
申请日：2008-09-22
Applicant: 전남대학교산학협력단
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 마이크로 스테이지를 제조하는 방법에 관한 것으로, 높은 열팽창 계수를 가지는 열팽창 소재 및 상기 열팽창 소재에 열을 인가하는 열선을 포함하며, 상기 열선의 열에 의한 열팽창 소재의 열팽창 힘을 이용하여 구동하는 마이크로 스테이지를 제조하는 방법에 관한 것이다.
마이크로 스테이지, PDMS, SU-8, 열선, 열팽창-
公开(公告)号：KR1020100033881A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：KR1020080092956
申请日：2008-09-22
Applicant: 전남대학교산학협력단
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/68714
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a micro stage is provided to allow a user to control the accuracy of a manufacturing process. CONSTITUTION: A thermal line(120) is deposited in a substrate body(110). A thermal expansion material is spread on the substrate body including the thermal line. A supporting unit(132) is formed by patterning the spread thermal expansion material. The supporting part has a plate type. A supporting part driving unit(140) is connected to the supporting part. A rest region excepting an edge portion of the substrate body is removed.
Abstract translation: 目的：提供微步骤的制造方法，以允许用户控制制造过程的准确性。 构成：将热线（120）沉积在衬底主体（110）中。 热膨胀材料散布在包括热线的基体上。 通过对扩散的热膨胀材料进行构图来形成支撑单元（132）。 支撑部件具有板式。 支撑部驱动单元（140）连接到支撑部。 除去基板主体的边缘部分之外的休息区域。
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Patent Agency Ranking26.发明公开
公开(公告)号：KR1020160087670A
公开(公告)日：2016-07-22
申请号：KR1020150006940
申请日：2015-01-14
Applicant: 전남대학교산학협력단
IPC: A61B5/0215 , A61B5/026 , A61B5/00 , A61F2/82
CPC classification number: A61B5/00 , A61B5/0215 , A61B5/026 , A61F2/82 , A61B5/6862 , A61F2240/001
Abstract: 본발명은커패시턴스변화에따른공진주파수의변화를이용하여혈관내혈류량을측정할수 있는혈관압력센서의제조방법에관한것으로, 보다상세하게는굴곡진스텐트에유연하게부착가능하고, 커패시터제1 전극과커패시터제2 전극간의별도의정렬공정이필요없어제작수율을향상시킬수 있는혈관압력센서의제조방법, 상기방법으로제조된혈관압력센서및 상기혈관압력센서가구비된혈관용스텐트에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造血管压力传感器的方法，该方法可以通过根据电容变化使谐振频率的变化来测量血管中的血液量。 更具体地说，本发明涉及一种血管压力传感器的制造方法，其能够柔性地附接到弯曲支架，并且可以在电容器第一电极和电容器第二电极之间没有单独的取向处理的情况下提高制造成品率，压力传感器 由其制造并具有压力传感器的支架。 该方法包括准备晶片的步骤; 形成空隙层的步骤; 以及密封孔的步骤。
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公开(公告)号：KR101406085B1
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：KR1020130081539
申请日：2013-07-11
Applicant: 전남대학교산학협력단
CPC classification number: H01L41/18 , G01L9/00 , H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/193
Abstract: The present invention relates to a manufacturing method of a graphene/PDMS composite and a graphene/PDMS composite manufactured by the same. More specifically, the present invention relates to the manufacturing method of the graphene/PDMS nanocomposite which can be used for a highly sensitive sensor, and the graphene/PDMS nanocomposite manufactured by the same. According to the present invention, the manufacturing method not only is simple and easy, but also provides a material for a highly sensitive sensor which can be easily applied to various objects such as a large structure.
Abstract translation: 本发明涉及石墨烯/ PDMS复合材料的制造方法以及由其制造的石墨烯/ PDMS复合材料。 更具体地，本发明涉及可用于高灵敏度传感器的石墨烯/ PDMS纳米复合材料的制造方法以及由其制造的石墨烯/ PDMS纳米复合材料。 根据本发明，制造方法不仅简单易行，而且还提供了可以容易地应用于各种物体如大结构的高灵敏度传感器的材料。
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公开(公告)号：KR1020130014135A
公开(公告)日：2013-02-07
申请号：KR1020110076075
申请日：2011-07-29
Applicant: 전남대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A super-hydrophobic transparent thin film is provided to coat a nanopatterned polymer needle array with hydrophobic polymer, thereby being capable of obtaining a hydrophobic surface by a simple process. CONSTITUTION: A super-hydrophobic transparent thin film comprises a nanopatterned polymer needle array. The substrate is selected from silicon or glass. A manufacturing method of the nanopatterned polymer needle array comprises a step of forming a micro structure and nano structure by a semiconductor process and plasma etching. The nano structure additionally comprises a hydrophobic polymer coating film. The hydrophobic polymer is parylene C(PC) or fluorocarbon(CxFy, FC).
Abstract translation: 目的：提供超疏水透明薄膜，用疏水聚合物涂覆纳米图案聚合物针阵列，从而通过简单的工艺获得疏水性表面。 构成：超疏水透明薄膜包括纳米图案聚合物针阵列。 衬底选自硅或玻璃。 纳米图案化聚合物针阵列的制造方法包括通过半导体工艺和等离子体蚀刻形成微结构和纳米结构的步骤。 纳米结构还包括疏水性聚合物涂膜。 疏水性聚合物是聚对二甲苯C（PC）或碳氟化合物（CxFy，FC）。
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公开(公告)号：KR101220416B1
公开(公告)日：2013-01-10
申请号：KR1020100082790
申请日：2010-08-26
Applicant: 전남대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 초발수성 폴리머 필름의 제작방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 포토리소그래피(phothlithography) 공정을 이용하여 표면에 고종횡비 마이크로 구조물을 갖는 초발수성 필름을 제작하는 방법에 관한 것이다.
본 발명의 제작방법에 따르면, 실리콘을 식각하는 종래 기술에 비하여 간단하고 경제적인 포토리소그래피(phothlithography) 공정을 이용하여 접촉각이 향상된 초발수성 필름을 제작할 수 있다.-
公开(公告)号：KR101173250B1
公开(公告)日：2012-08-10
申请号：KR1020100053781
申请日：2010-06-08
Applicant: 전남대학교산학협력단
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 폴리머 마이크로 탐침장치 및 그 제작방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체의 저항 특히, 절연체 위에 형성된 금속 박막의 비저항을 측정하는 4 단자 탐침의 구조와 제작방법에 관한 것이다.
본 발명은 마이크로 탐침장치에 있어서, 금속패드가 형성된 바디 패턴부와, 이러한 바디 패턴부에 연결된 캔틸레버부를 포함하며, 여기서 캔틸레버부는, 일면 끝단에 다각 형상체가 돌출되어 형성된 탐침과, 바디 패턴부의 금속패드로부터 연결되어 탐침면 상에 형성되는 탐침 패턴을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 상기와 같은 본 발명에 따르면, 사각 구조의 탐침 정렬 방법을 제안하여 작은 시편 및 굴곡이 있는 시편을 측정할 수 있고, 웨이퍼 표면의 결정 방향에 다른 전기적인 특성평가를 할 수 있으며, SU-8 즉, 폴리머 계열의 재료를 사용함으로써, 기존의 실리콘 기반의 탐침장치보다 제작 공정이 간단하고, 제작비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
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