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公开(公告)号：KR1020110076465A
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：KR1020090133183
申请日：2009-12-29
Applicant: 전자부품연구원 , 주식회사 아이엠헬스케어
CPC classification number: H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing silicon nano-wire devices is provided to reach the 100% transferring efficiency regardless of the length and the width of the nano-wire using a substrate bonding process and a polishing process. CONSTITUTION: A silicon nano-wire(150) is prepared at the center part of a first silicon substrate. An adhesive material is coated on one side of the first silicon substrate with the silicon nano-wire. A second dielectric substrate(190) is bonded at one side of the adhesive material. The lower side of the first silicon substrate is polished to expose the silicon nano-wire sensing part of the center part of the first silicon substrate. Supporting parts(140) support the exposed silicon nano-wire, and electrodes(195) are formed on the supporting parts. Electrode protecting materials are formed at the electrodes. An oxide film covering the exposed silicon nano-wire is eliminated, and the electrode protecting materials are eliminated.
Abstract translation: 目的：提供一种制造硅纳米线器件的方法，无论纳米线的长度和宽度如何，使用基片接合工艺和抛光工艺，达到100％的转印效率。 构成：在第一硅衬底的中心部分准备硅纳米线（150）。 粘合剂材料用硅纳米线涂覆在第一硅衬底的一侧上。 第二电介质基片（190）在粘合剂材料的一侧粘合。 抛光第一硅衬底的下侧以暴露第一硅衬底的中心部分的硅纳米线感测部分。 支撑部件（140）支撑暴露的硅纳米线，并且电极（195）形成在支撑部分上。 在电极处形成电极保护材料。 消除了覆盖暴露的硅纳米线的氧化膜，并且消除了电极保护材料。
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公开(公告)号：KR1020110076293A
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：KR1020090132965
申请日：2009-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01H11/06
CPC classification number: H05K3/40 , G01H11/06 , H05K1/0213
Abstract: PURPOSE: An acoustic sensor using a nanotube and a manufacturing method thereof are provided to miniaturize the sensor compared to an acoustic element which uses a piezoelectric body. CONSTITUTION: An acoustic sensor(100) using a nanotube comprises a substrate(10), a vibration plate(20), an electrode pattern(30), a nanotube(40), a cavity(50), and a vent hole(70). The vibration plate is formed on the substrate. The electrode pattern is formed on the vibration plate and comprises first and second electrodes. The nanotube is spread on a gap between the first and second electrodes. The cavity is formed in the substrate. The vent hole is coupled to the bottom of the substrate and uniformly maintains the pressure of the cavity.
Abstract translation: 目的：提供使用纳米管的声传感器及其制造方法，与使用压电体的声学元件相比，使传感器小型化。 构成：使用纳米管的声学传感器（100）包括基板（10），振动板（20），电极图案（30），纳米管（40），空腔（50）和通气孔 ）。 振动板形成在基板上。 电极图案形成在振动板上并且包括第一和第二电极。 纳米管扩散在第一和第二电极之间的间隙上。 空腔形成在基板中。 通气孔连接到基底的底部并均匀地保持空腔的压力。
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公开(公告)号：KR1020110024846A
公开(公告)日：2011-03-09
申请号：KR1020090083011
申请日：2009-09-03
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/72 , G01N33/483 , B82B3/00
Abstract: PURPOSE: A quantitative analysis device and method for biomolecules using magnetic nano particles are provided to detect target molecules by varying the magnetic flux in a gap area using the magnetic nano particles, thereby improving the precision of quantitative analysis. CONSTITUTION: A quantitative analysis device for biomolecules using magnetic nano particles comprises a substrate(21), magnetic flux concentrators(22), a sensor unit, and a micro channel. The substrate is made of a non-magnetic material which does not affect a magnetic sensor(24) sensitive to the concentration of magnetic nano particles. The magnetic flux concentrators are magnetized with an external magnetic field on the substrate and concentrate magnetic flux in a gap area. The sensor unit includes the magnetic sensor which is formed on the substrate in the gap area between the magnetic flux concentrators and senses changes in the magnetic field by the magnetic nano particles in the gap area. The micro channel comprises the magnetic nano particles united with target molecules.
Abstract translation: 目的：提供使用磁性纳米颗粒的生物分子的定量分析装置和方法，通过使用磁性纳米颗粒改变间隙区域中的磁通量来检测目标分子，从而提高定量分析的精度。 构成：使用磁性纳米颗粒的生物分子的定量分析装置包括基底（21），磁通集中器（22），传感器单元和微通道。 基板由非磁性材料制成，其不影响对磁性纳米颗粒的浓度敏感的磁传感器（24）。 磁通集中器在衬底上用外部磁场磁化，并将磁通量集中在间隙区域中。 传感器单元包括在磁通量聚集器之间的间隙区域中的衬底上形成的磁传感器，并且通过间隙区域中的磁性纳米颗粒感测磁场的变化。 微通道包括与靶分子结合的磁性纳米颗粒。
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公开(公告)号：KR100965837B1
公开(公告)日：2010-06-28
申请号：KR1020080050649
申请日：2008-05-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 플렉시블 기판에 형성된 트랜지스터 및 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 기존의 실리콘 기판에 제조된 트랜지스터를 플렉시블 기판 상에 일괄적으로 전사 내지는 이동시키는 플렉시블 기판에 형성된 트랜지스터 및 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 플렉시블 기판에 형성된 트랜지스터 및 제조 방법은 실리콘층, 산화막층 및 단결정 실리콘층으로 구성된 SOI 기판 상에 트랜지스터를 형성하는 제 1단계; 상기 트랜지스터가 형성된 상기 SOI 기판 상에 플렉시블 기판을 형성하는 제 2단계; 상기 SOI 기판의 상기 실리콘층 하부를 식각하여 상기 산화막층을 노출시키는 제 3단계; 및 상기 SOI 기판 하부의 가장자리에 남아있는 실리콘층, 산화막층 및 단결정 실리콘층을 제거하는 제 4단계를 포함하는 플렉시블 기판에 형성된 트랜지스터의 제조 방법에 기술적 특징이 있다.
플렉시블 트랜지스터, 전사, 폴리머 기판-
公开(公告)号：KR100951544B1
公开(公告)日：2010-04-09
申请号：KR1020070136454
申请日：2007-12-24
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 나노와이어 또는 탄소나노튜브를 포함하는 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 휘어짐이 가능한 박막상에 고정된 타겟분자를 포획하기 위한 리셉터와 기능기를 포함하는 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서 및 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서는 타겟분자를 포함하는 테스트 용액을 저장하거나 흐르게 하기 위한 마이크로 체널; 상기 마이크로 채널 상단에 위치한 플렉서블 막박에 고정된 화학기능기와 연결되어 상기 타겟분자를 포획하기 위한 리셉터; 및 상기 마이크로 채널 하단에 위치하여 상기 타겟분자의 전하에 의한 전계영향을 감지하기 위한 나노 와이어 구조물을 포함함에 기술적 특징이 있다.
본 발명의 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서 제조방법은 타겟분자가 포함된 테스트 용액이 있는 마이크로 채널상에 플렉서블 박막을 형성하는 단계;
상기 플렉서블 박막에 표면처리를 하여 상기 타겟분자를 포획할 리셉터와 연결된 화학기능기를 부착하는 단계; 및 상기 마이크로 채널의 하단에 상기 타겟분자의 전하에 의한 전계효과를 감지하기 위한 나노와이어 구조물을 형성하는 단계를 포함함에 기술적 특징이 있다.
나노, 와이어, 바이오, 센서, 타겟, 분자-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090123720A
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：KR1020080049937
申请日：2008-05-28
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: C12Q1/6876 , B82Y5/00 , G06F19/10
Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for sensing bio bar-coding are provided to quickly and accurately perform analysis of bar-coding DNA isolated from gold nanoparticle. CONSTITUTION: An apparatus for sensing bio bar-coding comprises: a magnetic part which removes protein by magnetic separation of reactant; and a separation part which separates bar-coding DNA attached on gold nanoparticle. A method for producing the bio bar-coding sensing apparatus comprises: a first step of forming silicon nanowire on a substrate having thermal oxide film; a second step of depositing electrode; a third step of exposing partial electrode which exists at lower portion; a fourth step of etching partial exposed electrode to exposure the particle for silicon nanowire; a fifth step of activating the surface of the silicon nanowire; and a sixth step of attaching complementary DNA on the activated silicon nanowire.
Abstract translation: 目的：提供用于感测生物条形码的设备和方法，以快速准确地进行从金纳米颗粒分离的条形码DNA的分析。 构成：用于感测生物条形码的装置包括：通过反应物的磁分离去除蛋白质的磁性部分; 以及分离附着在金纳米颗粒上的条形码DNA的分离部分。 一种生物条形码检测装置的制造方法，其特征在于，包括：在具有热氧化膜的基板上形成硅纳米线的第一工序; 沉积电极的第二步骤; 暴露存在于下部的部分电极的第三步骤; 蚀刻部分曝光电极暴露硅纳米线粒子的第四步骤; 激活硅纳米线表面的第五步骤; 以及在活化的硅纳米线上附着互补DNA的第六步骤。
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公开(公告)号：KR100716937B1
公开(公告)日：2007-05-14
申请号：KR1020060039593
申请日：2006-05-02
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 나노와이어소자 제조를 대량으로 가능하게 하는 방법에 관한 것으로 실리콘 웨이퍼에 종래의 사진식각공정과 실리콘 건식 식각 공정으로 직경이 수백 ㎚ 정도의 나노와이어 패턴을 제작한 후 실리콘 열산화 공정과 산화막 제거 공정을 이용하여 직경 수 나노미터 내지 수십 나노미터 크기의 나노와이어를 제작한다. 그리고 이를 절연막이 형성된 다른 기판에 전사시켜 나노와이어소자를 제작하는 방법을 제시한다. 나노와이어를 제조한 웨이퍼에서 절연막이 형성된 다른 웨이퍼로 나노와이어를 전사하는 방법을 이용함으로써 의도한 곳에 나노와이어를 위치시키려는 나노와이어 정렬과정이 불필요하며 SOI 웨이퍼를 사용할 필요가 없다.
실리콘 나노와이어, 나노와이어 릴리즈, 트랜스퍼Abstract translation: 本发明纳米线器件制造，然后此上的硅晶片的方法用于通过传统的光刻和硅干法蚀刻工艺使得能够大量生产的直径大约数百㎚硅热氧化工艺和氧化的纳米线图案 去除过程用于制造直径为几纳米到几十纳米的纳米线。 然后，提出通过将纳米线器件转移到具有绝缘膜的另一衬底来制造纳米线器件的方法。 不需要纳米线对准过程要放置通过使用用于传输到纳米线另一晶片绝缘膜的方法意图在一个纳米线在晶片制造的纳米线被形成，这是没有必要使用SOI晶片。
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公开(公告)号：KR1020070001366A
公开(公告)日：2007-01-04
申请号：KR1020050056800
申请日：2005-06-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01H59/00
Abstract: An MEMS(Micro Electro Mechanical System) RF(Radio Frequency) switch is provided to enhance an RF property by enlarging the degree of insulation between an armature and an input/output terminal while changing a switch operation or under an off state. In an MEMS RF switch, transmission lines(224,234) are formed between an input terminal(210) and a plurality of output terminals(220,230) to have predetermined gaps(222,232), wherein the input terminal(210) and the output terminals(220,230) are formed on an upper part of a substrate(100). A contact terminal unit(300), supported to be separated from the upper part of the substrate(100), connects or disconnects the gaps(222,232) of the transmission lines(224,234) by a revolving motion. A driving unit(400) drives the contact terminal unit(300) for making the gaps(222,232) of the transmission lines(224,234) intermitted selectively.
Abstract translation: 提供了一种MEMS（微电子机械系统）RF（射频）开关，以通过在改变开关操作或处于关闭状态的同时扩大电枢和输入/输出端子之间的绝缘度来增强RF特性。 在MEMS RF开关中，传输线（224,234）形成在输入端（210）和多个输出端（220,230）之间以具有预定间隙（222,232），其中输入端（210）和输出端（220,230） ）形成在基板（100）的上部。 被支撑为与基板（100）的上部分离的接触端子单元（300）通过旋转运动连接或断开传输线（224,234）的间隙（222,232）。 驱动单元（400）驱动接触端子单元（300），用于使传输线（224,234）的间隙（222,232）有选择地中断。
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公开(公告)号：KR100631186B1
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：KR1020050056802
申请日：2005-06-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B24B1/04
Abstract: A method of manufacturing an ultrasonic tool for machining a fine hole is provided to manufacture an ultrasonic tool using conventional exposure and electro-forming processes to reduce manufacturing cost. A method of manufacturing an ultrasonic tool for machining a fine hole includes the steps of preparing an exposure specimen(3) by forming photoresist(2) on a metal substrate(1) using a spin coater, irradiating light after aligning an exposure mask(4) to the exposure specimen, electro-forming by inserting a tip manufacturing metal from an exposed surface of the metal substrate, and polishing a surface to remove the photoresist.
Abstract translation: 提供一种制造用于加工细孔的超声波工具的方法，以使用传统的曝光和电成形工艺制造超声波工具以降低制造成本。 一种制造用于加工细孔的超声波工具的方法包括以下步骤：通过使用旋涂机在金属基板（1）上形成光致抗蚀剂（2）来制备曝光试样（3），在对准曝光掩模（4 ）涂布到曝光试样上，通过从金属基材的暴露表面插入尖端制造金属进行电成形，并抛光表面以除去光刻胶。
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公开(公告)号：KR100500390B1
公开(公告)日：2005-07-18
申请号：KR1020030035888
申请日：2003-06-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/027 , B82Y40/00 , B82Y35/00
Abstract: 본 발명은 병렬 프로브를 이용한 나노 리소그래피 시스템 및 방법에 관한 것으로, X와 Y방향으로 이동하며, 기판 상부에 나노 패턴을 형성할 수 있는 병렬 프로프가 형성되어 있는 프로브 리소 스캐너와; 상기 프로브 리소 스캐너를 제어하는 프로브 리소 컨트롤러와; 상기 나노 패턴 이외 영역의 기판 상부에 자외선을 노광시키는 자외선 노광기와; 상기 자외선 노광기를 제어하는 자외선 리소 컨트롤러로 구성된다.
따라서, 본 발명은 종래의 스캐닝 프로브 리소그래피가 생산성이 낮다는 단점을 해결하고 프로브 리소그래피 고속화를 구현할 수 있으며, 또한 다수의 프로브를 이용한 프로브 리소그래피에서의 프로브들 사이의 경계선 문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명은 나노 소자의 대량생산을 가능하게 하는 생산성을 확보할 수 있으며, 프로브 팁에 의한 저에너지 전류에 의한 리소그래피를 가능하게 함으로써 수 나노미터의 패터닝을 가능하게 하여, 기존의 반도체 성능을 획기적으로 향상시키는 나노 소자의 제조가 가능한 효과가 있다.
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