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公开(公告)号：KR1020120015845A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：KR1020100078321
申请日：2010-08-13
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01L9/12 , G01L9/0042 , G01L9/0073 , G01L19/0076 , H01L29/66007 , H01L29/84
Abstract: PURPOSE: A capacitive pressure sensor is provided to miniaturize a size by minimizing parasitic capacitance and to form a conductive sealing film in an anchor shape. CONSTITUTION: A capacitive pressure sensor comprises a substrate(110), a first insulating layer(111), a cavity(116), a second insulating layer(113), sealing films(117), and an upper electrode(115). The substrate is used as a lower electrode. The first insulating layer is formed on the substrate. The cavity is formed in the first insulating layer. The second insulating layer has an opening connected to the cavity and is formed on the first insulating layer to cover the cavity. The sealing films are formed using a conductive material. The upper electrode is electrically separated from the sealing films and is formed on the second insulating layer to be overlapped with the cavity.
Abstract translation: 目的：提供电容式压力传感器，通过最小化寄生电容并形成锚定形状的导电密封膜来使尺寸小型化。 构成：电容式压力传感器包括基板（110），第一绝缘层（111），空腔（116），第二绝缘层（113），密封膜（117）和上电极（115）。 基板用作下电极。 第一绝缘层形成在基板上。 空腔形成在第一绝缘层中。 第二绝缘层具有连接到空腔的开口，并形成在第一绝缘层上以覆盖空腔。 密封膜使用导电材料形成。 上电极与密封膜电隔离，并形成在第二绝缘层上以与空腔重叠。
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公开(公告)号：KR101054468B1
公开(公告)日：2011-08-04
申请号：KR1020090018286
申请日：2009-03-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/00
Abstract: 본 발명에 따른 적외선 발생원은 반도체 기판; 상기 반도체 기판의 상표면 및 하표면에 형성된 저응력막; 상기 반도체 기판의 상표면의 저응력막 중앙부에 형성된 발열부; 상기 반도체 기판의 상표면에 형성되고, 상기 발열부의 상표면의 양단 부분을을 커버하면서 상기 상표면의 중앙부는 노출하며 형성된 제1 및 제2 전극부를 포함하는 적외선 발생원으로서, 상기 반도체 기판의 중앙부에는 캐비티가 형성되고, 상기 캐비티 내에는 상기 저응력막과 접촉하여 형성된 전열 금속부가 형성된 것을 특징적 구성으로 포함한다.
적외선, 열원, 마이크로 히터, 전열 금속부, 열 스트레스-
公开(公告)号：KR101049736B1
公开(公告)日：2011-07-19
申请号：KR1020090052148
申请日：2009-06-12
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 강유전체의 분극률을 높이기 위한 폴링공정을 단순화시켜 공정시간을 감소시키고, 이를 통해 수율 특성을 개선시킬 수 있는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조 및 그의 제조방법을 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은 복수 개의 단위 감지센서와, 상기 단위 감지센서들 각각의 제1 폴링전극을 공통으로 연결하는 제1 폴링라인과, 상기 단위 감지센서들 각각의 제2 폴링전극을 공통으로 연결하는 제2 폴링라인을 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조를 제공한다.
감지센서, 초전, 적외선, 어레이, 반사층, 흡수층, 강유전체Abstract translation: 本发明简化了用于增加铁电体的极化，以减少处理时间，以提供传感器的热电型红外线阵列结构的轮询过程，从而可以提高的产率特性的制造方法，通过该，在本用于此目的 本发明的第二轮询连接的多个单元，其检测传感器和每个所述第一轮询所述第一轮询线，各连接在公共电极作为公共单元传感器中的第二轮询电极的单元传感器 用于检测红外线的线传感器阵列。
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公开(公告)号：KR1020110055955A
公开(公告)日：2011-05-26
申请号：KR1020090112592
申请日：2009-11-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/414
Abstract: PURPOSE: A sensing device is provided to ensure improved quality of an ion-sensitive membrane and prevent the variation of threshold voltage of an FET because the membrane is manufactured through an LPCVD process. CONSTITUTION: A sensing device comprises a first chip(110) including an ion-sensitive membrane, a second chip(120) including a field effect transistor which detects the surface potential of the ion-sensitive membrane, and a connection part(130) which connects the first and second chips. The first and second chips are integrated on a printed circuit board(100).
Abstract translation: 目的：提供感测装置，以确保提高离子敏感膜的质量，并防止FET的阈值电压的变化，因为膜是通过LPCVD工艺制造的。 构成：感测装置包括包括离子敏感膜的第一芯片（110），包括检测离子敏感膜的表面电位的场效应晶体管的第二芯片（120）和连接部分（130），其连接部分 连接第一和第二芯片。 第一和第二芯片集成在印刷电路板（100）上。
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公开(公告)号：KR1020100099781A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：KR1020090018286
申请日：2009-03-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/00
CPC classification number: H01L33/64 , H01L33/005 , H05B1/0233
Abstract: PURPOSE: A micro infrared ray generation source and a manufacturing method thereof are provided to prevent the heat stress in the middle of the heater by offering the heat metal part near the middle of the heater. CONSTITUTION: A low strain film(120) is formed on the top surface and the bottom surface of a semiconductor substrate(110). A heater(130) is formed in the middle of the low strain film of the top surface of the semiconductor substrate. First and second electrode parts(140, 140') are formed on the surface of the semiconductor substrate.
Abstract translation: 目的：提供微型红外线产生源及其制造方法，以通过在加热器的中部附近提供加热金属部件来防止加热器中间的热应力。 构成：在半导体衬底（110）的顶表面和底表面上形成低应变膜（120）。 在半导体衬底的顶表面的低应变膜的中间形成有加热器（130）。 第一和第二电极部分（140,140'）形成在半导体衬底的表面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100972391B1
公开(公告)日：2010-07-27
申请号：KR1020080026790
申请日：2008-03-24
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 나노센서를 이용한 질병검사장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 검출 대상물에 특이적으로 반응하는 센서와 레퍼런스 센서를 이용해서 환경적 요인에 따른 노이즈 없이 검출 대상물 내의 상대적 변화를 이용하여 질병인자의 존재유무 또는 농도를 감지하여 검출 대상물에 의한 신호만 얻을 수 있는 고감도의 나노센서를 이용한 질병검사장치에 관한 것이다.
본 발명의 나노센서를 이용한 질병검사장치는 검출 대상물에 특이적으로 반응하는 제1센서; 상기 제1센서에 대해 레퍼런스 센서로 동작하는 제2센서; 상기 제1센서와 제2센서에 유체 흐름을 만들어 검사샘플을 흐르게 하기 위한 유체채널; 및 상기 제1센서와 제2센서의 상대적 저항특성 변화를 감지하는 휘트스톤 브릿지회로를 포함하는 것에 그 기술적 특징이 있다.
나노와이어, 나노센서, 바이오센서, 휘트스톤 브릿지, 질병검사-
公开(公告)号：KR2020100006710U
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：KR2020080017033
申请日：2008-12-23
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 고안은 내시경용 카테터가 삽입되어지는 개선된 유도관 구조에 관한 것으로, 본 고안에 따르면, 내시경이 삽입되어 형성된 제1 유도관; 상기 튜브의 상측부에 형성되고, 카테터가 삽입되는 카테터 삽입구; 카테터가 삽입되어 유도되는 제2 유도관; 및 상기 카테터 삽입구 근방에 형성된 액체 투입구를 포함하고, 상기 액체 투입구로부터 투입된 액체는 상기 제2 유도관을 통해 흐르는 것을 특징으로 하는 내시경용 튜브가 제공된다.
상기 구조에 따르면, 제2 유도관에 카테터가 유지된체로 액체 투입관으로 세정액을 투입할 수 있기 때문에, 카테터를 세정하기 위해 카테터를 꺼내는 번거로움이 제거될 수 있다.
유도관, 카테터, 내시경, 산도 측정-
公开(公告)号：KR100951546B1
公开(公告)日：2010-04-09
申请号：KR1020070135890
申请日：2007-12-21
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 습도 센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 하부 전극과 집적화된 패턴을 갖는 복수의 상부 전극 사이에 감습층으로 이루어진 정전 용량형 습도 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 정전 용량형 습도 센서는 기판의 절연층상에 형성된 하부전극; 상기 하부 전극상에 도포되어 수분을 흡탈착하기 위한 감습층; 및 상기 감습층상에 형성된 복수의 상부 전극을 포함함에 기술적 특징이 있다.
본 발명의 정전 용량형 습도 센서의 제조방법은 절연층이 형성된 기판상에 하부 금속을 형성하는 단계; 상기 하부 금속상에 감습층을 형성하는 단계; 및 상기 감습층상에 복수의 상부 전극을 형성하는 단계를 포함함에 기술적 특징이 있다.
습도, 센서, 감습층, 하부전극, 상부전극-
公开(公告)号：KR1020080061301A
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：KR1020070137347
申请日：2007-12-26
IPC: H01L29/84
Abstract: A tactile sensor is provided to reduce the size of a tactile sensor by decreasing the number of electrodes. A tactile sensor receives a tactile sensor select signal and a clock signal as one common signal. A signal separation part(120) receives the common signal to separate the common signal into the select signal and the clock signal. A unit device select switch(130) activates the tactile sensor according to the select signal. An output part(140) sequentially outputs piezoresistive signals of a plurality of piezoresistive detection elements through a common output terminal according to the clock signal. The output part can include a switch with respect to each piezoresistive detection element and a control unit for controlling the plurality of switches according to the clock signal. The tactile sensor can sequentially and serially outputs the piezoresistive signals.
Abstract translation: 提供了一种触觉传感器，通过减少电极的数量来减小触觉传感器的尺寸。 触觉传感器接收触觉传感器选择信号和时钟信号作为一个公共信号。 信号分离部分（120）接收公共信号以将公共信号分离成选择信号和时钟信号。 单元设备选择开关（130）根据选择信号激活触觉传感器。 输出部（140）根据时钟信号通过公共输出端依次输出多个压阻检测元件的压阻信号。 输出部分可以包括关于每个压阻检测元件的开关和用于根据时钟信号控制多个开关的控制单元。 触觉传感器可以顺序地和串行地输出压阻信号。
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公开(公告)号：KR1020080060079A
公开(公告)日：2008-07-01
申请号：KR1020060134175
申请日：2006-12-26
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: A61B1/041 , A61B2560/0242
Abstract: A memory-embedded capsule endoscope is provided to improve convenience of use without a separate information receiver by having a flash memory. At least one lighting unit(210) lights a predetermined part inside a body. At least one image sensor unit(220) obtains image information of the predetermined part lighted by the lighting unit. A signal processing unit(230) controls the image sensor unit and compresses data corresponding to the obtained image information. A storing unit(250) accumulates and stores the compressed data until a capsule endoscope(200) is discharged from the body. A control unit(240) controls the signal processing unit and the storing unit. A power supply unit(260) supplies driving power to the capsule endoscope.
Abstract translation: 提供了一种内存式胶囊型内窥镜，以通过具有闪速存储器来提高使用方便性，而无需单独的信息接收器。 至少一个照明单元（210）照亮身体内部的预定部分。 至少一个图像传感器单元（220）获得由照明单元点亮的预定部分的图像信息。 信号处理单元（230）控制图像传感器单元并压缩与获得的图像信息相对应的数据。 存储单元（250）累积并存储压缩数据，直到胶囊型内窥镜（200）从身体排出。 控制单元（240）控制信号处理单元和存储单元。 电源单元（260）向胶囊型内窥镜供给驱动电力。
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