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公开(公告)号：KR101259580B1
公开(公告)日：2013-04-30
申请号：KR1020100100806
申请日：2010-10-15
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B23K26/046 , H01S3/10
Abstract: 펄스 레이저의 분산을 조절하는 단계, 및 상기 분산이 조절된 펄스 레이저를 가공물에 입사시켜 상기 가공물을 가공하는 단계를 포함하는 레이저 가공방법이 공개된다. 상기 분산은, 상기 가공물 내에서 상기 펄스 레이저의 펄스 폭이 상기 가공물 중 상기 펄스 레이저의 입사 지점을 지난 미리 결정된 지점에서 최소가 되도록 조절된다.
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公开(公告)号：KR101212460B1
公开(公告)日：2012-12-18
申请号：KR1020100100780
申请日：2010-10-15
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 가공물을가공하기위한펄스레이저를조사하도록되어있는레이저발생장치, 및상기가공물로부터생성되는플라즈마로부터전파되는광을검출하는광 검출장치를포함하는레이저가공상태모니터링장치가공개된다. 이장치는상기가공이비선형광학현상에의해이루어지도록, 상기펄스레이저에의해상기가공물내에비선형광학현상이일어나도록상기펄스레이저의첨두출력이조정된다.
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公开(公告)号：KR101207583B1
公开(公告)日：2012-12-04
申请号：KR1020100100798
申请日：2010-10-15
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B23K26/70 , B23K26/384 , B23K28/00 , B06B1/00
Abstract: 레이저발생장치및 초음파발생장치를포함하는레이저가공장치가공개된다. 레이저발생장치는가공물에레이저를조사하여가공물에개질부를형성하도록되어있고, 초음파발생장치는가공물에형성되는개질부에초음파를전파하여개질부로부터연장되는크랙을형성하도록되어있다.
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公开(公告)号：KR101164418B1
公开(公告)日：2012-07-12
申请号：KR1020100057009
申请日：2010-06-16
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B26F3/00 , B26F3/06 , B23K26/382 , H01S3/10
Abstract: 본 발명은 토초 펄스 레이저의 비선형 초점이동을 통한 절단방법에 관한 것으로, 펨토초 펄스 레이저를 이용한 절단방법에 있어서, 펨토초 펄스 레이저를 가공물에 조사하여 다중광자이온화(Multi-Photon Ionization)를 기반으로 플라즈마 디포커싱(Plasma Defocusing)에 의해 개질영역을 형성시키고, 여기서 형성된 상기 개질영역과 플라즈마 디포커싱 현상에 의한 레이저의 공간적 집속을 방해시켜 상기 펨토초 펄스 레이저의 초점을 가공물 깊이 방향으로 이동시키면서 개질영역을 길어지게 형성하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 비선형 초점이동을 통해 기존 필라멘트 기반에서는 가공이 불가능한 얇은 투명재료에 효율적인 절단 및 가공이 가능한 이점이 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020120053710A
公开(公告)日：2012-05-29
申请号：KR1020100114969
申请日：2010-11-18
Abstract: PURPOSE: A surface shape measuring apparatus is provided to diminish a light saturation and light shortage when detecting light amount because the light amount irradiating to a sample having a different reflectivity is controlled on a pixel basis through a SLM(Spatial Light Modulator). CONSTITUTION: A surface shape measuring apparatus(100) comprises a light source(110), a SLM(120), a photodetector(130), and a control unit(140). The light source irradiates the light to a sample. The SLM is arranged in the optical path between the light source and sample. The SLM spatially controls amount of the light irradiated on the specimen on a pixel unit basis. The photodetector detects the light reflected from a sample. The control unit irradiates the lights to the sample by controlling the light amount by the SLM and detects the lights reflected from the sample.
Abstract translation: 目的：提供一种表面形状测量装置，用于在检测光量时减少光饱和度和光不足，因为通过SLM（空间光调制器）以照射像素为基础照射具有不同反射率的样品的光量。 构成：表面形状测量装置（100）包括光源（110），SLM（120），光电检测器（130）和控制单元（140）。 光源将光照射到样品上。 SLM布置在光源和样品之间的光路中。 SLM以像素单位空间地控制照射在样本上的光的量。 光电检测器检测从样品反射的光。 控制单元通过SLM控制光量将光照射到样品，并检测从样品反射的光。
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公开(公告)号：KR1020110139007A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：KR1020100059233
申请日：2010-06-22
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B23K26/55 , H01S3/10 , H01L21/304 , C03B33/09
Abstract: PURPOSE: A method for cutting for nano-void array forming by femtosecond laser is provided to improve the cutting and processing efficiency of a transparent material by forming nano-void array using femtosecond laser. CONSTITUTION: A method for cutting for nano-void array forming by femtosecond laser comprises next steps. A pole first grade femtosecond laser is condensed to a condensing lens(120) and radiates laser beam to a transparent material or substrate. The plasma defocusing is performed by multi-photon ionization. Self focusing is performed due by Kerr Lens. Nano-Void Array(210) is formed on a substrate and cut. The energy per pulse has the energy value on the substrate in order to become over the threshold energy 0.2uJ for the void formation.
Abstract translation: 目的：提供一种通过飞秒激光切割纳米空心阵列形成的方法，通过使用飞秒激光形成纳米空穴阵列来提高透明材料的切割和加工效率。 构成：通过飞秒激光切割纳米空穴阵列形成的方法包括以下步骤。 极点一级飞秒激光被聚光到聚光透镜（120），并将激光束辐射到透明材料或基底。 等离子体散焦通过多光子电离进行。 由柯尔镜头进行自动对焦。 将纳米空心阵列（210）形成在基板上并切割。 每个脉冲的能量在衬底上具有能量值，以便对于空隙形成而超过阈值能量0.2uJ。
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公开(公告)号：KR100939679B1
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：KR1020070128007
申请日：2007-12-11
Abstract: 본 발명은 자동 초점 조절 수단으로서 레이저 스팟 간의 간격 거리를 제 1 차 수단으로 사용하고, 레이저 스팟의 형상은 제 2 차 수단으로 채용함으로써, 검사 시편에 의해 발생될 수 있는 패턴 영향, 난반사 문제에 유연하게 대응하여 자동 초점 조절을 수행할 수 있고, 정확히 측정된 좌표값을 근거로 하여 산출된 길이 데이터를 제 1 차 초점 조절 수단으로 이용하여 정확한 자동 초점 조절이 가능한 자동 초점 조절 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 자동 초점 조절 장치는 레이저 광 출력부, 시준 렌즈, 핀홀, 회절 격자, 집광 렌즈, 광 분할기, 대물 렌즈, 원기둥 렌즈 및 광 검출기로 구성된 광학 시스템과 상기 광 검출기에 검출된 레이저 광선 스팟의 형상 및 스팟 간의 거리를 판독하는 연산 장치와; 초점이 맞을 경우의 스팟 간의 간격 거리값 (기준값)이 저장되는 기억 매체와; 새로운 검사 시편 로딩 시 검출된 형상 및 스팟 간의 거리를 상기 기억 매체에 저장된 기준값과 비교하여 초점이 맞을 때의 형상 및 스팟 간의 거리를 유지하도록 제어하는 제어 장치; 및 상기 제어 장치에 의한 제어 신호에 따라 구동되는 구동 모터를 포함하도록 구성되어 있다.
자동 초점 조절-
公开(公告)号：KR1020090061138A
公开(公告)日：2009-06-16
申请号：KR1020070128007
申请日：2007-12-11
CPC classification number: G02B27/40 , G02B7/04 , G02B21/245 , G11B7/0908 , H04N5/232
Abstract: An auto focusing apparatus and a method thereof are provided, which perform the auto focusing by flexibly coping with the diffuse reflection problem and the pattern influence generated by the inspection specimen. An auto focusing apparatus(120) comprises the laser beam output part(10), the diffraction grating(40), the beam splitter(60), the objective lens(70), cylindrical lenses, the convex lens(100), the optical detector(110), arithmetic and logic unit, the storage media, the control device, and the drive motor. In the laser beam output part, the circular laser beam controlling the quantity of light is outputted. The diffraction grating radially divides the laser into a plurality of rays. The beam splitter makes the divided light ray incident in the specimen(80). The convex lens gathers the light passing through the cylindrical lens to the domain of the optical detector. The drive motor is driven according to the control signal by the control device.
Abstract translation: 提供了一种自动对焦装置及其方法，其通过灵活地应对由检查样本产生的漫反射问题和图案影响来执行自动聚焦。 自动聚焦装置（120）包括激光束输出部分（10），衍射光栅（40），分束器（60），物镜（70），柱面透镜，凸透镜（100） 检测器（110），算术和逻辑单元，存储介质，控制装置和驱动电机。 在激光束输出部中，输出控制光量的圆形激光束。 衍射光栅将激光器径向地分成多个射线。 分束器使分离的光线入射到样品（80）中。 凸透镜将通过柱面透镜的光聚焦到光学检测器的区域。 驱动电机根据控制装置的控制信号进行驱动。
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公开(公告)号：KR101155541B1
公开(公告)日：2012-06-18
申请号：KR1020100119979
申请日：2010-11-29
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01S3/098
Abstract: 본 발명은 광섬유 펨토초 레이저의 모드잠금 자동화 장치에 관한 것으로, 펨토초 레이저 소스를 구비한 링 캐비티(ring cavity) 구조를 갖는 공진기, 파장판과 편광판을 구비하고, 상기 공진기에 출력되는 펨토초 레이저를 입력받아 상기 파장판과 편광판의 회전각을 조절하여 모드잠금을 위한 편광을 조절하기 위한 자동편광조절부, 상기 공진기에서 출력되는 펨토초 레이저의 모드잠금 전/후의 스펙트럼 차이를 감지하여 모드잠금을 위한 신호를 감지하는 모드잠금감지부 및 상기 자동편광조절부와 모드잠금감지부를 프로그램에 의해 제어하여 모드잠금 신호를 감지하면 모드잠금하는 제어부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 광섬유 펨토초 레이저의 비선형 편광 횐전 방식의 모드잠금과정을 자동화하여 짧은 시간에 모드잠금시킬 수 있는 이점이 있다.
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