Abstract:
본 발명에 따른 듀얼 소결 챔버가 구비되는 태양전지 제조장치는 실리콘 기판이 장착되어 일 방향으로 이동시키는 컨베이어 벨트와, 상기 실리콘 기판의 상면에 금속 페이스트로 전면 전극 패턴을 인쇄하고 건조하는 제 1 인쇄 챔버와, 상기 전면 전극 패턴이 인쇄된 상기 실리콘 기판을 설정된 온도로 소결 처리하여 전면 전극을 형성하고, 상기 컨베이어 벨트의 하측에 배치되어 소결 처리되는 상기 실리콘 기판의 하면을 냉각시키는 제 1 냉각부가 구비되는 제 1 듀얼 소결 챔버와, 상기 실리콘 기판의 상하면을 뒤집어, 상기 실리콘 기판의 상면을 상기 컨베이어 벨트 상에 배치시키는 기판터닝 챔버와, 상기 실리콘 기판의 하면에 금속 페이스트로 후면 전극 패턴을 인쇄하고 건조하는 제 2 인쇄 챔버 및 상기 후면 전극 패턴이 인쇄된 상기 실리콘 기판� �� 소결 처리하여 후면 전극을 형성하고, 상기 컨베이어 벨트의 하측에 배치되어 소결 처리되는 상기 실리콘 기판의 상면을 냉각시키는 제 2 냉각부가 구비되는 제 2 듀얼 소결 챔버를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
그리드 구조의 후면전극를 포함하는 태양전지가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 태양전지는 태양전지 기판; 상기 태양전지 기판의 전면에 형성된 에미터층; 상기 에미터층 상에 형성된 반사방지막; 상기 반사방지막 상에 형성되며, 상기에미터층과 접촉되는 전면전극; 및 상기 태양전지 기판의 후면에 형성된 후면전극을 포함하며, 여기에서 상기 후면전극은 가로라인과 세로라인이 교차하는 그리드 패턴인 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 태양전지는 일부 노출된 기판 부분(보이드)이 포함되는 그리드 형태의 후면전극 구조를 통하여 고온열처리 공정에서의 기판 휨(보잉) 문제를 효과적으로 해결할 수 있다. 또한 후면전극에 사용되는 알루미늄 양을 감소시켜 태양전지의 제조비용을 절감시킬 수 있다.
Abstract:
The present invention relates to a technique for cutting a semiconductor wafer. More particularly, the present invention relates to a method for cutting a semiconductor wafer which prevents the breakage of multiple wafers generated due to the high viscosity of slurry when a chuck moves upwards in a wire sawing process. According to the present invention, a wire is fixed before the chuck is elevated, and then the wire is cut by using a cutter, thereby preventing direct damage to the wafer.
Abstract:
태양전지의 국부적 전극 제조방법 및 이에 의하여 제조된 태양전지의 국부적 전극이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지의 국부적 전극 제조방법은 태양전지 기판 상에 금속 페이스트를 적층하는 단계; 상기 금속 페이스트를 제 1 건조하여 상기 금속 페이스트와 상기 기판을 물리적으로 접착시키는 단계; 상기 기판 상에 소자층을 적층하는 단계; 상기 금속 페이스트를 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하며, 여기에서 상기 소자층을 적층하는 단계에서 상기 금속 페이스트는 제 2 건조되어 고형화되는 단계; 상기 고형화된 금속 페이스트를 상기 기판으로부터 분리하여 상기 소자층 사이로 컨택 홀을 형성하는 단계; 및 상기 기판 상에 후면 전극을 적층하는 단계를 포함하며, 본 발명에 따르면, 포토레지스트에 기반한 리쏘그래피 공정 또는 쉐도우 마스크를 사용하지 않고, 금속 페이스트에 포함된 용제를 선택적으로 증발시켜, 기판이 노출되는 컨택 홀을 형성한다. 따라서, 경제적인 방식으로 컨택 홀을 경제적인 방식으로 정확하게 형성할 수 있다.
Abstract:
실리콘계 나노입자 포집 시스템 및 이에 사용되는 나노입자 포집/보관용기가 제공된다. 본 발명은 나노입자 포집시스템으로, 상기 시스템은 나노입자 및 캐리어 가스가 유입되는 유입라인; 상기 유입라인에 연결된 복수 개의 나노입자 포집/보관 용기; 상기 유입라인으로부터 유입된 캐리어 가스가 상기 나노입자 포집/보관 용기로부터 배출되는 캐리어가스 배출라인을 포함하며, 여기에서 상기 나노입자 포집/보관 용기는 상기 용기의 일 측에 구비되어, 상기 유입라인에 연결된 나노입자 유입부; 상기 용기 내에 구비되는 필터 스크린; 및 상기 필터 스크린을 통과한 캐리어 가스를 외부로 배출시키도록 상기 용기에 구비되며, 상기 캐리어가스 배출라인과 연결된 캐리어 가스 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 나노입자 포집시스템은 캐리어 가스와 함께 유입되는 나노입자를 하나의 유입라인에 연결된 복수 개의 나노입자 용기에 포집시킨다. 따라서, 일정 수준의 나노입자가 포집된 나노입자 용기는 유입시스템으로부터 분리되어, 포집/보관된 증착 시스템에 나노입자를 제공한다. 이때 나노입자의 외부 노출은 없기 때문에, 외부물질에 의한 나노입자 오염을 방지하며, 공정에 따라 복수 개의 나노입자 용기를 사용, 연속적인 나노입자 증착이 가능하다.
Abstract:
PURPOSE: A method for manufacturing a local electrode of a solar cell and the local electrode manufactured thereby are provided to accurately form a contact hole by using a solvent which includes a metal paste. CONSTITUTION: A metal paste is coated on a silicon substrate(100) by using a screen printing method. The metal paste is firstly dried. A device layer(102) of a solar cell is formed in the substrate including the dried metal paste. The metal paste is removed from the substrate. A contact hole(103) is formed between the device layers. A back contact electrode(104) is formed on the device layer.