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公开(公告)号：KR100753836B1
公开(公告)日：2007-08-31
申请号：KR1020060046282
申请日：2006-05-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01H59/00
Abstract: 높은 신호 격리도를 확보하면서도 저전압 및 스위칭 특성을 향상시킬 수 있는 압전형 MEMS 스위치, 그 제조 방법 및 압전형 MEMS 스위치 어레이를 개시한다. 개시된 본 발명의 압전형 MEMS 스위치는, 홈을 구비한 반도체 기판 및 상기 반도체 기판 및 상기 홈부에 걸쳐 형성되는 지지대를 포함한다. 상기 지지대 상부에 압전층을 구비한 구동부가 형성되고, 상기 구동부 일측의 지지대 상에 상기 구동부의 압전층의 변화에 따라 높이가 변화되는 스위칭부가 형성된다. 상기 스위칭부 상부에 일정 거리를 두고 소정 간격을 가지고 단절되어 있는 RF 전송선이 배치되어 있다. 이때, 상기 구동부는 일측단부가 연결된 적어도 2개의 컨틸레버를 갖도록 구성된다.
압전, MEMS, 컨틸레버, 브릿지-
公开(公告)号：KR101331088B1
公开(公告)日：2013-11-25
申请号：KR1020100060523
申请日：2010-06-25
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 금속 나노 입자를 이용한 화학 센서 및 금속 나노 입자를 이용한 화학 센서의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 금속 나노 입자를 이용한 화학 센서는 금속 나노 입자, 금속 나노 입자와 금속 접합용 관능기를 이용하여 결합된 리간드 유기 단분자, 결합된 금속 나노 입자와 리간드 유기 단분자에 형성된 기판 접합용 관능기, 기판, 기판에 형성된 IDT(interdigitate) 구조를 갖는 전극 및 기판에 형성되고, 전극 사이에 위치하는 기판 관능기를 포함하여 구성되며, 기판 접합용 관능기와 기판 관능기는 공유 결합하는 것일 수 있다. 따라서, 기존의 금속 나노 입자 센서의 장점을 그대로 유지하면서 단점을 보완한 화학 센서를 제공할 수 있다. 또한, 화학 센서는 제작이 매우 간편하고, 감지특성이 매우 정교하게 설계될 수 있고, 크기도 매우 작게 제작될 수 있다. 특히, 감지특성에 있어서, 극성 및 비극성분자의 감지도 매우 우수하며, 감응 속도도 빠르며, 감지성능과 특성이 오랜 기간 변화하지 않고 지속되어, 내구성 및 신뢰도가 우수한 센서의 제작을 가능하게 한다.
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公开(公告)号：KR1020090060897A
公开(公告)日：2009-06-15
申请号：KR1020070127880
申请日：2007-12-10
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01H11/02
Abstract: A micro sensor for vibration measurement is provided to detect vibration easily at low power through wireless sensor network and to thereby facilitate signal processing. A micro sensor for vibration measurement comprises a substrate(160), one or more masses(110) moving in reaction to vibration, a conductor spring(120) which moves according to the movement of the mass while supporting the masses, fixed parts(130) which are connected to both ends of the conductor spring and keep the masses and the conductor spring apart from the substrate, and a resistance(140) forming a closed circuit together with the conductor spring and the fixed parts. The masses are positioned in the middle of the conductor spring. The resistance connects a magnetic body(170) which is formed on the bottom of the substrate and creates a magnetic field to the fixed parts.
Abstract translation: 提供用于振动测量的微型传感器，用于通过无线传感器网络在低功率下容易地检测振动，从而促进信号处理。 一种用于振动测量的微型传感器，包括：衬底（160），一个或多个反作用于振动的质量块（110）;导体弹簧（120），其在支撑所述质量块的同时根据所述质量块的移动而移动;固定部件 ），其连接到导体弹簧的两端并保持质量和导体弹簧与基板分离，以及与导体弹簧和固定部分一起形成闭合电路的电阻（140）。 质量块位于导体弹簧的中间。 电阻连接形成在基板底部的磁体（170），并向固定部分产生磁场。
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公开(公告)号：KR1020090018257A
公开(公告)日：2009-02-20
申请号：KR1020070082558
申请日：2007-08-17
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: B81B7/00 , H01L21/304 , B81C1/00
CPC classification number: B81B3/001 , B81C2201/115
Abstract: A lifting device for preventing fixing of a 3D MEMS(Micro Electro Mechanical System) micro-structure is provided to remove a cleaning solution left on a substrate and a micro-structure by using a simple device without fixing the 3D MEMS micro-structure onto the substrate. A lifting device for preventing fixing of a 3D MEMS micro-structure includes a substrate(10) and micro-protrusions(20). The micro-protrusions exhaust a cleaning solution flowing from a micro-structure located thereon. The micro-protrusions are formed on the substrate and have a predetermined height. A fixing preventing material(30) is deposited on the micro-protrusions.
Abstract translation: 提供了用于防止3D MEMS（微机电系统）微结构的固定的提升装置，以通过使用简单的装置来去除残留在基板和微结构上的清洁溶液，而不将3D MEMS微结构固定在 基质。 用于防止3D MEMS微结构的固定的提升装置包括基板（10）和微突起（20）。 微型突起排出从位于其上的微结构流动的清洁溶液。 微型突起形成在基板上并具有预定的高度。 固定防止材料（30）沉积在微突起上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100476313B1
公开(公告)日：2005-03-15
申请号：KR1020030012337
申请日：2003-02-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/00
Abstract: 본 발명은 고주파 대역의 전자 시스템에서 신호의 전달을 제어하기 위해 사용하는 정전기력으로 구동되는 미세전자기계적 스위치(microelectromechanical switch)에 관한 것으로, 측벽과 상기 측벽으로 둘러싸인 메사영역으로 이루어진 기판, 상기 메사영역의 기판 상에 일렬로 형성된 다수의 지지대, 상기 지지대와 수직인 방향의 기판 상에 형성되며 스위칭부가 끊어진 전송선, 상기 전송선 양측의 기판 상에 형성된 접지선, 상기 지지대에 의해 지지되는 지지부 및 상기 지지부로부터 상기 전송선의 스위칭부까지 연장된 이동판으로 이루어진 유전체 패턴, 상기 스위칭부의 전송선 종단부와 일치되도록 형성된 접촉부가 상기 유전체 패턴 하부로 돌출된 접촉패드, 상기 접촉패드 양측의 상기 유전체 패턴 상에 형성된 상부전극으로 이루어진다.
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公开(公告)号：KR100470634B1
公开(公告)日：2005-03-10
申请号：KR1020020060107
申请日：2002-10-02
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009 , H01G5/40 , H01P1/127
Abstract: The present invention relates to a capacitive micro-electro-mechanical switch and method of manufacturing the same. In the capacitive micro-electro-mechanical switch for use in the radio frequency (RF) and the microwave driven by the electrostatic force, a capacitor of a 3-dimensional structure is formed on a signal transmission line. An ON capacitance is increased without increasing an capacitor area while preventing an increase in an OFF capacitance using the capacitor. Thus, an ON/OFF capacitance ratio of the capacitive micro-electro-mechanical switch can be increased and insertion loss and isolation characteristic could be improved.
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公开(公告)号：KR1020040057035A
公开(公告)日：2004-07-01
申请号：KR1020030012337
申请日：2003-02-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/00
Abstract: PURPOSE: A microelectromechanical switch driven by electrostatic force and a method for manufacturing the same are provided to minimize the deformation of the switch due to thermal expansion and to prevent stiction by uniformly supporting a support part using a plurality of support bars and locating a contact portion of a contact pad to the same direction as a transmission line. CONSTITUTION: A microelectromechanical switch driven by electrostatic force comprises a substrate(100) having a sidewall(110a) and a mesa region(110) surrounded with the sidewall, a plurality of support bars(110b) formed on the substrate and a transmission line(120) vertically formed for the support bars. The transmission line includes a cut switching portion. The microelectromechanical switch further includes a ground line(121) at both sides of the transmission line, a dielectric pattern having a support part(131a) supported by the support bars and a moving plate(131b) prolonged from the support part to the switching portion, and a contact pad(141) having a contact portion prolonged from the dielectric pattern for being inserted into the switching portion.
Abstract translation: 目的：提供一种由静电力驱动的微机电开关及其制造方法，以使开关由于热膨胀而发生的变形最小化，并且通过使用多个支撑杆均匀地支撑支撑部件并且使接触部分 的接触垫与传输线相同。 构成：由静电力驱动的微机电开关包括具有侧壁（110a）和被侧壁包围的台面区域（110）的基板（100），形成在基板上的多个支撑杆（110b）和传输线 120），用于支撑杆。 传输线包括切割切换部分。 微机电开关还包括在传输线两侧的接地线（121），电介质图案具有由支撑杆支撑的支撑部分（131a）和从支撑部分延伸到开关部分的移动板（131b） 以及具有从介质图案延伸以插入切换部分的接触部分的接触焊盘（141）。
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公开(公告)号：KR1020040029721A
公开(公告)日：2004-04-08
申请号：KR1020020060107
申请日：2002-10-02
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009 , H01G5/40 , H01P1/127
Abstract: PURPOSE: A capacitive fine electro-mechanical switch and a fabricating method thereof are provided to increase a ratio of on/off capacitance and improve an insertion loss and a signal shielding characteristic without increasing an area by using a three-dimensional capacitor. CONSTITUTION: A capacitive fine electro-mechanical switch includes a first wire, an insulating layer, a three-dimensional capacitor, a metal post(440), and a second wire. The first wire is formed on an upper surface of a substrate. The insulating layer includes a hole to expose a predetermined region of the first wire. The three-dimensional capacitor is formed at the hole of the first wire. The metal post(440) is formed on the insulating layer vertical to the first wire from the capacitor. The second wire is formed at a predetermined position apart from an upper surface of the capacitor. The second wire and the capacitor are overlapped partially. The second wire is fixed vertically to the first wire to the metal post(440).
Abstract translation: 目的：提供一种电容式精细机电开关及其制造方法，以增加导通/截止电容的比率，并且通过使用三维电容器而不增加面积来提高插入损耗和信号屏蔽特性。 构成：电容式精细机电开关包括第一线，绝缘层，三维电容器，金属柱（440）和第二线。 第一线形成在基板的上表面上。 绝缘层包括用于暴露第一导线的预定区域的孔。 三维电容器形成在第一线的孔处。 金属柱（440）形成在与电容器垂直于第一布线的绝缘层上。 第二线形成在与电容器的上表面隔开的预定位置处。 第二线和电容器部分重叠。 第二导线垂直于第一导线固定到金属柱（440）上。
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公开(公告)号：KR1020030094539A
公开(公告)日：2003-12-18
申请号：KR1020020031288
申请日：2002-06-04
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H1/20 , H01H2001/0057
Abstract: PURPOSE: A micro electro-mechanical device is provided to prevent a micro-welding by improving the thermo-mechanical damage between the contact pads. CONSTITUTION: A micro electro-mechanical device comprises a conductive oxide layer formed on one of the contact surfaces of the conductive components. The conductive component has a body formed of a metal layer, and a conductive oxide layer formed on the body. The conductive oxide layer is constituted by a ruthenium oxide, iridium oxide, indium oxide, tin oxide, zinc oxide or an indium tin oxide.
Abstract translation: 目的：提供微机电装置，以通过改善接触垫之间的热机械损伤来防止微焊接。 构成：微电子机械装置包括形成在导电部件的一个接触表面上的导电氧化物层。 导电部件具有由金属层形成的主体和形成在主体上的导电氧化物层。 导电氧化物层由氧化钌，氧化铱，氧化铟，氧化锡，氧化锌或氧化铟锡构成。
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