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公开(公告)号：KR100805928B1
公开(公告)日：2008-02-21
申请号：KR1020060074817
申请日：2006-08-08
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 부피 측정 장치 및 방법에 관한 것으로서, 피측정 시료가 넣어지거나 부착되는 용기, 용기에 연결되고, 피스톤 및 실린더를 포함하는 부피 가변 장치, 부피 가변 장치를 구동하기 위한 구동기, 용기 내의 압력을 측정하기 위한 압력계, 및 피스톤의 이동 거리 및 측정된 압력에 기초하여 피측정 시료의 부피를 계산하기 위한 계산 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 부피 측정 장치, 및 이러한 부피 장치를 이용한 부피 측정 방법을 제공한다.
부피측정, 기체압력, 기체온도, 피스톤-
公开(公告)号：KR1020080013375A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：KR1020060074817
申请日：2006-08-08
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: A volume measuring apparatus and method are provided to quickly and easily measure the volume of a test sample by using a volume variable device rather than water. A volume measuring apparatus comprises a container(10) in which a test sample is placed or attached, a volume variable device connected to the container and including a piston(30) and a cylinder(20), a driver(40) for driving the volume variable device, a manometer(50) for measuring a pressure in the container, and a calculation unit(70) for calculating the volume of the test sample on the basis of the moving distance of the piston and the measured pressure.
Abstract translation: 提供了一种体积测量装置和方法，通过使用体积可变装置而不是水来快速和容易地测量测试样本的体积。 体积测量装置包括：容器（10），其中放置或附接测试样品;连接到容器并且包括活塞（30）和气缸（20）的容积可变装置;驱动器（40），用于驱动 体积可变装置，用于测量容器中的压力的压力计（50），以及用于基于活塞的移动距离和测量的压力计算测试样本的体积的计算单元（70）。
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公开(公告)号：KR101850895B1
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：KR1020170000559
申请日：2017-01-03
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/32082 , H01J37/32174 , H01J37/3244 , H01J37/32458 , H01J37/32715 , H01J37/32834 , H05H1/46
Abstract: 본발명의일 실시예에따른플라즈마발생장치는플라즈마발생부를포함한다. 상기플라즈마발생부는, 구형또는타원체형의케비티를구비한다. 상기플라즈마발생부는상기케비티에 RF 전력을공급받아전자가되튐공진하여플라즈마를생성한다. 상기케비티는외부공간과서로연통되도록플라즈마추출홀을포함한다.
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公开(公告)号：KR101749570B1
公开(公告)日：2017-07-03
申请号：KR1020150149822
申请日：2015-10-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Inventor： 김정형
Abstract: 본발명은유도가열선형증발증착장치를제공한다. 이장치는진공용기; 상부면이개방되고제1 방향으로연장되고상기진공용기내부에배치되고증착물질을수납하는직육면체형상의도전성도가니; 상기도전성도가니와정렬되고상기도전성도가니의상부면에삽입되어배치되고복수의관통노즐들을포함하는직육면체형상의도전체로형성된노즐블록; 상기노즐블록과상기증착물질사이에배치되고개구부를통하여상기증착물질의증기를확산시키는도전성확산판; 및상기도전성도가니및 상기노즐블록을감싸도록상기제1 방향으로연장되어배치되어상기도전성도가니, 상기도전성확산판, 및상기노즐블록을유도가열하는유도가열코일;을포함한다. 상기노즐블록의하부면에는함몰부가형성되고, 상기도전성확산판은상기함몰부의하부면에장착되어버퍼공간을제공한다. 상기노즐블록과상기도전성도가니는서로정렬되고, 서로분해결합할수 있도록결합한다. 상기관통노즐은상기제1 방향으로이격되어배치되는제1 열관통노즐; 및상기제1 방향에수직한방향으로이격되어상기제1 열관통노즐과나란히배치되는제2 열관통노즐;을;을포함한다.
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公开(公告)号：KR1020170049008A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：KR1020150149822
申请日：2015-10-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Inventor： 김정형
Abstract: 본발명은유도가열선형증발증착장치를제공한다. 이장치는진공용기; 상부면이개방되고제1 방향으로연장되고상기진공용기내부에배치되고증착물질을수납하는직육면체형상의도전성도가니; 상기도전성도가니와정렬되고상기도전성도가니의상부면에삽입되어배치되고복수의관통노즐들을포함하는직육면체형상의도전체로형성된노즐블록; 상기노즐블록과상기증착물질사이에배치되고개구부를통하여상기증착물질의증기를확산시키는도전성확산판; 및상기도전성도가니및 상기노즐블록을감싸도록상기제1 방향으로연장되어배치되어상기도전성도가니, 상기도전성확산판, 및상기노즐블록을유도가열하는유도가열코일;을포함한다. 상기노즐블록의하부면에는함몰부가형성되고, 상기도전성확산판은상기함몰부의하부면에장착되어버퍼공간을제공한다. 상기노즐블록과상기도전성도가니는서로정렬되고, 서로분해결합할수 있도록결합한다. 상기관통노즐은상기제1 방향으로이격되어배치되는제1 열관통노즐; 및상기제1 방향에수직한방향으로이격되어상기제1 열관통노즐과나란히배치되는제2 열관통노즐;을;을포함한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种感应加热线性蒸发沉积设备。 真空容器; 一种长方体形式的导电坩埚，具有敞开的顶表面并沿第一方向延伸并设置在真空容器内并容纳沉积材料; 喷嘴块，其与导电坩埚对准并插入导电坩埚的上表面以形成包括多个贯通喷嘴的长方体形状; 导电扩散板，设置在喷嘴块和沉积材料之间并且通过开口扩散沉积材料的蒸气; 感应加热线圈沿第一方向延伸以围绕导电坩埚和喷嘴块以感应加热导电坩埚，导电扩散板和喷嘴块。 凹陷形成在喷嘴块的下表面上，并且导电扩散板安装在凹陷的下表面上以提供缓冲空间。 喷嘴块和导电坩埚彼此对齐并且彼此联接以便彼此拆卸和联接。 其中通孔喷嘴沿第一方向彼此间隔开; 以及在与第一方向垂直的方向上间隔开并与第一透热喷嘴平行设置的第二透热喷嘴。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101520804B1
公开(公告)日：2015-05-15
申请号：KR1020130010162
申请日：2013-01-30
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L31/07 , H01L31/072 , H01L31/042
Abstract: 본 발명은 이종 접합 양자점과 쇼트키 접합 태양 전지를 이용한 태양 전지를 제공한다. 이 태양 전지는 제1 도전형의 반도체층 및 제1 도전형의 반도체층 상에 형성된 금속층을 포함하는 쇼트키(Schottky) 접합 태양전지, 및 반도체층 상에 배치되고, 코어(core) 및 코어를 감싸는 셀(shell)을 가지는 이종 접합 양자점을 포함한다. 상기 이종 접합 양자점은 태양광을 흡수하여 형성된 전자-전공 쌍을 포스터 공명 에너지 전달(Forster resonance energy transfer;FRET)을 통하여 쇼트키(Schottky) 접합 태양전지에 전달한다.
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公开(公告)号：KR101473345B1
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：KR1020120088125
申请日：2012-08-13
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: C23C14/24
Abstract: 본발명은증발증착장치를제공한다. 이장치는증기를제공받는입구, 입구의주위에배치되어증기의방향을전환하는배플, 증기를반사시키는구형또는타원형의케비티, 및케비티에서복수회 반사또는산란된증기를점원에의한방사형으로토출하는출구를포함하는적분구, 내부에증발물질이담기고제1 개구부를통하여증발된증기를적분구의입구에제공하는도가니, 및적분구및 도가니를감싸도록배치되어도가니및 적분구를가열하는가열부를포함하고, 적분구는도전성물질로형성되고, 케비티의내부표면은거칠어증발물질이산란된다.
Abstract translation: 本发明提供的蒸发装置。 通过滤饼蒂径向排出时，多次反射或散射的蒸气在mitke蒂圆形或椭圆形，其布置成围绕所述接收所述值滑移蒸汽入口，入口反射挡板，蒸汽在店员切换的蒸汽的方向 积分球，它包括一个插座，以提供通过goje第一开口添加蒸发材料积分球入口坩埚内的闪蒸蒸汽，并且被布置成围绕所述积分球和坩埚被加热以加热所述坩埚和所述积分球部分 包括，并且形成为导电材料的积分球，蛋糕的Bt的内表面是粗糙的蒸发材料被散射。
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公开(公告)号：KR1020140122838A
公开(公告)日：2014-10-21
申请号：KR1020130039747
申请日：2013-04-11
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: C23C14/26 , C23C14/228 , C23C14/243
Abstract: 본 발명의 증발 증착 장치 및 그 동작 방법을 제공한다. 이 증발 증착 장치는 증발물질을 수납하는 제1 케비티, 제1 케비티와 연결통로를 통하여 증기를 제공받는 제2 케비티, 및 제2 케비티에 형성되고 증기를 점원(point source)에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하고 도전체로 형성된 증발기, 도전체로 형성되고 출구에 연결되고 점점 직경이 증가하는 관통홀을 포함하는 반사 노즐, 반사 노즐 및 증발기를 감싸는 유도 코일, 및 유도 코일에 교류 전력을 인가하는 교류 전원을 포함한다. 유도 코일은 증발기 및 반사 노즐을 유도 가열하여 상기 증발 물질을 증발시키고, 증기는 반사 노즐을 통하여 토출된다.
Abstract translation: 本发明提供蒸发沉积装置及其操作方法。 蒸发沉积装置包括：蒸发器，其包括构造成接收蒸发材料的第一空腔，被构造成通过第一空腔接收蒸汽的第二腔和连接通道，以及形成在第二空腔中并被配置成径向排出蒸汽的蒸汽 具有点源，其中所述蒸发器由导电材料形成; 由导电材料形成的反射喷嘴，其连接到出口，并且包括具有逐渐增加的直径的通孔; 构造成覆盖反射喷嘴和蒸发器的感应线圈; 以及被配置为向所述感应线圈施加AC电力的交流（AC）电源。 感应线圈感应加热蒸发器和反射喷嘴以蒸发蒸发材料，蒸汽通过反射喷嘴排出。
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公开(公告)号：KR101370326B1
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：KR1020120086404
申请日：2012-08-07
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 증발 증착 장치를 제공한다. 이 장치는 기판을 포함하는 진공 챔버, 진공 챔버의 외부에 배치되고 증발 물질을 수납하는 도가니, 도가니를 유도 가열하는 제1 유도 코일, 제1 유도 코일에 AC 전력을 인가하는 제1 AC 전원, 도가니에 형성된 제1 개구부와 진공 챔버에 형성된 제2 개구부를 연결하는 도전성 가이드 파이프, 가이드 파이프를 감싸고 가이드 파이프를 유도 가열하는 제2 유도 코일, 및 제2 유도 코일에 AC 전력을 인가하는 제2 AC 전원을 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种蒸发沉积设备。 根据权利要求1的交流电源的用于施加第一感应线圈的设备，交流电源用于加热所述第一感应线圈被设置在真空室的外部，将含有基体和诱导的坩埚，用于容纳蒸发材料的坩埚的真空室中，在坩埚 所述第一开口和所述第二感应线圈与导电的导引管连接形成在真空腔室中的第二开口，围绕该引导管感应加热引导管，并且所述第二的第二交流电源施加交流电源至在所形成的感应线圈供给 它包括。
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公开(公告)号：KR101355817B1
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：KR1020120074726
申请日：2012-07-09
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 전자기 부양 금속 박막 증착 장치 및 전자기 부양 금속 박막 증착 방법을 제공한다. 이 장치는 플라즈마 생기지 않도록 배기되는 챔버, 챔버에 형성된 관통홀 주위에 장착된 유전체 튜브, 유전체 튜브를 감싸는 전자기 부양 코일, 전자기 부양 코일에 RF 전력을 제공하는 RF 전원, 유전체 튜브가 배치되는 평면보다 낮은 위치에서 챔버의 내부에 배치된 기판 홀더, 및 기판 홀더 상에 배치되는 기판을 포함한다. 전자기 부양 코일은 서로 연속적으로 연결된 상부 전자기 부양 코일과 하부 전자기 부양 코일을 포함하고, 상부 전자기 부양 코일에 흐르는 전류의 방향과 하부 전자기 부양 코일에 흐르는 전류의 방향은 서로 반대이다. 전자기 부양 코일은 유전체 튜브 내부에 배치된 금속 시료를 전자기력을 이용하여 부양하면서 가열하고, 금속 시료는 증발하여 중력 방향으로 이동하여 기판에 금속 박막을 형성한다.
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