公开(公告)号：KR1020090116039A

公开(公告)日：2009-11-11

申请号：KR1020080041715

申请日：2008-05-06

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 안봉영 ,  조승현 ,  홍승수 ,  신용현 ,  정광화

IPC: G01L11/06 ,  G01L11/00

CPC classification number: G01L11/06

Abstract: PURPOSE: A pressure measuring device using acoustic impedance change is provided to measure atmospheric pressure even in a high vacuum condition and a low vacuum condition. CONSTITUTION: A pressure measuring device using acoustic impedance change comprises an ultrasonic wave excitation part(20), an ultrasonic receiver(30), a controller(70) and a pressure measurement part(80). The ultrasonic wave excitation part outputs ultrasonic wave and is installed inside a container part(10). The ultrasonic receiver is placed on the ultrasonic wave excitation part and is installed inside the container part. The controller controls the frequency and signal waveform of the ultrasonic wave outputted from the ultrasonic wave excitation part. The pressure measurement part measures the inner pressure of the container part.

Abstract translation: 目的：提供使用声阻抗变化的压力测量装置，即使在高真空条件和低真空条件下也可测量大气压力。 构成：使用声阻抗变化的压力测量装置包括超声波激励部分（20），超声波接收器（30），控制器（70）和压力测量部分（80）。 超声波激发部输出超声波，安装在容器部10内。 超声波接收器放置在超声波激发部上，安装在容器部内。 控制器控制从超声波激发部输出的超声波的频率和信号波形。 压力测量部件测量容器部件的内部压力。

公开(公告)号：KR1020090110744A

公开(公告)日：2009-10-22

申请号：KR1020080036396

申请日：2008-04-18

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 홍승수 ,  신용현 ,  김진태

IPC: G01L7/08 ,  G01L7/00

CPC classification number: G01L9/0072

Abstract: PURPOSE: An apparatus for measuring pressure using diaphragm and a method for measuring pressure using the same are provided to measure pressure below atmospheric pressure without a getter pump by fixing a pressure variable container on a sensor housing in which a diaphragm is installed inside. CONSTITUTION: An apparatus for measuring pressure using diaphragm comprises a diaphragm sensor and a pressure variable container. The diaphragm sensor includes a sensor housing, a diaphragm, an electrode substrate, and an electrode. A first opening(12-1) and a second opening(12-2) are formed in the sensor housing(12). The diaphragm(16) is installed between the first opening and the second opening. The electrode substrate(14) is installed between the second opening and the diaphragm. The electrode(14T) adheres to the electrode substrate to be faced to the diaphragm. A third opening and a fourth opening are formed in the pressure variable container.

Abstract translation: 目的：提供一种使用隔膜测量压力的装置和使用其测量压力的方法，以通过将压力可变容器固定在其中安装隔膜的传感器外壳上而不使用吸气泵来测量低于大气压的压力。 构成：使用隔膜测量压力的装置包括隔膜传感器和压力变量容器。 隔膜传感器包括传感器外壳，隔膜，电极基板和电极。 第一开口（12-1）和第二开口（12-2）形成在传感器壳体（12）中。 隔膜（16）安装在第一开口和第二开口之间。 电极基板（14）安装在第二开口和隔膜之间。 电极（14T）粘附到电极基板以面对隔膜。 第三开口和第四开口形成在压力可变容器中。

公开(公告)号：KR1020090055059A

公开(公告)日：2009-06-02

申请号：KR1020070121777

申请日：2007-11-28

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 임인태 ,  성대진 ,  신용현 ,  홍승수

IPC: G01N9/26 ,  G01N7/00 ,  G01N9/00 ,  G01F11/00

CPC classification number: G01N9/26 ,  G01F17/00 ,  G01N7/00

Abstract: A volume measurement device and a measurement method thereof are provided to measure volume of complicated sample precisely. A volume measurement method comprises a step(S100) which measures volume and pressure of a piston; a step(S200) which loads a sample in a chamber and measures an initial pressure inside the chamber; a step(S300) which inflows a constant flow rate to the chamber; and a step(S400) which measures pressure of the chamber and extracts the volume of sample. The volume of the sample is extracted by using a boyle-charles' law. The flow rate is flowed into the chamber through the piston or a mass flow controller. The step which measures the initial pressure by loading the sample into the chamber comprises a step which exhausts the chamber under a reference pressure and a step which stops the exhaustion and measures the initial pressure.

Abstract translation: 提供体积测量装置及其测量方法来精确地测量复杂样品的体积。 体积测量方法包括测量活塞的体积和压力的步骤（S100） 步骤（S200），其将样品装载在室中并测量室内的初始压力; 步骤（S300），其向腔室流入恒定的流量; 以及测量室的压力并提取样品体积的步骤（S400）。 通过使用boyle-charles定律提取样品的体积。 流量通过活塞或质量流量控制器流入腔室。 通过将样品装载到室中来测量初始压力的步骤包括在参考压力下排出室的步骤和停止耗尽并测量初始压力的步骤。

公开(公告)号：KR100724103B1

公开(公告)日：2007-06-04

申请号：KR1020050092789

申请日：2005-10-04

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 홍승수 ,  정광화 ,  신용현 ,  성대진

IPC: G01L11/02

Abstract: 본 발명은 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 내부에 소정의 진공이 형성된 진공용기(10); 진공용기(10) 내에 구비되는 금속 시편(62); 진공용기(10)의 투시창에 밀착되어 진공용기(10) 내부의 시편(62)을 향해 적외선(60)을 조사하는 적외선 조사수단; 시편(62)으로부터 반사되는 적외선(60)을 영상으로 촬영하기 위한 적외선 카메라(40); 적외선 카메라(40)가 촬영한 영상에 기초하여 진공용기(10) 내의 압력변화에 따른 시편의 온도변화를 산출하는 온도 산출수단; 및 온도 산출수단에 의해 산출된 온도변화에 기초하여 진공용기(10) 내의 압력을 산출하는 압력 산출수단;으로 구성되는 것을 특징으로 하는 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정장치가 제공된다.
진공, 압력, 측정, 센서, 적외선, 카메라, 영상, 산출, 표시, 용기

公开(公告)号：KR100724092B1

公开(公告)日：2007-06-04

申请号：KR1020050101657

申请日：2005-10-27

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 홍승수 ,  신용현 ,  정광화 ,  임인태

IPC: G01L21/02 ,  G01L21/00

CPC classification number: G01L27/005 ,  C21D11/00

Abstract: 본 발명은 부피가 서로 다른 진공체임버에 기체를 순차적으로 확장시켜 진공체임버의 압력을 계산하는 정적법 표준기에서 절대교정된 기준진공게이지를 이용하여 진공게이지의 이동이 없이 in-situ 상태에서 오리피스 기체흐름 제어 방법에 따라 진공게이지의 비교교정이 가능한 장치의 개발에 관한 사항이다. 관련 세부기술로는 정적법에 의한 기준진공게이지 절대교정과 오리피스 기체흐름 제어 방법에 의한 진공게이지 비교교정 결합기술, 저진공에서 고진공 영역까지의 기준압력 발생기술 및 교정기술, 오리피스 기체흐름 안정화 방법에 의한 진공게이지 비교교정에 관한 기법을 포함한다. 본 발명은 진공게이지의 절대 교정과 비교교정이 각각 다른 장치에서만 가능했던 것을 두 교정 장치를 결합한 새로운 장치의 개발로 교정시간 단축과 이동교정 등 교정효율 향상에 관한 것이다.
정적법, 기준진공게이지, 절대교정, 비교교정, 결합기술, 기준압력, 발생기술, 교정기술, 오리피스 기체흐름 안정화 방법, 진공게이지, 이동교정, 교정효율