公开(公告)号：KR1020070039656A

公开(公告)日：2007-04-13

申请号：KR1020050094775

申请日：2005-10-10

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 윤주영 ,  신용현 ,  정광화

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 내부의 상태를 확인할 수 없는 파이프 시스템에 대해 진동 응답 특성을 파악하여 내부의 막힘 상태를 예측할 수 있는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 화학반응이 일어나는 챔버(25), 챔버(25)와 연결되어 화학물질을 전송하는 파이프(20), 및 파이프(20)로 화학물질을 압송하는 펌프수단(10)으로 구성된 챔버 장치에 있어서, 파이프(20)의 외면에 부착되어 소정의 충격파를 발생하는 가진기(30); 파이프(20)의 가진기(30)로부터 소정 거리만큼 이격된 곳에 설치되어 가진기(30)에 의한 파이프(20)의 진동을 감지하는 센서(35); 센서(35)의 출력신호를 도식적으로 표시하는 신호처리부;로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측장치가 제공된다.
증착, 챔버, 파이프, 내부, 화학물질, 막힘, 예측, 데이터베이스, 표시

公开(公告)号：KR1020060009666A

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：KR1020040058333

申请日：2004-07-26

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 윤주영 ,  임종연 ,  신용현 ,  정광화

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67253 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  H01L21/67276

Abstract: 본 발명은 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단장치 및 방법에 관한 것으로, 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽을 향해 발사되어 이로부터 반사된 초음파 신호를 감지한 감지신호로부터 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽 막힘 여부를 진단하되, 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽으로부터 반사된 초음파 신호의 진폭을 비교함에 의해 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽 막힘 여부를 진단하도록 구현하여 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽 막힘 여부 또는 오염 정도를 반도체 소자 제조용 진공장치로부터 파이프를 해체하지 않고도 정확하게 진단할 수 있도록 한 것이다.
반도체 소자, 진공장치, 파이프 막힘, 초음파

公开(公告)号：KR100523935B1

公开(公告)日：2005-10-26

申请号：KR1020030091131

申请日：2003-12-15

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 윤주영 ,  성대진 ,  김정형 ,  신용현 ,  정광화

IPC: C23C16/448

Abstract: 본 발명은 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치에 관한 것으로, 밀폐용기에 담긴 전구체 수용액이 최저수위까지 기화됨이 가능하도록 밀폐용기의 내벽면 일측에 근접되게 편중/배치되고 높이방향을 따라 최저수위까지 배관되는 연결관과, 연결관의 하단에 관이음되고, 밀폐용기의 바닥면을 따라 배관되는 기포발생관을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이 때 기포발생관은, 바닥면의 내주연을 따라 배관되는 폐곡선 형상, 바닥면을 가로질러 배관되는 직선 형상, 폐곡선 형상 및 폐곡선의 내주연을 가로질러 배관되는 직선 형상 등으로 이루어지는 것이 바람직하며, 그 외주연 상부에 일정간격을 따라 통기구가 형성되어 전구체 수용액의 최저수위에서 그 전반에 걸친 기포발생 및 버블링이 이루어질 수 있다.

公开(公告)号：KR100494656B1

公开(公告)日：2005-06-13

申请号：KR1020030055644

申请日：2003-08-12

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 윤주영 ,  김정형 ,  신용현 ,  정광화

IPC: G01N21/35

Abstract: 본 발명은 유기금속화학증착 공정을 위한 전구체 변질 진단장치 및 진단방법에 관한 것으로, 운반기체가 담긴 봄베; 일측이 봄베에 배관된 제 1파이프; 액상의 유기금속 전구체가 담기고, 운반기체가 유기금속 전구체를 버블링하여 기화하도록 제 1파이프의 타측이 유기금속 전구체에 수장되어 배관되는 용기; 일측이 유기금속 전구체의 수면 위에 배치되게 용기에 배관되어 유기금속 전구체 및 운반기체가 이송되는 제 2파이프; 제 3파이프의 타측이 배관되고 유기금속 전구체로 화학증착 공정이 수행되는 반응로; 제 2파이프 및 제 3파이프에 주입파이프 및 배출파이프로 배관되어 유입되는 유기금속 전구체를 분광하고 반응로에 배출하는 분광수단; 분광수단에 전기적으로 연결되어 전송되는 분광 데이터를 기초로 최강분자결합 대비 최약분자결합의 분광도 피크 면적비를 연산하고 설정된 기준 면적비와 비교 처리하는 컴퓨터; 기준 면적비 이하의 피크 면적비 도출에 따라 알람음향이 방출되도록 컴퓨터에 전기적으로 연결되는 알람발생기;를 포함하여 구성되어 운반 도중의 전구체를 적외선 분광/분석하여 변질됨이 판단됨에 따라 알람방출하는 것을 특징으로 한다. 이 때 분광수단은, 적외선 분광분석기인 것이 바람직하다.

公开(公告)号：KR1020050017987A

公开(公告)日：2005-02-23

申请号：KR1020030055644

申请日：2003-08-12

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 윤주영 ,  김정형 ,  신용현 ,  정광화

IPC: G01N21/35

Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for diagnosing a precursor transmutation for an organic metal chemical vapor deposition process are provided to preliminarily diagnose the precursor transmutation by connecting an infrared spectrophotometer to a reactor. CONSTITUTION: An apparatus for diagnosing a precursor transmutation includes a bombe(100) for receiving a carrier gas(100a). One side of a first pipe(110) is connected to the bombe(100). A vessel(200) is provided to receive a liquid metal organic precursor(200a) therein. The vessel(200) is connected to other side of the first pipe(110) in such a manner that the carrier gas(100a) vaporizes the liquid metal organic precursor(200a) by bubbling the metal organic precursor(200a). A second pipe(210) is connected to the vessel(200) in such a manner that one side of the second pipe(210) is arranged on a surface of the metal organic precursor(200a), and the metal organic precursor(200a) and the conveying gas(100a) are conveyed through the second pipe(210).

Abstract translation: 目的：提供用于诊断有机金属化学气相沉积工艺的前体变换的装置和方法，以通过将红外分光光度计连接到反应器来预先诊断前体变换。 构成：用于诊断前体变换的装置包括用于接收载气（100a）的炸弹（100）。 第一管（110）的一侧连接到炸弹（100）。 提供容器（200）以在其中容纳液态金属有机前体（200a）。 容器（200）以这样的方式连接到第一管道（110）的另一侧，使得载气（100a）通过鼓泡金属有机前体（200a）来蒸发液态金属有机前体（200a）。 第二管（210）以这样的方式连接到容器（200），即第二管（210）的一侧布置在金属有机前体（200a）的表面上，金属有机前体（200a） 输送气体（100a）通过第二配管（210）输送。

公开(公告)号：KR100216478B1

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019960035704

申请日：1996-08-27

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 정광화 ,  장홍영

IPC: H01J27/00

CPC classification number: H01J41/18

Abstract: 본 발명은 이온드래그 진공펌프를 개시한다. 개시된 진공펌프는, 몸체에 마련되며 이온을 발생시키는 이온발생수단과, 상기 이온발생수단에 의해 발생된 이온을 가속시킴으로써 이온 주위의 기체를 외부로 배출시키는 이온드래그수단과, 배출되는 이온을 중성화시키는 이온중성화수단을 포함한다. 따라서 진동, 소음, 그리고 오염이없는 진공시스템의 구성이 가능하고, 회로의 구성을 단순화시킬 수 있고, 소형 경량화시킬 수 있어 휴대용으로도 발전시킬 수 있는 장점이 있다.

公开(公告)号：KR100882887B1

公开(公告)日：2009-02-10

申请号：KR1020077016396

申请日：2004-12-17

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 정완섭 ,  임종연 ,  정광화 ,  이수갑

IPC: F04D15/00 ,  F04D27/00 ,  F04B49/00

Abstract: 능동 진단 알고리즘과 같은 본 발명은 펌프를 고장으로부터 보호하기 위한 진공펌프의 성능 저하의 초기 감지 실현화 뿐만 아니라 진공펌프의 예보유지를 위해서도 개발되었다. 본 발명에 따르면, 펌프 간 작동 특성들과 다중 공정 조건들의 큰 변동성으로부터 발생하는 기술적 문제들, 특히 반도체 제작 공정에서의 기술적 문제들을 다루기 위한 단순하고 효율적인 방안이 가능해진다.

公开(公告)号：KR1020070108727A

公开(公告)日：2007-11-13

申请号：KR1020060041113

申请日：2006-05-08

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 윤주영 ,  신용현 ,  정광화

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/205

Abstract: A diagnostic device and a method of measuring residual quantity of precursors within a receptacle in a CVD process are provided to prevent damage due to lack of precursors by measuring a water level of the precursors in a real-time period. A bombe(100) is formed to store a carrier gas(100a). One side of a first pipe(110) is connected to the bombe in order to transfer the carrier gas. A receptacle(200) is formed to store a liquefied precursor(200a). The other side of the first pipe is dipped into the precursor in order to bubble and evaporate the precursor by using the transfer gas. A second pipe(210) is arranged on a surface of water in order to transfer the precursor and the carrier gas. One side of the second pipe is connected to the receptacle. A reactor(300) is connected to the other side of the second pipe in order to deposit the precursor on a wafer(300a) by performing a chemical deposition process. An ultrasonic sensor unit(410) transmits ultrasonic waves to the surface of the water and delays and receives the ultrasonic waves reflected from the surface of the water. An ultrasonic control unit(420) filters a threshold voltage and, applies and controls an alarm output signal.

Abstract translation: 提供诊断装置和在CVD工艺中测量容器内的前体的剩余量的方法，以通过在实时期间内测量前体的水位来防止由于缺乏前体造成的损害。 形成一个炸药（100）以储存载气（100a）。 第一管（110）的一侧连接到炸弹，以便传送载气。 形成容器（200）以储存液化前体（200a）。 将第一管的另一侧浸入前体中，以便通过使用转移气体起泡和蒸发前体。 为了转移前体和载气，在水表面上设置有第二管（210）。 第二管的一侧连接到容器。 反应器（300）连接到第二管的另一侧，以通过进行化学沉积工艺将前体沉积在晶片（300a）上。 超声波传感器单元（410）将超声波发送到水表面并延迟并接收从水面反射的超声波。 超声波控制单元（420）对阈值进行滤波，并施加并控制报警输出信号。

公开(公告)号：KR1020070053436A

公开(公告)日：2007-05-25

申请号：KR1020050111221

申请日：2005-11-21

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 윤주영 ,  신용현 ,  정광화

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 화학증착 공정 중 용기 내 잔존하는 전구체의 변질 정도를 초음파의 송/수신을 통해 발생되는 신호를 분석하여 정확히 측정할 수 있는 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 분해도 진단장치 및 진단방법에 관한 것이다. 이를 위해, 웨이퍼(7)를 증착하는 반응기(10), 상기 반응기(10)와 연결된 전구체 용기(20)로 구성된 화학증착용 전구체 분해장치에 있어서, 상기 전구체 용기(20)의 일측에 부착되어 상기 전구체 용기(20) 내부로 초음파를 투사하고, 반사된 상기 초음파를 수신하는 초음파 센서(30); 초음파 센서(30)를 구동하고, 상기 초음파 센서(30)의 출력신호를 증폭하는 초음파 송수신기(40); 초음파 송수신기(40)의 출력신호를 변환하는 A/D 변환기(50); A/D 변환기(50)의 출력신호를 소정의 기준 데이터와 비교하는 비교수단; 및 비교수단의 비교결과에 기초하여 증착공정의 계속여부를 결정하는 결정수단으로 구성된다. 따라서, 전구체의 분해로 인한 피해를 사전에 방지하여 제품 불량율을 현저하게 감소시킬 수 있고, 상기의 측정결과를 토대로 전구체의 정확한 교체시기를 알 수 있으므로 전구체의 사용기간을 최대로 연장할 수 있다.
전구체, 화학, 증착, 운반가스, 초음파, 반사, 강도, 비교, 알람, 분해

公开(公告)号：KR1020080017929A

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：KR1020060079797

申请日：2006-08-23

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 홍승수 ,  정광화 ,  신용현

IPC: G01D21/02 ,  H01L21/66 ,  G01L7/00

CPC classification number: G01L21/34 ,  G01L21/32 ,  G01D21/02 ,  G01L9/0091

Abstract: An apparatus and a method for measuring the composition and pressure of gas discharged from an ion gauge by using residual gas analyzer are provided to prevent unexpected chemical reaction. An apparatus for measuring the composition and pressure of gas discharged from an ion gauge comprises a vacuum container(200), ion gauges(100a,100b), a residual gas analyzer(240), a pump unit, and a heating unit. The vacuum container includes a pressure container(210) and a discharge container(220) which are divided by a partition(235), wherein the partition is provided with an orifice(230). The ion gauge is attached to the pressure container of the vacuum container to discharge gas in vacuum. The residual gas analyzer is attached to the pressure container to measure composition and pressure of residual gas. The pump unit is located at one part of the discharge container to discharge inner gas. The heating unit is attached to the vacuum container to heat the vacuum container.

Abstract translation: 提供一种用于测量通过使用残留气体分析仪从离子计排出的气体的组成和压力的装置和方法，以防止意外的化学反应。 用于测量从离子计放出的气体的成分和压力的装置包括真空容器（200），离子计（100a，100b），残留气体分析器（240），泵单元和加热单元。 真空容器包括由隔板（235）分隔的压力容器（210）和排放容器（220），其中隔板设有孔口（230）。 离子计附着在真空容器的压力容器中以在真空中排出气体。 残留气体分析仪附着在压力容器上，以测量残留气体的组成和压力。 泵单元位于排出容器的一部分以排出内部气体。 加热单元附接到真空容器以加热真空容器。