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公开(公告)号：KR1020140058040A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：KR1020120124558
申请日：2012-11-06
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B24B13/00 , B24B13/005
CPC classification number: B24B13/00 , B24B13/005 , B24B41/06
Abstract: The present invention provides a mirror polishing device and a mirror polishing method. The mirror polishing device comprises a lightened mirror including a lightening pattern on one surface and having the other surface polished; a metallic fixing block including a first groove with a first depth for having the mirror inserted and hung therein and including a second groove with a second depth greater than the first depth on the bottom surface of the first groove; a sealing member inserted between the side surface of the mirror and the side wall of the first groove for sealing fluid; a fluid pressure adjusting part for receiving the fluid, providing the fluid to the second groove, and maintaining the pressure of the second groove; and a fluid supply part for supplying the fluid to the fluid adjusting part.
Abstract translation: 本发明提供了一种镜面抛光装置和镜面抛光方法。 镜面抛光装置包括一个减光镜，其在一个表面上包括一个发光图案，另一个表面被抛光; 金属固定块，包括具有第一深度的第一凹槽，用于使反射镜插入并悬挂在其中，并且包括具有大于第一凹槽的底表面上的第一深度的第二深度的第二凹槽; 插入反射镜的侧表面和第一凹槽的侧壁之间以密封流体的密封构件; 流体压力调节部，用于接收流体，将流体提供给第二凹槽，并保持第二凹槽的压力; 以及用于将流体供给到流体调节部的流体供给部。
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公开(公告)号：KR101124242B1
公开(公告)日：2012-03-27
申请号：KR1020090109711
申请日：2009-11-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 측정타워가 구비된 대구경 광학렌즈 연마장치에 관한 것이다.
본 발명의 연마장치는, 상부에 상호 대응되도록 설치된 제1상부프레임과 제2상부프레임을 가지는 베이스프레임; 연마대상물이 안치 고정되며 베이스프레임에 설치되는 회전 가능한 턴테이블; 턴테이블을 회전시키는 턴테이블회전수단; 제1상부프레임 상에 위치된 회전축에 일측 단부가 결합되고 제2상부프레임에 타측 단부가 연결되어 회전축을 중심으로 수평방향으로의 회전이 가능한 툴이동몸체; 툴이동몸체의 타측 단부가 제2상부프레임을 따라 이동되도록 하여 툴이동몸체가 전체적으로는 상기 회전축을 중심으로 회전되도록 하는 툴이동몸체회전수단; 툴이동몸체의 하부에 장착되는 툴장착몸체; 툴장착몸체를 툴이동몸체의 길이방향으로 이동시킬 수 있는 툴이동수단; 턴테이블의 상부에 위치되어 있고 가공되는 연마대상물의 연마 상태를 측정할 수 있는 측정장비가 구비된 측정타워; 입력된 데이터에 근거하여 상기 턴테이블회전수단, 툴이동몸체회전수단, 툴이동수단이 작동하도록 하는 중앙처리장치; 턴테이블회전수단, 툴이동몸체회전수단, 툴이동수단의 작동에 관한 데이터를 상기 중앙처리장치에 입력할 수 있는 데이터입력기기;를 포함하여 구성된다.
광학렌즈, 렌즈, 가공, 연마, 비축포물면-
公开(公告)号：KR1020090054137A
公开(公告)日：2009-05-29
申请号：KR1020070120862
申请日：2007-11-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/958 , G01N21/88
Abstract: 본 발명은 CIS 센서 모듈을 이용한 광학필름의 결함 검사장치에 관한 것으로서, 측정대상 광학필름의 일측에 배치되고, 일차원 배열구조로 이루어진 다수개의 발광소자로 상기 측정대상 광학필름의 일측면에 빛을 조사하는 제1 광원부와, 상기 측정대상 광학필름의 타측에 배치되고, 일차원 배열구조로 이루어진 다수개의 발광소자로 상기 측정대상 광학필름의 타측면에 빛을 조사하는 제2 광원부와, 상기 측정대상 광학필름의 일측에 상기 제1 광원부와 평행하게 배치되고, 일차원 배열구조로 이루어진 다수개의 광센서를 포함하며, 상기 제1 광원부 및 상기 제2 광원부로부터 조사된 빛이 상기 측정대상 광학필름에 의하여 각각 반사 및 투과되어 각 광센서에 의하여 감지된 감지신호를 출력하는 수광부와, 상기 제1 및 제2 광원부와 상기 수광부의 동작� � 제어하며, 상기 수광부로부터 감지신호를 입력받고, 상기 감지신호를 분석하여 상기 측정대상 광학필름의 결함여부를 판단하여 판단결과 정보를 출력하는 제어부를 포함하여, 실시간으로 생산되는 라인에 측정대상 광학필름의 일측에 제1 광원부와 수광부를 장착하고, 제2 광원부를 측정대상 광학필름의 타측에 장착하여 줌으로써, 빠르고 안정적으로 광학필름의 결함여부를 판별할 수 있는 효과가 있다.
광학필름, CIS 센서, 명암비, 인터페이스-
公开(公告)号：KR101817853B1
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：KR1020160043486
申请日：2016-04-08
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은회전반사미러를이용한파장가변레이저공진기및 그공진기를이용한파장가변공진방법에대한것이다. 보다상세하게는파장가변레이저공진기에있어서, 레이저광원을발진시키는레이저발진부; 상기레이저발진부에서발진된레이저광원이입사되어회절되는회절격자; 및상기회절격자의표면의연장선상에위치하는회전중심점을기준으로회전되며, 상기회절격자에서회절된레이저광원중 일부가수직입사되어상기회절격자로수직반사시켜공진시키는회전반사미러;를포함하는것을특징으로하는회전반사미러를이용한파장가변레이저공진기에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020170142240A
公开(公告)日：2017-12-28
申请号：KR1020160075238
申请日：2016-06-16
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은반사광과간섭광을이용한다층막구조물의두께, 형상측정장치및 측정방법에대한것이다. 보다상세하게는박막이코팅된측정대상물의두께정보와형상정보를획득하기위한방법에있어서, 광원에서출사된광을빔스플리터에의해 2개의광으로분할하는제1단계; 상기제1단계에서분할된 2개의광 중하나의광을박막을입힌측정대상물에입사시킨후, 박막의상층부와하층부에서반사되는광이간섭된제1반사광을영상분광기가획득하는제2단계; 상기제1단계에서분할된 2개의광 중나머지하나의광을기준미러에입사시킨후 반사시켜제2반사광을획득하는제3단계; 상기제1반사광과상기제2반사광이합쳐진간섭광을영상분광기가획득하는제4단계; 상기제1반사광의간섭무늬를획득하여절대반사율값을구하는제5단계; 상기간섭광의간섭무늬로부터두께정보와형상정보를갖는위상성분값을추출하는제6단계; 상기절대반사율값과상기위상성분값으로부터박막두께정보를측정하는제7단계; 및상기제7단계에서측정된박막두께정보와상기위상성분값으로부터박막형상정보를측정하는제8단계를포함하는것을특징으로하는반사광과간섭광을이용한다층막구조물의두께와형상측정방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用反射光和干涉光来测量多层膜结构的厚度和形状的设备和方法。 更具体地说，涉及用于获得厚度信息和所述测量对象的形状信息的方法是薄膜包衣，将所述的两个光通过由光源的光分束器发射的光的第一步骤; 然后在涂覆有薄膜的测量对象的第一步连接两个光重我的光分割的第二步骤中，第一反射光的光从上层和下层薄膜干涉，图像拾取光谱仪反射; 第三步骤，使在第一步骤中分离的两个光中的另一个进入参考反射镜，然后反射第二反射光以获得第二反射光; 第四步，其中图像分光镜获取其中第一反射光和第二反射光被组合的干涉光; 第五步骤，获取第一反射光的干涉条纹以获得绝对反射率值; 第六步，从干涉光的干涉条纹中提取具有厚度信息和形状信息的相位分量值; 从绝对反射率值和相位分量值测量薄膜厚度信息的第七步骤; 和涉及的膜厚度的信息和对厚度和形状使用的反射光与干扰光测量所述多层膜结构的方法，它其特征在于，它包括在步骤7中测量的测量从同相分量的值的薄膜形状信息的第八步骤 。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160095681A
公开(公告)日：2016-08-12
申请号：KR1020150016702
申请日：2015-02-03
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/0275 , G03F7/2053
Abstract: 본발명은초점심도조절이가능한레이저노광법기반미세패턴제조장치에대한것이다. 보다상세하게는, 미세패턴제조장치에서초점심도를조절하기위한초점심도조절장치에있어서, 레이저빔이입사되어일부를반사시켜제1레이저빔을출사시키고, 나머지는투과시켜제2레이저빔을출사시키는편광빔스플리터로구성된빔스플리터; 상기빔스플리터에서출사된제1레이저빔을반사시켜상기빔스플리터로다시입사시키는평면미러; 상기빔스플리터에서출사된제2레이저빔을반사시켜제1특정폭보다작은제2특정폭을갖는제2레이저빔을상기빔스플리터로다시입사시키고, 곡률의변경이가능한변형미러유닛; 상기제1특정폭을갖는제1레이저빔과상기제2특정폭을갖는제2레이저빔이입사되는검광기; 상기레이저발생부와상기편광빔스플리터사이에구비되어상기레이저발생부에서발생된레이저빔이투과되어편광방향이서로수직인 S파및 P파로편광시키는편광판; 및상기편광빔스플리터와상기평면미러사이및 상기편광빔스플리터와상기변경미러유닛사이각각에구비되어입사되는광을 45°만큼편광시키는쿼터파장판을포함하는것을특징으로하는레이저노광법기판미세패턴제조장치에구비되는초점심도조절장치에대한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种基于具有可控聚焦深度的激光曝光方法来制造精细图案的装置。 更具体地，用于控制精细图案制造装置中的聚焦深度的焦点深度控制装置包括：分束器，包括偏振分束器，其通过反射入射激光束的一部分并发射第二激光束而发射第一激光束，并且通过 传递其余的; 反射从分束器发射的第一激光束的平面镜将光束投射到分束器; 反射从分束器发射的第二激光束的可更换镜单元，将具有小于第一特定宽度的第二特定宽度的第二激光束投射到分束器，并且能够改变曲率; 具有第一特定宽度的第一激光束和第二特定宽度的第二激光束投射到的光学检测器; 偏振片安装在激光产生部分和偏振分束器之间，以将从激光束产生部分产生的激光束偏振成彼此垂直的P波和S波; 和四分之一波片分别安装在偏振分束器和平面镜之间以及偏振分束器和可变镜子单元之间，以将入射光偏振45°。
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公开(公告)号：KR101389320B1
公开(公告)日：2014-04-29
申请号：KR1020120087418
申请日：2012-08-09
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G02B5/1871 , G02B5/1857 , G03F7/70383
Abstract: 본 발명은 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자 제조장치, 위상회절소자 제조방법 및 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자에 대한 것이다. 보다 상세하게는 위상회절소자 제조장치에 있어서, 특정폭을 갖는 레이저빔을 발생시키는 레이저발생부; 레이저발생부에서 발생된 레이저빔을 투과시키는 노광렌즈; 노광렌즈의 초점부분에 설치되어 레이저빔이 주사되어 레이저빔에 의해 굴절률이 변화되는 광경화성 수지로 구성된 기판; 및 기판 또는 노광렌즈를 평면방향으로 이동시키기 위한 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자 제조장치에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用直接激光曝光方法制造相位衍射元件的装置，相型衍射元件的制造方法和使用直接激光曝光法的相位衍射元件。 更具体地，本发明涉及通过在由光固化树脂形成的基板上照射激光束来制造相型衍射元件的装置和方法。
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公开(公告)号：KR1020140021754A
公开(公告)日：2014-02-20
申请号：KR1020120087421
申请日：2012-08-09
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G02B1/041 , B29D11/026 , G02B3/0012 , G02B7/04 , H01S3/10
Abstract: The present invention relates to a lens having a phase diffraction device coating layer, method and apparatus for manufacturing the lens having a phase diffraction device coating layer and more specifically, to an apparatus for manufacturing a phase diffraction hybrid lens using a photocurable resin comprising: a laser generation part which generates laser beam having a constant width; an exposure lens which penetrates the laser beam generated in the laser generation part; a lens which is coated with a photocurable resin which is installed the focus part of the exposure lens and is changed in a refractive index by the laser beam by being irradiated with the laser beam; and a driving part which moves the lens or exposure lens in a plane direction.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有相位衍射装置涂层的透镜，具有相位衍射装置涂层的透镜的制造方法和装置，更具体地说，涉及一种使用光固化树脂制造相位衍射混合透镜的装置，包括： 产生具有恒定宽度的激光束的激光产生部件; 透射激光产生部产生的激光束的曝光透镜; 涂覆有光固化树脂的透镜，其安装曝光透镜的焦点部分，并且通过照射激光束被激光束改变为折射率; 以及在平面方向上移动透镜或曝光透镜的驱动部。
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公开(公告)号：KR1020110052955A
公开(公告)日：2011-05-19
申请号：KR1020090109711
申请日：2009-11-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A large optical lens grinding apparatus having a measurement tower is provided to precisely grind a work piece into a large optical lens by automatically controlling a turn table and a grinding tool based on measurement data. CONSTITUTION: A large optical lens grinding apparatus comprises a turn table(20), a tool transfer body, a tool transfer body rotating unit, a measurement tower(130), a CPU(Central Processing Unit), and a data input unit. The turn table, on which a work piece is fixed, is installed in a base frame(10). One end of the tool transfer body is coupled to a rotary shaft(14) of a first upper frame(11) while the other end is connected to a second upper frame, so that the tool transfer body is horizontally rotated around the rotary shaft. The tool transfer body rotating unit transfers the other end of the tool transfer body along a second upper frame and rotates the tool transfer body around the rotary shaft. The measurement tower comprises a measuring unit(131) which measures the ground state of the work piece. The CPU operates a turn table rotating unit(60), the tool transfer body rotating unit, and a tool transfer unit(90) based on input data. The data input unit inputs data about the operations of the turn table rotating unit, the tool transfer body rotating unit, and the tool transfer unit to the CPU.
Abstract translation: 目的：提供一种具有测量塔的大型光学透镜研磨设备，通过基于测量数据自动控制转台和磨削工具，将工件精确研磨成大型光学透镜。 构成：大型光学透镜研磨装置包括转台（20），工具传送体，工具传送体旋转单元，测量塔（130），CPU（中央处理单元）和数据输入单元。 固定有工件的转台安装在基架（10）中。 工具传送体的一端与第一上部框架（11）的旋转轴（14）连接，而另一端连接到第二上部框架，使得工具传送体围绕旋转轴水平旋转。 工具传送体旋转单元沿着第二上框架传送工具传送体的另一端，并使工具传送体围绕旋转轴旋转。 测量塔包括测量工件的基态的测量单元（131）。 CPU基于输入数据来操作转台旋转单元（60），工具传送体旋转单元和工具传送单元（90）。 数据输入单元将关于转台旋转单元，工具传送体旋转单元和工具传送单元的操作的数据输入到CPU。
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30.发明授权
公开(公告)号：KR100980329B1
公开(公告)日：2010-09-06
申请号：KR1020080037208
申请日：2008-04-22
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/027 , H01L21/66
Abstract: 본 발명의 제조 과정이 단순하며 대면적 패턴을 용이하게 할 수 있는 기판 결함 검출용 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 장치 및 그를 이용한 제조 방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 기판 결함 검출용 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 장치는, 기판의 내부 결함 검출에 이용되는 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 장치에 있어서, 광차단막을 가지는 기판이 안착되는 기판스테이지와, 상기 기판 상의 광차단막에 레이저를 공급하는 레이저 광원과, 상기 레이저 광원으로부터의 광을 안정화하는 레이저 파워 컨트롤러와, 상기 레이저 파워 컨트롤러로부터 출사된 레이저를 단속하는 셔터와, 상기 셔터를 통과한 광을 전달하는 광파이버와, 상기 광파이버를 통해 전달된 광을 외부로 전달하는 가공 헤드;상기 가공 헤드를 직교 좌표 방향으로 이동시키는 X-스테이지와, 상기 가공 헤드 하단부에 구비되는 대물렌즈 및, 상기 대물렌즈와 상기 광차단막 사이의 간격 조절을 하는 자동초점조절장치를 포함한다.
또한, 이를 위한 본 발명의 기판 결함 검출용 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 방법은, 실리콘 기판의 내부 결함 검출에 이용되는 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 방법에 있어서, 실리콘 기판 상에 실리콘 산화막을 형성하는 단계와, 상기 실리콘 산화막 상에 광차단막을 형성하는 단계와, 상기 광차단막에 직접 레이저 묘화 방식으로 광을 조사하여 광차단막의 물성을 변화시키는 단계와, 상기 광 조사에 의해 물성 변화가 발생한 광차단막에 대한 식각 공정을 진행하여 광에 노출되지 않은 광차단막을 제거하는 단계를 포함한다.
직접 레이저 묘화, 기판, 실리콘, 광차단막, 식각액
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