公开(公告)号：KR102077819B1

公开(公告)日：2020-02-14

申请号：KR1020180045450

申请日：2018-04-19

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 성명모 ,  정진원 ,  박진선 ,  김홍범

IPC: H01L51/05 ,  H01L21/285 ,  H01L21/02 ,  H01L29/66

公开(公告)号：KR101820237B1

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：KR1020160052633

申请日：2016-04-29

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 한규석 ,  김홍범 ,  성명모

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  C23C16/52 ,  C23C16/14

CPC classification number: C23C16/14 ,  C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52

Abstract: 가압식금속단원층제조방법이제공된다. 본발명의일 실시예에따른가압식금속단원자층제조방법은, 기판이마련된챔버내를밀폐시킨상태에서, 금속전구체로이루어진금속전구체가스를제공함으로써, 상기챔버내의압력을증가시켜, 상기금속전구체를상기기판에흡착시키는금속전구체가스가압도징(dosing) 단계, 상기금속전구체가압도징단계이후, 퍼지시키는메인퍼징(main purging) 단계, 상기메인퍼징단계후에, 반응가스를제공하여, 상기기판에흡착된금속전구체를금속단원자층으로환원하는반응가스도징단계및 상기반응가스도징단계이후, 퍼지시키는메인퍼징단계를포함하여이루어질수 있다.

Abstract translation: 提供了一种用于制造加压金属单层的方法。 根据本发明的一个实施例中，在密封所述室基底的状态下加压金属部jacheung制造方法形成，通过提供由金属前体的金属前体气体，在所述腔室增加压力，金属前体 要被吸附在基板上的金属前体气体在重写步骤和主净化步骤之后经历主净化步骤，其中净化金属前体气体， 以及在将金属前体还原成金属单质元素层的反应气体定量供给步骤和反应气体定量供给步骤之后清洗吸附的金属前体的主净化步骤。

公开(公告)号：KR101777973B1

公开(公告)日：2017-09-27

申请号：KR1020160106242

申请日：2016-08-22

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 한규석 ,  성명모

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/40 ,  G09F9/30 ,  H01L51/50 ,  H05B33/02 ,  C09K11/06

Abstract: 무기막구조체가제공된다. 상기무기막구조체는, 금속산화물, 및상기금속산화물의금속원소와결합된링킹원소(linking atom)를포함하는유기링킹물질(organic linking material)을포함한다.

Abstract translation: 提供无机膜结构。 无机膜结构包括含有金属氧化物和与金属氧化物的金属元素键合的连接原子的有机连接材料。

公开(公告)号：KR1020150026747A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：KR1020140018155

申请日：2014-02-17

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 성명모 ,  한규석

IPC: C07F3/06 ,  C23C16/448 ,  C07F7/00 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L21/02112 ,  H01L21/02205 ,  H01L21/0226

Abstract: 본 발명은 유무기 혼성 박막 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 안정적인 새로운 작용기를 포함하는 유무기 혼성 박막 및 무기물 전구체 및 유기물 전구체를 교대로 사용하여 분자층 증착법을 포함하는 유무기 혼성 박막의 제조 방법에 관한 것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种有机/无机混合薄膜及其制造方法。 更具体地，本发明涉及包含稳定的新型官能团的有机/无机杂化薄膜以及通过交替使用无机前体和有机前体的包含分子层沉积技术的有机/无机杂化膜的制造方法。

公开(公告)号：KR1020130014323A

公开(公告)日：2013-02-07

申请号：KR1020120016991

申请日：2012-02-20

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 성명모 ,  한규석 ,  조상호 ,  한기복

IPC: C23C16/448 ,  H01L21/205 ,  C07F7/00 ,  G02F1/133

Abstract: PURPOSE: An organic-inorganic hybrid thin film and a manufacturing method thereof are provided to form an expanded structure with a strong covalent bond, thereby securing not only an excellent thermo-stability and a mechanical stability but also a high carrier-mobility. CONSTITUTION: A manufacturing method of an organic-inorganic hybrid thin film includes a step of interlaying an inorganic cross-linking layer with a conjugate organic polymer through MLD(Molecular Layer Deposition). The manufacturing method includes a step of binding the inorganic cross-linking layer on a substrate inside an MLD chamber, and a step of polymerizing HDD(Hexadiyne Diol) coupled to the inorganic cross-linking layer on the substrate with UV(ultraviolet) treatment. A process cycle is implemented at least one time. The organic polymer includes polyacethylene or vinyl ether-aleimide. The inorganic cross-linking layer includes a metallic oxide selected from a group of Zn, Al, Ti, Zr, Sn, Mn, Fe, Ni, Mo, and combination thereof. The organic-inorganic hybrid thin film is two dimensional.

Abstract translation: 目的：提供有机 - 无机杂化薄膜及其制造方法以形成具有强共价键的膨胀结构，由此不仅确保了优异的热稳定性和机械稳定性，而且确保了高载流子迁移率。 构成：有机 - 无机杂化薄膜的制造方法包括通过MLD（分子层沉积）将无机交联层与共轭有机聚合物层合的工序。 该制造方法包括将无机交联层与MLD室内的基板结合的步骤，以及通过UV（紫外线）处理在基板上与无机交联层结合的HDD（Hexadiyne Diol）进行聚合的工序。 至少一次执行流程周期。 有机聚合物包括聚亚乙基或乙烯基醚 - 马来酰亚胺。 无机交联层包括选自Zn，Al，Ti，Zr，Sn，Mn，Fe，Ni，Mo及其组合的金属氧化物。 有机 - 无机杂化薄膜是二维的。

公开(公告)号：KR1020100083026A

公开(公告)日：2010-07-21

申请号：KR1020090002378

申请日：2009-01-12

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 성명모 ,  황재권

IPC: H01L21/027 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C59/022 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/70425

Abstract: PURPOSE: A method for forming a micro pattern is provided to transfer a functional material pattern on a substrate by contacting a stamp with a pattern on the substrate with a liquid flow layer. CONSTITUTION: A stamp(10) with a pattern is prepared. A functional material(30) is selectively filled in the only intaglio part of the stamp. A substrate(40) to be transferred is prepared. A liquid flow layer(50) is formed by spraying solvents on the surface of the substrate. A functional material pattern is transferred on the substrate by contacting the stamp with the substrate. The stamp is separated from the substrate.

Abstract translation: 目的：提供一种用于形成微图案的方法，通过使印模与基板上的图案与液体流动层接触来将功能材料图案转印到基板上。 规定：制作带有图案的邮票（10）。 功能材料（30）选择性地填充在印模的唯一凹版部分中。 准备待转移的基板（40）。 通过在基材的表面上喷涂溶剂形成液体流动层（50）。 功能材料图案通过使印模与基板接触而转移到基板上。 邮票与基材分开。

公开(公告)号：KR102265038B1

公开(公告)日：2021-06-09

申请号：KR1020190160562

申请日：2019-12-05

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 성명모 ,  박진선 ,  김홍범 ,  윤홍로

IPC: H01L29/49 ,  H01L21/02 ,  H01L21/78 ,  H01L29/15

公开(公告)号：KR102214902B1

公开(公告)日：2021-02-15

申请号：KR1020180124390

申请日：2018-10-18

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 성명모 ,  김홍범 ,  박진선

IPC: C23C16/06 ,  C23C16/02 ,  C23C16/455 ,  C23C16/56

Abstract: 본발명의일 실시예에따르면, 기판이마련된챔버내의유출구를밀폐시킨상태에서, 전이금속증착을위한소스가스를제공함으로써, 상기챔버내의압력을증가시켜, 상기소스가스를상기밀폐된챔버내의상기기판에흡착시키는소스가스가압도징(dosing) 단계, 상기소스가스가압도징단계이후, 퍼지시키는제1 메인퍼징(main purging) 단계, 상기제1 메인퍼징단계후에, 반응가스를제공하는반응가스도징단계및 상기반응가스도징단계이후, 퍼지시키는제2 메인퍼징단계를포함할수 있다.

公开(公告)号：KR101882582B1

公开(公告)日：2018-07-26

申请号：KR1020160135916

申请日：2016-10-19

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 성명모 ,  백장미 ,  박경선

IPC: H01L29/06 ,  H01L21/02 ,  H01L21/56

Abstract: 나노소자의제조방법이제공된다. 상기나노소자의제조방법은마스터몰드(master mold)를준비하는제1 단계, 상기마스터몰드에잉크를제공하여적어도두 개이상의평행한나노선들을성장시키는제2 단계및 상기마스터몰드에성장된나노선들을기판에전사(transfer)하는제3 단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101712266B1

公开(公告)日：2017-03-06

申请号：KR1020150065921

申请日：2015-05-12

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 조보람 ,  성명모

IPC: B32B37/00 ,  B32B27/08 ,  B32B37/12

Abstract: 기판의접합방법이제공된다. 상기기판의접합방법은, 제1 플라스틱기판을준비하는단계, 상기제1 플라스틱기판상에제1 산화물층을포함하는제1 결합막(bonding layer)을형성하는단계, 상기제1 결합막상에용액을제공하여, 상기제1 산화물층을포함하는상기제1 결합막의적어도일부분을용해하는단계, 및적어도일부분이용해된상기제1 결합막상에제2 플라스틱기판을배치시켜, 상기제1 플라스틱기판및 상기제2 플라스틱기판을결합시키는단계를포함한다.