公开(公告)号：DE102016111909A1

公开(公告)日：2018-01-04

申请号：DE102016111909

申请日：2016-06-29

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： FRISCHMUTH TOBIAS ,  SCHMID ULRICH ,  SCHNEIDER MICHAEL ,  GRILLE THOMAS ,  MAURER DANIEL ,  HEDENIG URSULA ,  KAHN MARKUS ,  DENIFL GÜNTER

IPC: B81B7/02 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01L7/00 ,  G01Q70/02 ,  H04R1/00

Abstract: Eine mikromechanische Struktur in Übereinstimmung mit verschiedenen Ausführungsformen kann Folgendes enthalten: ein Substrat; und eine funktionale Struktur, die an dem Substrat angeordnet ist; wobei die funktionale Struktur einen funktionalen Bereich enthält, der in Bezug auf das Substrat in Reaktion auf eine Kraft, die auf den funktionalen Bereich wirkt, ablenkbar ist; und wobei wenigstens ein Abschnitt des funktionalen Bereichs einen Elastizitätsmodul im Bereich von etwa 5 GPa bis etwa 70 GPa aufweist.

公开(公告)号：DE102016208356B4

公开(公告)日：2017-09-07

申请号：DE102016208356

申请日：2016-05-13

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： DENIFL GUENTER ,  FRISCHMUTH TOBIAS ,  GRILLE THOMAS ,  HEDENIG URSULA ,  IRSIGLER PETER ,  KAHN MARKUS ,  MAURER DANIEL ,  SCHMID ULRICH ,  SCHNEIDER MICHAEL

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  H04R1/00

Abstract: Mikromechanische Struktur, umfassend: ein Substrat (12); und eine funktionale Struktur (14), die auf dem Substrat (12) angeordnet ist; wobei die funktionale Struktur (14) einen Funktionsbereich (16) umfasst, der mit Bezug auf das Substrat (12) als Reaktion auf eine Kraft (18), die auf den Funktionsbereich (16) wirkt, verformbar ist; wobei die funktionale Struktur (14) eine Kohlenstoffschichtanordnung (22) umfasst, wobei ein Basismaterial der Kohlenstoffschichtanordnung (22) ein Kohlenstoffmaterial ist, das Kohlenstoff ist; und wobei eine durchschnittliche Menge des Kohlenstoffmaterials basierend auf einem variierenden Grad einer Dotierung mit einem Dotierungsmaterial innerhalb des Kohlenstoffschichtmaterials entlang einer Dickenrichtung (24) der funktionalen Struktur (14) variiert.