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公开(公告)号：DE102016111909A1
公开(公告)日：2018-01-04
申请号：DE102016111909
申请日：2016-06-29
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： FRISCHMUTH TOBIAS , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL , GRILLE THOMAS , MAURER DANIEL , HEDENIG URSULA , KAHN MARKUS , DENIFL GÜNTER
Abstract: Eine mikromechanische Struktur in Übereinstimmung mit verschiedenen Ausführungsformen kann Folgendes enthalten: ein Substrat; und eine funktionale Struktur, die an dem Substrat angeordnet ist; wobei die funktionale Struktur einen funktionalen Bereich enthält, der in Bezug auf das Substrat in Reaktion auf eine Kraft, die auf den funktionalen Bereich wirkt, ablenkbar ist; und wobei wenigstens ein Abschnitt des funktionalen Bereichs einen Elastizitätsmodul im Bereich von etwa 5 GPa bis etwa 70 GPa aufweist.
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公开(公告)号：DE102016208356B4
公开(公告)日：2017-09-07
申请号：DE102016208356
申请日：2016-05-13
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DENIFL GUENTER , FRISCHMUTH TOBIAS , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , IRSIGLER PETER , KAHN MARKUS , MAURER DANIEL , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL
Abstract: Mikromechanische Struktur, umfassend: ein Substrat (12); und eine funktionale Struktur (14), die auf dem Substrat (12) angeordnet ist; wobei die funktionale Struktur (14) einen Funktionsbereich (16) umfasst, der mit Bezug auf das Substrat (12) als Reaktion auf eine Kraft (18), die auf den Funktionsbereich (16) wirkt, verformbar ist; wobei die funktionale Struktur (14) eine Kohlenstoffschichtanordnung (22) umfasst, wobei ein Basismaterial der Kohlenstoffschichtanordnung (22) ein Kohlenstoffmaterial ist, das Kohlenstoff ist; und wobei eine durchschnittliche Menge des Kohlenstoffmaterials basierend auf einem variierenden Grad einer Dotierung mit einem Dotierungsmaterial innerhalb des Kohlenstoffschichtmaterials entlang einer Dickenrichtung (24) der funktionalen Struktur (14) variiert.
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公开(公告)号：DE102017109575B4
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：DE102017109575
申请日：2017-05-04
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DORFMEISTER MANUEL , DEHE ALFONS , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , KALTENBACHER MANFRED , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL
IPC: H04R7/24 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81B7/04 , B81C1/00 , B82B3/00 , H04R3/00 , H04R17/00 , H04R31/00
Abstract: Mikroelektromechanische Vorrichtung (300A), die Folgendes umfasst:ein Substrat (102);eine Membran (110), die mechanisch mit dem Substrat (102) gekoppelt ist, wobei die Membran (110) einen nicht direkt belasteten Bereich (114) und einen belasteten Bereich (112) umfasst, um die Membran (110) in eine von zwei geometrisch stabilen Positionen auszubauchen, wobei der belastete Bereich (112) durch eine vorbelastete Schicht, die mit einer Oberfläche der Membran (110) mechanisch gekoppelt ist,und/oder durch Dotieren der Membran (110) mit einem strukturellen Dotiermaterial erzeugt wird und wobei in dem unbelasteten Bereich (114) die vorbelastete Schicht bzw. das strukturelle Dotiermaterial fehlt, wobei die vorbelastete Schicht eine vorgespannte Schicht oder eine Schicht mit definierter Schichtspannung ist;einen Aktuator (120), der mechanisch mit der Membran (110) gekoppelt ist, wobei der Aktuator (120) eine piezoelektrische Schicht (124) über der Membran (110) umfasst; undeine Steuervorrichtung (150), die ausgebildet ist, um ein elektrisches Steuersignal als Antwort auf ein digitales Schalleingangssignal bereitzustellen;wobei der Aktuator (120) ausgebildet ist, um das elektrische Steuersignal zu empfangen, um über die piezoelektrische Schicht (124) eine mechanische piezoelektrische Kraft auf die Membran (110) auszuüben, um die Membran (110) zu bewegen, um eine Schallwelle zu erzeugen.
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公开(公告)号：DE102015213756B4
公开(公告)日：2018-10-25
申请号：DE102015213756
申请日：2015-07-21
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DENIFL GUENTER , FRISCHMUTH TOBIAS , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , IRSIGLER PETER , KAHN MARKUS , MAURER DANIEL , SCHMID ULRICH
Abstract: Mikromechanische Struktur (10, 20, 30), umfassend:ein Substrat (12); undeine funktionelle Struktur (14), die auf dem Substrat (12) angeordnet ist;wobei die funktionelle Struktur (14) ein funktionelles Gebiet (16) umfasst, das ausgelegt ist, in Bezug auf das Substrat (12) ansprechend auf eine Kraft (18), die auf das funktionelle Gebiet (16) einwirkt, ausgelenkt zu werden;wobei die funktionelle Struktur (14) eine leitfähige Basisschicht (22; 22a-b) umfasst;wobei die funktionelle Struktur (14) eine Versteifungsstruktur (24; 24a-e) mit einem Versteifungsstrukturmaterial umfasst, die auf der leitfähigen Basisschicht (22; 22a-b) angeordnet ist und die leitfähige Basisschicht (22; 22a-b) in dem funktionellen Gebiet (16) nur teilweise bedeckt; undwobei das Versteifungsstrukturmaterial ein Silicium-Material und wenigstens ein Kohlenstoff-Material umfasstwobei das Versteifungsstrukturmaterial eine Mehrzahl von Konzentrationswerten in Bezug auf die Kohlenstoff-Konzentration entlang einer Dickenrichtung (26) der Versteifungsstruktur umfasst; undwobei die Materialkonzentration entlang der Dickenrichtung (26) variiert.
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公开(公告)号：DE102015213757B4
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：DE102015213757
申请日：2015-07-21
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DENIFL GUENTER , FRISCHMUTH TOBIAS , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , IRSIGLER PETER , KAHN MARKUS , MAURER DANIEL , SCHMID ULRICH
Abstract: Mikromechanische Struktur, umfassend: ein Substrat; und eine funktionelle Struktur, die auf dem Substrat angeordnet ist; wobei die funktionelle Struktur ein funktionelles Gebiet umfasst, das in Bezug auf das Substrat ansprechend auf eine Kraft, die auf das funktionelle Gebiet einwirkt, auslenkbar ist; wobei die funktionelle Struktur eine leitfähige Basisschicht umfasst, die ein leitfähiges Basisschichtmaterial aufweist; und wobei das leitfähige Basisschichtmaterial sektional in einer Versteifungssektion ein Kohlenstoff-Material umfasst, so dass eine Kohlenstoff-Konzentration des Kohlenstoff-Materials im leitfähigen Basisschichtmaterial wenigstens 1014 Teilchen pro cm3 beträgt und wenigstens um einen Faktor von 103 höher ist als im leitfähigen Basisschichtmaterial angrenzend an die Versteifungssektion; wobei die Versteifungssektion ein integraler Bestandteil der leitfähigen Basisschicht ist, so dass die Versteifungssektion dieselbe Dicke aufweist wie die leitfähige Basisschicht angrenzend an die Versteifungssektion innerhalb eines Toleranzbereichs, so dass eine relative Dickenvariation kleiner ist, als 10%.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：DE102017126644A1
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：DE102017126644
申请日：2017-11-13
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , DORFMEISTER MANUEL , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL
Abstract: Es werden Membranelementanordnungen mit mindestens einem bistabilen Membranelement, welches einen ersten stabilen Zustand und einen zweiten stabilen Zustand aufweist, sowie entsprechende Verfahren bereitgestellt. Dabei können bistabile Membranelement oberhalb einer Umschaltschwelle zum Umschalten zwischen dem ersten und dem zweiten stabilen Zustand oder unterhalb der Umschaltschwelle angesteuert werden.
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公开(公告)号：DE102016115260B3
公开(公告)日：2018-02-08
申请号：DE102016115260
申请日：2016-08-17
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： SCHMID ULRICH , DEHE ALFONS , DORFMEISTER MANUEL , SCHNEIDER MICHAEL
IPC: H04R17/02 , H01L41/04 , H01L41/113 , H04R31/00
Abstract: Ein Schallwellensensor kann aufweisen: eine durchgehende Membran, welche durch zu detektierende Schallwellen auslenkbar ist, und eine piezoelektrische Schicht, welche auf der Membran bereitgestellt ist und eine Mehrzahl von piezoelektrischen Schichtabschnitten aufweist, welche jeweils mit wenigstens zwei individuellen elektrischen Kontaktstrukturen ausgestattet sind, welche dazu eingerichtet sind, die entsprechenden piezoelektrischen Schichtabschnitte elektrische zu kontaktieren. Elektrische Kontaktstrukturen, welche unterschiedlichen piezoelektrischen Schichtabschnitten zugeordnet sind, können getrennt voneinander sein.
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公开(公告)号：DE102017126644B4
公开(公告)日：2020-11-12
申请号：DE102017126644
申请日：2017-11-13
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , DORFMEISTER MANUEL , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL
IPC: H04R7/04 , B81B3/00 , B81B7/02 , G12B1/02 , H01L41/04 , H01L41/09 , H04R1/40 , H04R7/06 , H04R17/00 , H04R17/10
Abstract: Membranelementanordnung, umfassend:mindestens ein bistabiles Membranelement (50A-50E) mit einem ersten stabilen Zustand und einem zweiten stabilen Zustand, undeine Steuerung (22) zum Ansteuern des mindestens einen Membranelements (50A-50E),wobei die Steuerung (22) eingerichtet ist, ein Membranelement (50C, 50D) des mindestens einen bistabilen Membranelements mit einem Steuersignal oberhalb einer Umschaltschwelle zum Umschalten zwischen dem ersten stabilen Zustand und dem zweiten stabilen Zustand anzusteuern, unddas Membranelement oder ein weiteres Membranelement (50A, 50B) des mindestens einen bistabilen Membranelements mit einem Ansteuersignal, dessen Amplitude über mehrere Perioden des Ansteuersignals unterhalb der Umschaltschwelle liegt, anzusteuern.
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公开(公告)号：DE102017214630A1
公开(公告)日：2019-02-28
申请号：DE102017214630
申请日：2017-08-22
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , DORFMEISTER MANUEL , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL
Abstract: Ein MEMS weist ein Substrat und eine an dem Substrat aufgehängte Membran auf, die in einem ersten stabilen Auslenkungszustand und in einem zweiten stabilen Auslenkungszustand auslenkbar ist. Das MEMS umfasst einen Aktuator, der ausgebildet ist, um die Membran aus dem ersten oder zweiten stabilen Auslenkungszustand zu bewegen. Das MEMS umfasst ferner einen Sensor, der ausgebildet ist, um eine durch den Aktuator bewirkte Bewegung der Membran zu erfassen, und um ein Sensorsignal auszugeben, das eine Auslenkinformation aufweist, die auf der Bewegung basiert. Das MEMS umfasst ferner eine Auswerteeinrichtung, die ausgebildet ist, um die Auslenkinformation auszuwerten, um eine Zustandsinformation der Membran zu erhalten.
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公开(公告)号：DE102017106256A1
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：DE102017106256
申请日：2017-03-23
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , BELAHURAU YAUHENI , DORFMEISTER MANUEL , GLACER CHRISTOPH , KALTENBACHER MANFRED , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL , TUMPOLD DAVID
Abstract: Ein mikroelektromechanischer Lautsprecher kann Folgendes umfassen: mehrere elementare Lautsprecher, die jeweils eine Ansteuereinheit und eine durch die Ansteuereinheit auslenkbare Membran umfassen, und einen Controller, der dazu ausgelegt ist, jeweils Steuersignale an die Ansteuereinheiten zu liefern. Die Ansteuereinheiten können jeweils dazu ausgelegt sein, die entsprechenden Membrane gemäß den jeweiligen Steuersignalen, die von dem Controller geliefert werden, auszulenken, um akustische Wellen zu erzeugen. Ein Steuersignal, das an mindestens eine Ansteuereinheit geliefert wird, kann mindestens ein lokales Extremum aufweisen, und ein globales Extremum einer Krümmung des Steuersignals mit einem höchsten absoluten Wert der Krümmung kann sich an einer Position des Steuersignals befinden, die einer Position des mindestens einen lokalen Extremums des Steuersignals vorangeht.
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