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公开(公告)号：DE102015213757A1
公开(公告)日：2016-02-04
申请号：DE102015213757
申请日：2015-07-21
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DENIFL GUENTER , FRISCHMUTH TOBIAS , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , IRSIGLER PETER , KAHN MARKUS , MAURER DANIEL , SCHMID ULRICH
Abstract: Eine mikromechanische Struktur umfasst ein Substrat und eine funktionelle Struktur, die auf dem Substrat angeordnet ist. Die funktionelle Struktur umfasst ein funktionelles Gebiet, das in Bezug auf das Substrat ansprechend auf eine Kraft, die auf das funktionelle Gebiet einwirkt, auslenkbar ist. Die funktionelle Struktur umfasst ferner eine leitfähige Basisschicht, die ein leitfähiges Basisschichtmaterial aufweist. Die leitfähige Basisschicht umfasst sektional in einer Versteifungssektion ein Kohlenstoff Material, so dass eine Kohlenstoff Konzentration des Kohlenstoff Materials im leitfähigen Basisschichtmaterial wenigstens 1014 pro cm3 beträgt und wenigstens um einen Faktor von 103 höher ist als im leitfähigen Basisschichtmaterial angrenzend an die Versteifungssektion.
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公开(公告)号：DE102015213756B4
公开(公告)日：2018-10-25
申请号：DE102015213756
申请日：2015-07-21
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DENIFL GUENTER , FRISCHMUTH TOBIAS , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , IRSIGLER PETER , KAHN MARKUS , MAURER DANIEL , SCHMID ULRICH
Abstract: Mikromechanische Struktur (10, 20, 30), umfassend:ein Substrat (12); undeine funktionelle Struktur (14), die auf dem Substrat (12) angeordnet ist;wobei die funktionelle Struktur (14) ein funktionelles Gebiet (16) umfasst, das ausgelegt ist, in Bezug auf das Substrat (12) ansprechend auf eine Kraft (18), die auf das funktionelle Gebiet (16) einwirkt, ausgelenkt zu werden;wobei die funktionelle Struktur (14) eine leitfähige Basisschicht (22; 22a-b) umfasst;wobei die funktionelle Struktur (14) eine Versteifungsstruktur (24; 24a-e) mit einem Versteifungsstrukturmaterial umfasst, die auf der leitfähigen Basisschicht (22; 22a-b) angeordnet ist und die leitfähige Basisschicht (22; 22a-b) in dem funktionellen Gebiet (16) nur teilweise bedeckt; undwobei das Versteifungsstrukturmaterial ein Silicium-Material und wenigstens ein Kohlenstoff-Material umfasstwobei das Versteifungsstrukturmaterial eine Mehrzahl von Konzentrationswerten in Bezug auf die Kohlenstoff-Konzentration entlang einer Dickenrichtung (26) der Versteifungsstruktur umfasst; undwobei die Materialkonzentration entlang der Dickenrichtung (26) variiert.
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公开(公告)号：DE102015213757B4
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：DE102015213757
申请日：2015-07-21
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DENIFL GUENTER , FRISCHMUTH TOBIAS , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , IRSIGLER PETER , KAHN MARKUS , MAURER DANIEL , SCHMID ULRICH
Abstract: Mikromechanische Struktur, umfassend: ein Substrat; und eine funktionelle Struktur, die auf dem Substrat angeordnet ist; wobei die funktionelle Struktur ein funktionelles Gebiet umfasst, das in Bezug auf das Substrat ansprechend auf eine Kraft, die auf das funktionelle Gebiet einwirkt, auslenkbar ist; wobei die funktionelle Struktur eine leitfähige Basisschicht umfasst, die ein leitfähiges Basisschichtmaterial aufweist; und wobei das leitfähige Basisschichtmaterial sektional in einer Versteifungssektion ein Kohlenstoff-Material umfasst, so dass eine Kohlenstoff-Konzentration des Kohlenstoff-Materials im leitfähigen Basisschichtmaterial wenigstens 1014 Teilchen pro cm3 beträgt und wenigstens um einen Faktor von 103 höher ist als im leitfähigen Basisschichtmaterial angrenzend an die Versteifungssektion; wobei die Versteifungssektion ein integraler Bestandteil der leitfähigen Basisschicht ist, so dass die Versteifungssektion dieselbe Dicke aufweist wie die leitfähige Basisschicht angrenzend an die Versteifungssektion innerhalb eines Toleranzbereichs, so dass eine relative Dickenvariation kleiner ist, als 10%.
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公开(公告)号：DE102016111909B4
公开(公告)日：2020-08-13
申请号：DE102016111909
申请日：2016-06-29
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： FRISCHMUTH TOBIAS , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL , GRILLE THOMAS , MAURER DANIEL , HEDENIG URSULA , KAHN MARKUS , DENIFL GÜNTER
Abstract: Mikromechanische Struktur, die Folgendes umfasst:ein Substrat (102); undeine funktionale Struktur (104), die an dem Substrat (102) angeordnet ist;wobei die funktionale Struktur (104) einen funktionalen Bereich (104r) umfasst, der in Bezug auf das Substrat (102) in Reaktion auf eine Kraft, die auf den funktionalen Bereich (104r) wirkt, ablenkbar ist;wobei der funktionale Bereich (104r) ein Grundmaterial umfasst;wobei in wenigstens einem Abschnitt (106) des funktionalen Bereichs (104r) das Grundmaterial mit Fremdatomen dotiert ist, so dass ein Elastizitätsmodul und/oder eine mechanische Härte in dem wenigstens einen Abschnitt (106) niedriger ist im Vergleich zu einem Elastizitätsmodul und einer mechanischen Härte in einem weiteren Abschnitt (108) des funktionalen Bereichs (104r), der nicht mit den Fremdatomen oder weniger als der wenigstens eine Abschnitt (106) dotiert ist,wobei der funktionale Bereich (104r) einen seitlichen Gradienten in dem Elastizitätsmodul und/oder der mechanischen Härte zwischen dem wenigstens einen Abschnitt (106) und dem weiteren Abschnitt (108) aufweist, undwobei die Fremdatome wenigstens eines aus den folgenden Materialien umfassen: Phosphor, Kohlenstoff, Stickstoff, Sauerstoff, Bor, Fluor, Gallium, Germanium, Arsen.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：DE102016208356A1
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：DE102016208356
申请日：2016-05-13
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DENIFL GUENTER , FRISCHMUTH TOBIAS , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , IRSIGLER PETER , KAHN MARKUS , MAURER DANIEL , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL
Abstract: Eine mikromechanische Struktur umfasst ein Substrat und eine funktionale Struktur, die auf dem Substrat angeordnet ist. Die funktionale Struktur umfasst einen Funktionsbereich, der mit Bezug auf das Substrat als Reaktion auf eine Kraft, die auf den Funktionsbereich wirkt, verformbar ist. Die funktionale Struktur umfasst eine Kohlenstoffschichtanordnung, wobei ein Basismaterial der Kohlenstoffschichtanordnung ein Kohlenstoffmaterial ist.
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公开(公告)号：DE102015213756A1
公开(公告)日：2016-02-04
申请号：DE102015213756
申请日：2015-07-21
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DENIFL GUENTER , FRISCHMUTH TOBIAS , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , IRSIGLER PETER , KAHN MARKUS , MAURER DANIEL , SCHMID ULRICH
Abstract: Eine mikromechanische Struktur umfasst ein Substrat und eine funktionelle Struktur, die auf dem Substrat angeordnet ist. Die funktionelle Struktur weist ein funktionelles Gebiet auf das ausgelegt ist, in Bezug auf das Substrat ansprechend auf eine Kraft, die auf das funktionelle Gebiet einwirkt, ausgelenkt zu werden. Die funktionelle Struktur umfasst eine leitfähige Basisschicht und eine funktionelle Struktur, welche eine Versteifungsstruktur mit einem Versteifungsstrukturmaterial umfasst, die auf der leitfähigen Basisschicht angeordnet ist und die leitfähige Basisschicht in dem funktionellen Gebiet nur teilweise bedeckt. Das Versteifungsstrukturmaterial umfasst ein Silicium-Material und wenigstens ein Kohlenstoff-Material.
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公开(公告)号：DE102015108079A1
公开(公告)日：2015-11-26
申请号：DE102015108079
申请日：2015-05-21
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： FIGUEIRA DA SILVA SYLVICLEY , SILVANO DE SOUSA JONATHAN , FRISCHMUTH TOBIAS , HEDENIG URSULA , GRILLE THOMAS , IRSIGLER PETER , SCHMID ULRICH
Abstract: Hierin offenbarte verschiedene Ausführungsformen umfassen ein kapazitives Thermometer, das eine auslenkbare Membran und eine Erfassungselektrode umfasst. Die auslenkbare Membran ist ausgelegt, einen kapazitiven Wert auf der Grundlage einer Temperatur der auslenkbaren Membran anzupassen.
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公开(公告)号：DE102016111909A1
公开(公告)日：2018-01-04
申请号：DE102016111909
申请日：2016-06-29
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： FRISCHMUTH TOBIAS , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL , GRILLE THOMAS , MAURER DANIEL , HEDENIG URSULA , KAHN MARKUS , DENIFL GÜNTER
Abstract: Eine mikromechanische Struktur in Übereinstimmung mit verschiedenen Ausführungsformen kann Folgendes enthalten: ein Substrat; und eine funktionale Struktur, die an dem Substrat angeordnet ist; wobei die funktionale Struktur einen funktionalen Bereich enthält, der in Bezug auf das Substrat in Reaktion auf eine Kraft, die auf den funktionalen Bereich wirkt, ablenkbar ist; und wobei wenigstens ein Abschnitt des funktionalen Bereichs einen Elastizitätsmodul im Bereich von etwa 5 GPa bis etwa 70 GPa aufweist.
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公开(公告)号：DE102016208356B4
公开(公告)日：2017-09-07
申请号：DE102016208356
申请日：2016-05-13
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DENIFL GUENTER , FRISCHMUTH TOBIAS , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , IRSIGLER PETER , KAHN MARKUS , MAURER DANIEL , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL
Abstract: Mikromechanische Struktur, umfassend: ein Substrat (12); und eine funktionale Struktur (14), die auf dem Substrat (12) angeordnet ist; wobei die funktionale Struktur (14) einen Funktionsbereich (16) umfasst, der mit Bezug auf das Substrat (12) als Reaktion auf eine Kraft (18), die auf den Funktionsbereich (16) wirkt, verformbar ist; wobei die funktionale Struktur (14) eine Kohlenstoffschichtanordnung (22) umfasst, wobei ein Basismaterial der Kohlenstoffschichtanordnung (22) ein Kohlenstoffmaterial ist, das Kohlenstoff ist; und wobei eine durchschnittliche Menge des Kohlenstoffmaterials basierend auf einem variierenden Grad einer Dotierung mit einem Dotierungsmaterial innerhalb des Kohlenstoffschichtmaterials entlang einer Dickenrichtung (24) der funktionalen Struktur (14) variiert.
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