公开(公告)号：JP2015216368A

公开(公告)日：2015-12-03

申请号：JP2015087150

申请日：2015-04-21

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 小松 裕之 ,  成岡 岳彦 ,  峯岸 信也 ,  酒井 香織 ,  永井 智樹

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B05D3/064 ,  C09D125/14 ,  H01L21/027 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/3065 ,  C08L2201/56

Abstract: 【課題】自己組織化リソグラフィープロセスにおいて、自己組織化による相分離構造を良好に形成させ、かつ矩形のパターンを形成させることができる下地用組成物を提供する。 【解決手段】下地102として、オキソ酸基を有する化合物、及び溶媒を含有することを特徴とする。上記化合物は、下記式(1)で表されることが好ましい。式(1)中、Aは、炭素数10以上のn価の有機基である。Bは、オキソ酸基である。nは、1〜200の整数である。上記オキソ酸基としては、リン酸基、ホスホノ基、スルホ基、硫酸基及びカルボキシ基からなる群より選択される少なくとも1種が好ましい。酸発生剤をさらに含有することが好ましい。 【選択図】図4

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于碱的组合物，其能够在自结构光刻工艺中根据自组织和形成矩形图案令人满意地形成相分离结构。解决方案：用于碱的组合物包括 具有含氧酸基的化合物和碱102的溶剂。该化合物优选由下式（1）表示。 式（1）中，A表示碳原子数为10以上的n价有机基团， B代表含氧酸基团; n为1-200的整数。 氧代酸基优选为选自磷酸基，膦酰基，磺基，硫酸基和羧基中的至少一种基团。 优选组合物还包含氧发生剂。

公开(公告)号：JP2014236148A

公开(公告)日：2014-12-15

申请号：JP2013117833

申请日：2013-06-04

Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  Tokyo Electron Ltd

Inventor： FUSE SATOSHI ,  SHIBUYA SETSUKO

IPC: H01L21/31 ,  C23C16/48 ,  H01L21/312

CPC classification number: B05C9/12 ,  B05D1/60 ,  B05D3/063 ,  B05D3/064 ,  B05D3/067 ,  B05D7/02 ,  C23C16/45536

Abstract: 【課題】適用される被処理体や、形成される膜表面の性状の自由度の高い有機分子膜の形成装置および形成方法を提供する。【解決手段】被処理体上に有機分子膜を形成する有機分子膜の形成装置100は、被処理体を収容する処理チャンバ11と、処理チャンバ11内に有機材料ガスを供給する有機材料ガス供給部2と、被処理体、および/または、被処理体に供給される有機材料ガス、および/または、被処理体の表面に形成された膜に紫外線を照射する紫外線照射部13とを有し、紫外線照射部13により、被処理体、および/または、被処理体に供給される有機材料ガス、および/または、被処理体の表面に形成された膜に紫外線を照射し、被処理体表面および/または形成される有機分子膜を活性化する。【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种形成有机分子膜的装置，其中所述有机分子膜的自由度高，可以由其加工而成的被处理物的自由度，以及膜表面的特性的自由度形成 有机分子膜; 以及形成有机分子膜的方法。解决方案：用于在待处理物体上形成有机分子膜的装置100包括：加工对象物的处理室11; 用于将有机材料气体供给到处理室11中的有机材料气体供给部2; 以及用于照射待处理物体的被加工物的供给到被处理物的有机材料的紫外线照射部13和形成在被处理物的表面上的膜，一次至三个具有紫外线的物体 光。 紫外线照射部13照射被处理物的一个至三个物体，供给到被处理物的有机材料气体和用紫外线在被处理体的表面上形成的膜，从而激活 待处理物体的表面和/或形成的有机分子膜。

公开(公告)号：US20170113249A1

公开(公告)日：2017-04-27

申请号：US15301528

申请日：2015-04-03

Applicant: Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives

Inventor： Pascal Viel ,  Thomas Berthelot ,  Xavier Lefevre ,  Jérôme Polesel Maris

IPC: B05D7/24 ,  B05D3/12 ,  B05D3/10 ,  B05D3/06

CPC classification number: B05D7/24 ,  B05D1/18 ,  B05D3/0254 ,  B05D3/064 ,  B05D3/067 ,  B05D3/101 ,  B05D3/108 ,  B05D3/12 ,  B05D7/02 ,  B05D2201/00 ,  B05D2203/00 ,  C23C18/1658 ,  C23C18/1831 ,  C23C18/1889 ,  C23C18/1893 ,  C23C18/2066 ,  C23C18/208 ,  C23C18/2086 ,  C23C18/30 ,  C23C18/36 ,  C23C18/38 ,  C23C18/40

Abstract: The invention relates to a method for functionalising a surface of a solid substrate with at least one acrylic acid polymer layer, said method including the steps of: i) placing the surface in contact with a solution having of at least one acrylic acid homopolymer, a solvent and, optionally, metal salts; ii) removing the solvent from the solution in contact with the surface; and iii) binding the polymer to the surface by thermal treatment.

公开(公告)号：US20150064340A1

公开(公告)日：2015-03-05

申请号：US14301643

申请日：2014-06-11

Applicant: Seamus Curran ,  Nigel Alley ,  Kang-Shyang Liao ,  Amrita Haldar

Inventor： Seamus Curran ,  Nigel Alley ,  Kang-Shyang Liao ,  Amrita Haldar

IPC: C23C16/02 ,  C23C16/52 ,  C23C16/458 ,  C23C16/50 ,  C23C16/44 ,  C23C16/452

CPC classification number: C23C16/02 ,  B05D1/60 ,  B05D3/064 ,  B05D3/142 ,  B05D5/08 ,  C03C17/30 ,  C03C2218/31 ,  C23C14/12 ,  C23C16/0227 ,  C23C16/44 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/448 ,  C23C16/452 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/458 ,  C23C16/482 ,  C23C16/50 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545 ,  D06B1/08 ,  D06M10/025 ,  D06M10/04

Abstract: A system and method for depositing a coating may comprise a coating chemical reactor, surface activation component, and a deposition component. A target surface may be prepared for deposition with the surface activation component. The coating chemical reactor may comprise a coating chemical dispenser and a coating chemical verifier that prepares the coating chemical for deposition. The coating chemical verifier may utilize an optical excitation source and at least one optical detector, wherein chemical substances are identified by unique signatures composed of binary code. The coating chemical may be received by the deposition component to depositing the coating chemical on the target surface.

Abstract translation: 用于沉积涂层的系统和方法可以包括涂层化学反应器，表面活化组分和沉积组分。 可以制备目标表面用于与表面活化组分沉积。 涂层化学反应器可以包括涂料化学分配器和涂覆化学验证器，其准备用于沉积的涂料化学品。 涂层化学验证者可以利用光学激发源和至少一个光学检测器，其中通过由二进制代码构成的唯一签名识别化学物质。 涂层化学品可以被沉积组分接收以将涂覆化学品沉积在靶表面上。

公开(公告)号：US07695775B2

公开(公告)日：2010-04-13

申请号：US11295129

申请日：2005-12-05

Applicant: Boris Kobrin ,  Jeffrey D. Chinn ,  Romuald Nowak

Inventor： Boris Kobrin ,  Jeffrey D. Chinn ,  Romuald Nowak

IPC: H05H1/00 ,  B05D3/04 ,  B05D3/10 ,  B05D3/06

CPC classification number: B05D1/60 ,  B05D3/064 ,  B82Y30/00

Abstract: We have developed an improved vapor-phase deposition method and apparatus for the application of layers and coatings on various substrates. The method and apparatus are useful in the fabrication of biofunctional devices, Bio-MEMS devices, and in the fabrication of microfluidic devices for biological applications. In one important embodiment, a siloxane substrate surface is treated using a combination of ozone and UV radiation to render the siloxane surface more hydrophilic, and subsequently a functional coating is applied in-situ over the treated surface of the siloxane substrate.

Abstract translation: 我们已经开发了一种改进的气相沉积方法和装置，用于在各种基底上施加层和涂层。 该方法和装置可用于制造生物功能装置，生物MEMS装置以及制造用于生物应用的微流体装置。 在一个重要的实施方案中，使用臭氧和UV辐射的组合处理硅氧烷底物表面，以使硅氧烷表面更亲水，随后在硅氧烷底物的处理表面上原位施加功能性涂层。

公开(公告)号：US07094451B2

公开(公告)日：2006-08-22

申请号：US10289986

申请日：2002-11-07

Applicant: Lawrence T. Drzal ,  Praveen Tummala

Inventor： Lawrence T. Drzal ,  Praveen Tummala

IPC: B05D3/06 ,  C23C18/14

CPC classification number: B05D3/062 ,  B05D3/063 ,  B05D3/064 ,  B05D3/101 ,  B05D3/102 ,  B05D3/104 ,  B29C59/16 ,  B29C2035/0827 ,  C03C25/6226 ,  C04B41/0045 ,  C08J7/12 ,  D01F11/122 ,  G21K5/10 ,  H01B1/04

Abstract: A method using irradiation with optical light in the presence of a chemical dissolved in a solvent which chemical reacts with the surface in the presence of the irradiation to modify the surface (12A, 104A, 202A, 304A, 402A, 502A) of a substrate (12, 104, 202, 304, 402, 502) is described. The light can be pulsed or continuous. The method is significantly enhanced by the presence of water (14, 124, 204, 308, 410, 508) as the solvent containing the dissolved chemical on the surface. The treated surfaces are more paintable and bondable.

Abstract translation: 在溶解在溶剂中的化学物质存在下使用光照射的方法，该化学反应在存在辐射的情况下与表面发生化学反应以改变表面（12A，104A，202A，304A，402A，502 A）的衬底（12,104,202,304,402,502）。 光可以是脉冲或连续的。 通过存在水（14,124,204,308,410,508）作为含有表面上溶解的化学物质的溶剂，该方法显着增强。 经处理的表面更可涂漆和粘合。

公开(公告)号：US20030194506A1

公开(公告)日：2003-10-16

申请号：US10289986

申请日：2002-11-07

Applicant: Board of Trustees of MICHIGAN STATE UNIVERSITY

Inventor： Lawrence T. Drzal ,  Praveen Tummala

IPC: B05D003/00

CPC classification number: B05D3/062 ,  B05D3/063 ,  B05D3/064 ,  B05D3/101 ,  B05D3/102 ,  B05D3/104 ,  B29C59/16 ,  B29C2035/0827 ,  C03C25/6226 ,  C04B41/0045 ,  C08J7/12 ,  D01F11/122 ,  G21K5/10 ,  H01B1/04

Abstract: A method using irradiation with optical light in the presence of a chemical dissolved in a solvent which chemical reacts with the surface in the presence of the irradiation to modify the surface (12A, 104A, 202A, 304A, 402A, 502A) of a substrate (12, 104, 202, 304, 402, 502) is described. The light can be pulsed or continuous. The method is significantly enhanced by the presence of water (14, 124, 204, 306, 410, 508) as the solvent containing the dissolved chemical on the surface. The treated surfaces are more paintable and bondable.

Abstract translation: 在溶解于溶剂中的化学物质存在下使用光学照射的方法，该化学物质在辐射存在下与表面发生化学反应，从而改变表面（ 衬底（ A，高亮显示> ， > 12,104,202,304,402,502 ）。 光可以是脉冲或连续的。 作为含有表面上溶解的化学物质的溶剂，该方法显着增强了水的存在（ 14,124,204,306,410,508 ）。 经处理的表面更可涂漆和粘合。