用于制造合成的石英玻璃晶粒的方法

    公开(公告)号:CN104271519B

    公开(公告)日:2017-11-14

    申请号:CN201380018310.X

    申请日:2013-03-20

    Abstract: 石英玻璃晶粒的制造包括:使热解制造的硅酸粒化以及形成SiO2颗粒(9)、通过在含卤素的气氛中加热来干燥并且净化SiO2‑颗粒(9)以及在处理气体中使SiO2‑颗粒玻化,该处理气体包含至少30%体积百分比的氦气和/或氢气。该过程是耗时和高成本的。为了说明从多孔的SiO2颗粒(9)出发使得能够廉价地制造适于熔化由石英玻璃制成的无气泡的部件的、紧密的合成石英玻璃晶粒的方法,按本发明提出,分别在转筒烘箱(1)的围绕中轴线(7)旋转的转筒(6)中进行SiO2颗粒(9)的净化和玻化以及玻化的石英玻璃晶粒的后处理,其中转筒(6)在玻化时具有由陶瓷材料制成的内壁,并且其中玻化的石英玻璃晶粒在包含少于20%的氦气或氢气的气氛中在300℃或更高的操作温度中并且在至少10分钟的操作持续时间中经历后处理。

    单晶硅提拉用二氧化硅容器及其制造方法

    公开(公告)号:CN103649383B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201380001605.6

    申请日:2013-01-22

    Inventor: 山形茂

    Abstract: 本发明是一种单晶硅提拉用二氧化硅容器,具有直筒部、弯曲部及底部,其特征在于,前述二氧化硅容器的外侧是由含有气泡的不透明二氧化硅玻璃所构成,前述二氧化硅容器的内侧是由实质上不含气泡的透明二氧化硅玻璃所构成;于前述底部的内表面,形成厚度20μm以上且1000μm以下的二氧化硅玻璃层,所述二氧化硅玻璃层以超过300质量ppm且3000质量ppm以下的浓度含有OH基。由此,本发明提供一种低成本的单晶硅提拉用二氧化硅容器,可减低所提拉的单晶硅中的被称为孔隙或针孔的空洞缺陷。

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