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公开(公告)号：CN102060432A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010546665.4
申请日：2010-11-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03B20/00
CPC classification number: G03F1/22 , C03B19/1423 , C03B2201/20 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/20 , C03C2201/42 , Y02P40/57
Abstract: 本发明涉及氧化钛和硫共掺杂的石英玻璃部件及其制造方法。特别地，提供了氧化钛和硫共掺杂的石英玻璃部件。由于氧化钛和硫的共掺杂，石英玻璃部件在一定温度下经历零膨胀并且在宽温度范围内经历低热膨胀，因此，石英玻璃部件适于用在可商购的EUV光刻工具中。还提供了用于EUV光刻的制备方法和光学部件。
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公开(公告)号：CN101639624A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200910158613.7
申请日：2009-07-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B23/0026 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/42 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , Y10T428/31616
Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃元件及制备方法，该石英玻璃元件具有反射至多70nm波长的EUV光的表面，其中该表面中的折射率分布在该元件的中心80％区域内仅具有一个极点。该掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有高精度水平的表面且因此可形成为平整度和热膨胀性能得到改善的EUV光刻法光掩模衬底。该石英玻璃元件的制备方法包括：提供掺杂二氧化钛的石英玻璃坯锭；在空气中于700-1300℃下将该坯锭保持1-200小时以退火；以1-20℃/h的速率将该坯锭缓慢冷却至500℃；将该坯锭置于在炉子中旋转的成型坩埚中，所述炉子的温度分布具有在1700℃下至少1.5℃/cm的温度梯度；在该坩埚中热加工该掺杂二氧化钛的石英玻璃。
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公开(公告)号：CN101553438A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200780001439.4
申请日：2007-11-29
Applicant: 东洋玻璃株式会社
IPC: C03B8/02 , C03B37/016
CPC classification number: C03B19/12 , C03B23/047 , C03B37/027 , C03B2201/30 , C03B2201/32 , C03B2201/40 , C03B2201/42 , C03B2203/26 , C03C1/006 , G02B3/0087 , Y02P40/57
Abstract: 一种GRIN透镜的制作方法及GRIN透镜，在利用溶胶－凝胶法的GRIN透镜的制作中，在以硅的醇盐、掺杂剂的醇盐及铝的醇盐为主要成分的醇溶液制作湿凝胶时，首先制作以硅的醇盐和铝的醇盐为主要成分的醇溶液，之后，将掺杂剂的醇盐与之混合。采用本发明，在利用溶胶－凝胶法的GRIN透镜的制作中，能防止母材的裂纹、分相，提高拔丝时的粘度，提高成品率，同时制得高开口数的GRIN透镜。
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公开(公告)号：CN1295169C
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN99815119.X
申请日：1999-04-09
Applicant: 纤维管有限公司
IPC: C03B23/047 , C03B37/027
CPC classification number: C03B37/01861 , C03B37/01413 , C03B37/01426 , C03B37/01466 , C03B37/01823 , C03B2201/02 , C03B2201/12 , C03B2201/28 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/42 , C03B2203/22
Abstract: 本发明提供制作光纤预型件的方法，包括：(a)提供由第一材料制成的靶子棒，第一材料是二氧化硅或掺杂有掺杂物的二氧化硅；(b)借助等离子体焊炬，同时在靶子棒上面淀积和烧结按第一浓度掺杂有第一掺杂物的第一二氧化硅层，将第一二氧化硅层淀积和烧结到预定的第一厚度；(c)将淀积有第一二氧化硅层的靶子棒下拉到预定的第一直径，以形成掺杂的二氧化硅棒；(d)重复步骤(b)和(c)达到预定次数，或者直至第一材料包含了预定比例的所述掺杂的二氧化硅棒；(e)在掺杂的二氧化硅棒上淀积按第二浓度掺杂有第二掺杂物的由二氧化硅构成的第二层，将第二二氧化硅层淀积到预定的第二厚度以形成中间结构；(f)在中间结构上淀积第三层，将第三层淀积到预定的第三厚度以形成预型件构造，第三层的材料是纯二氧化硅或掺杂有掺杂物的二氧化硅。
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公开(公告)号：CN1042524C
公开(公告)日：1999-03-17
申请号：CN93103147.8
申请日：1993-03-22
Applicant: 康宁玻璃公司
Inventor： 林恩·格兰维尔·阿莫斯 , 彼得·克里斯托弗·琼斯
IPC: C03B37/018 , C03C13/04
CPC classification number: G02B6/03622 , C03B37/01413 , C03B2201/42 , Y02P40/57
Abstract: 具有纤芯区1和包层区2的光导纤维，其中所述的包层区2包括外包层区3。该外包层3是很薄的(厚度小于1μm)一层TiO2-SiO2，使纤维拉丝过程引起的纤维断裂数量显著地减少，该层中含少于或等于约10%重量的预定TiO2浓度。还讨论了生产所述纤维的方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1186251A
公开(公告)日：1998-07-01
申请号：CN97113916.4
申请日：1997-06-20
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B6/22 , C03B37/018 , C23C16/30
CPC classification number: G02B6/02042 , C03B37/01211 , C03B37/01807 , C03B37/01838 , C03B37/01861 , C03B2201/28 , C03B2201/30 , C03B2201/31 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2201/42 , C03B2203/29 , C03C13/045 , H01S3/06708 , H01S3/06729
Abstract: 一种光学放大纤维,它包括包层、位于包层内并含有Ge的第一纤芯、位于第一纤芯内并含有Er和Al的第二纤芯、以及位于第二纤芯内并含有Ge的第三纤芯。第二纤芯具有高于包层折射率的折射率,第一和第三纤芯具有的折射率各自都高于第二纤芯的折射率。由于具有高折射率的第三纤芯位于中央部分,因此能使模式场直径变小并由此改善泵浦光转换为信号光的效率。另外,由于第二纤芯含有Al作为放大带宽扩展元素,因此可保证足够宽的放大带宽。
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公开(公告)号：CN105431388B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201480045062.2
申请日：2014-07-22
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B19/1461 , C03B19/1453 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/00 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , C03C2204/00 , G03F1/52 , G03F1/60
Abstract: 存在于掺杂Ti的石英玻璃中的Ti3+离子导致该玻璃的棕色着色，由此使得玻璃的检测变得困难。已知通过足够高含量的OH基团确保Ti‑掺杂石英玻璃中的Ti3+离子减少，有利于Ti4+离子，由此发生伴随着氢向外扩散的内氧化，或在低OH基团含量时，在玻璃化前需要氧气处理，所述氧气处理需要高处理温度和专用耐腐蚀炉并因此昂贵。为提供成本有利的生产在小于120重量ppm的羟基含量的同时在400纳米至1000纳米波长范围内具有至少70%的内透射率（10毫米样品厚度）的Ti‑掺杂石英玻璃的方法，由基于火焰水解灰料沉积法出发本发明建议，在玻璃化之前对所述TiO2‑SiO2灰料体施以包括用氮氧化物处理的调整处理。如此制得的Ti‑掺杂石英玻璃的特征为Ti3+/Ti4+的比率
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公开(公告)号：CN102765871B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201210228494.X
申请日：2012-04-11
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03B20/00
CPC classification number: G03F1/24 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B2201/42 , C03B2207/64 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C4/08 , C03C2201/42 , C03C2203/42 , G03F1/50
Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及制造方法。在掺杂二氧化钛的石英玻璃的EUV反射表面上，在将反射表面的中心处的原点(O)连接到双折射测量点(A)的直线与测量点(A)处的双折射快轴之间的角度(θ)具有大于45度的平均值。由于双折射的快轴是以同心的方式分布，因此得到具有高平整度的掺杂二氧化钛的石英玻璃衬底，该衬底适用于EUV光刻中。
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公开(公告)号：CN104703929B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201380048244.0
申请日：2013-09-12
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 吉成俊雄
CPC classification number: C03B19/1415 , C03B11/08 , C03B19/1469 , C03B23/0493 , C03B32/005 , C03B2201/42 , C03B2207/70 , C03B2207/80 , C03B2215/44 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , G03F1/60
Abstract: 一种SiO2-TiO2系玻璃的制造方法，其通过直接法在靶上制造SiO2-TiO2系玻璃，其中，该制造方法包括坯锭成长工序，即将硅化合物和钛化合物供给至氢氧火焰中进行火焰水解，由此在靶上成长出规定长度的SiO2-TiO2系玻璃坯锭，该坯锭成长工序具有：第1工序，其中，随着SiO2-TiO2系玻璃坯锭的成长而缓慢地增加钛化合物的供给量相对于硅化合物的供给量的比率直到达到规定的值；和第2工序，其中，在第1工序中比率达到规定的值后，在将比率保持在恒定的情况下使SiO2-TiO2系玻璃坯锭成长。
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公开(公告)号：CN102849929B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201210297275.7
申请日：2009-07-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B23/0026 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/42 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , Y10T428/31616
Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃元件及制备方法。其中，掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有反射至多70nm波长的EUV光的表面，其中该表面中的折射率分布在该元件的中心80％区域内仅具有一个极点。该掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有高精度水平的表面且因此可形成为平整度和热膨胀性能得到改善的EUV光刻法光掩模衬底。
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