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    METHOD FOR AUTO-LEARNING TOOL MATCHING
    22.
    发明申请
    METHOD FOR AUTO-LEARNING TOOL MATCHING 审中-公开
    自动学习工具匹配方法

    公开(公告)号：WO2014197494A1

    公开(公告)日：2014-12-11

    申请号：PCT/US2014/040735

    申请日：2014-06-03

    Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

    Inventor： RAQUEL, Francis ,  MANZER, Matthew ,  LEE, Christopher W.

    IPC: H01L21/00 ,  H01L21/66

    CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N2201/126

    Abstract: The present disclosure is directed to a method of tool matching that employs an auto-learning feedback loop to update a library of key parameters. According to the method, measurements are performed on a control wafer to collect a set of parameters associated with the process/analysis tool that is being matched. When deviated parameters correlate to a correctable tool condition (i.e. a tool matching event), the parameters are added to the library of key parameters. These key or critical parameters may be monitored on a more frequent basis to identify deviations that have a strong likelihood of matching with a correctable tool condition. The tool matching methodology advantageously allows for monitoring of an automatically updated list of key parameters instead of needing to look at the full set of parameters collected from a control wafer each time. As such, tool matching can be performed on a more frequent basis.

    Abstract translation: 本公开涉及一种使用自动学习反馈循环来更新关键参数库的工具匹配方法。 根据该方法，在控制晶片上进行测量以收集与正在匹配的过程/分析工具相关联的一组参数。 当偏差参数与可修正的刀具条件（即刀具匹配事件）相关时，将参数添加到关键参数库中。 可以在更频繁的基础上监视这些关键或关键参数，以识别具有与可修正工具条件匹配的强烈可能性的偏差。 工具匹配方法有利地允许监视自动更新的关键参数列表，而不是每次都需要查看从控制晶片收集的全部参数。 因此，可以更频繁地进行工具匹配。

    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN EINER SICHTWEITE BEI NEBEL AM TAG
    23.
    发明申请
    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN EINER SICHTWEITE BEI NEBEL AM TAG 审中-公开
    方法和设备，用来确定一眼看雾在DAY

    公开(公告)号：WO2014139783A1

    公开(公告)日：2014-09-18

    申请号：PCT/EP2014/053498

    申请日：2014-02-24

    Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

    Inventor： WEBER, Stefan ,  LENOR, Stephan ,  STOPPER, Ulrich

    IPC: G01N21/53 ,  G06K9/00 ,  G06K9/46 ,  G01S17/95 ,  G01S17/93 ,  B60R16/023 ,  G06T7/00 ,  H04N7/18 ,  G06T5/00

    CPC classification number: G01N21/47 ,  B60R16/0237 ,  G01J1/44 ,  G01N21/538 ,  G01N2015/0026 ,  G01N2015/0693 ,  G01N2201/0616 ,  G01N2201/126 ,  G01W1/00 ,  G06K9/00791

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren (800) zum Bestimmen einer Sichtweite bei Nebel (106) am Tag, wobei das Verfahren (800) einen Schritt (802) des Einlesens und einen Schritt (804) des Ermittelns aufweist. Im Schritt (802) des Einlesens werden Koordinaten zumindest eines charakteristischen Punkts (110) einer Helligkeitskurve (102) eines Kamerabilds (100) des Nebels (106) eingelesen. Die Helligkeitskurve (102) repräsentiert Helligkeitswerte von Bildpunkten des Kamerabilds (100) entlang einer Bezugsachse (108) des Kamerabilds (100). Im Schritt (804) des Ermitteins wird eine meteorologische Sichtweite in dem Kamerabild (100) unter Verwendung der Koordinaten, einer meteorologischen Kontrastschwelle und einer Verarbeitungsvorschrift ermittelt, um die Sichtweite bei Nebel (106) zu schätzen. Die Verarbeitungsvorschrift bildet ein ortsabhängiges und/oder richtungsabhängiges Streulicht durch den Nebel (106) in dem Kamerabild (100) ab.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于确定在当天雾（106）一个可见度的方法（800），所述方法（800）包括读步骤（802）以及确定的步骤（804）。 在读取步骤（802）被读出的雾（106）的照相机图像（100）的至少一个特征点（110）的亮度曲线（102）的坐标。 亮度曲线（102）表示沿相机图像（100）的基准轴（108）的照相机图像（100）的像素的亮度值。 在使用的坐标，一个气象对比度阈值和处理指令确定所述相机图像（100）是一个气象能见度的步骤（804）被确定为估计雾（106）的可见性。 的处理过程是通过雾（106）到所述相机图像（100）中的和/或方向依赖性的依赖于位置的散射光。

    METHOD AND SYSTEM FOR IMPROVING RESOLUTION OF A SPECTROMETER
    24.
    发明申请
    METHOD AND SYSTEM FOR IMPROVING RESOLUTION OF A SPECTROMETER 审中-公开
    改进光谱仪分辨率的方法和系统

    公开(公告)号：WO2013121420A1

    公开(公告)日：2013-08-22

    申请号：PCT/IL2013/050123

    申请日：2013-02-11

    Applicant: BAR ILAN UNIVERSITY

    Inventor： ZALEVSKY, Zeev ,  HAMMER, Yair

    IPC: G01N21/65 ,  G01N3/44

    CPC classification number: G01N21/65 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/126

    Abstract: The present disclosure provides systems and methods for improving the resolution of a spectrometer configured to provide a frequency spectrum of a radiation incoming from a sample. The system comprises an optical medium configured so that the radiation incoming from the sample be transferred through the optical medium, the optical medium having a predetermined tunable spectral transmission curve; an operating unit connectable to the optical medium and configured to operate the optical medium so as to shift the spectral transmission curve of the optical medium over a predetermined spectral range; and a processing unit connectable to the spectrometer and configured to process a set of shifted frequency spectra provided by the spectrometer and obtainable by transferring the radiation incoming from the sample through the optical medium while shifting the spectral transmission curve of the optical medium so as to obtain a super resolved frequency spectrum of improved spectral resolution.

    Abstract translation: 本公开提供了用于改进配置为提供从样品进入的辐射的频谱的光谱仪的分辨率的系统和方法。 该系统包括光学介质，其被配置为使得从样本入射的辐射通过光学介质传输，光学介质具有预定的可调谐光谱透射曲线; 操作单元，其可连接到所述光学介质并且被配置为操作所述光学介质，以便使光学介质的光谱传输曲线在预定光谱范围内移动; 以及处理单元，其可连接到所述光谱仪并且被配置为处理由所述光谱仪提供的一组移动的频谱，并且可以通过在移动所述光学介质的光谱透射曲线的同时转移通过所述光学介质从所述样品入射的辐射而获得， 一种改进的光谱分辨率的超解析频谱。

    VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR OPTISCHEN ÜBERPRÜFUNG EINER PROBE
    25.
    发明申请
    VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR OPTISCHEN ÜBERPRÜFUNG EINER PROBE 审中-公开
    装置和方法用于对样品进行光学检查

    公开(公告)号：WO2013106876A1

    公开(公告)日：2013-07-25

    申请号：PCT/AT2013/050009

    申请日：2013-01-15

    Applicant: FEMTOLASERS PRODUKTIONS GMBH

    Inventor： TEMPEA, Gabriel-Florin

    IPC: G01N21/41 ,  G01N21/45 ,  G01M11/00 ,  G01J3/453 ,  G02B1/11 ,  G02B5/08

    CPC classification number: G01J3/45 ,  E01H5/045 ,  G01J3/4531 ,  G01J2003/283 ,  G01J2003/451 ,  G01J2003/4538 ,  G01M11/005 ,  G01N21/25 ,  G01N21/45 ,  G01N2021/4126 ,  G01N2201/126 ,  G02B1/115 ,  G02B5/0825

    Abstract: Verfahren und Vorrichtung zur optischen Überprüfung einer Probe mittels spektraler Interferometrie, wobei ein von einer Strahlungsquelle (1) abgegebener Strahl (2'') auf die Probe (5) sowie ein Referenzstrahl (2') auf eine Referenzprobe (4) gerichtet werden und die spektrale Interferenz der beiden Strahlen nach Reflexion an den Proben oder Passieren der Proben mittels eines Spektrographen (6) aufgenommen wird; das so erhaltene Interferogramm I (ω) wird numerisch nach der Kreisfrequenz ω abgeleitet, wonach für die so erhaltene Funktion I `(ω) die Nullstellen ω i numerisch als Lösungen der Gleichung I `(ω) = 0 berechnet werden und danach aus den Nullstellen ω i die frequenzabhängige Gruppenverzögerung τ (ω) entsprechend der Gleichung τ (ω n ) = π/ (ω i+1 -ω i ), mit i = 1,2... und ω n = (ω i+1 + ω i ) /2, berechnet wird.

    Abstract translation: “在样品（5）和参考光束（2）与参照样品（4）的方法和用于通过光谱干涉的手段的检体的光学检查装置，其中辐射源的一（1）发射的光束（2”）”被引导和 在样品上反射之后被接收或通过光谱仪的装置通过将样品的两个光束的光谱干扰（6）; 所得到的干涉图I（欧米加）进行数值由角频率ω-衍生，之后将如此得到的函数I“（ω-）omegai数值作为等式I的解决方案的零点”（ω-）= 0被从零点计算并随后omegai 根据以下等式的tau（Omegan）= PI /（1 + omegai-omegai）依赖于频率的群延迟的tau（欧米加）被计算，其中i = 1,2，...，和Omegan =（omegai + 1 + omegai）/ 2。

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