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    PIEZORESISTIVE MICROCANTILEVER SENSOR
    291.
    发明申请
    PIEZORESISTIVE MICROCANTILEVER SENSOR 审中-公开
    PIEZORESISTIVE MICROCANTILEVER传感器

    公开(公告)号：WO2005100235A1

    公开(公告)日：2005-10-27

    申请号：PCT/EP2005/051627

    申请日：2005-04-13

    Applicant: CANTION A/S ,  THAYSEN, Jacob

    Inventor： THAYSEN, Jacob

    IPC: B81B3/00

    CPC classification number: G01N29/036 ,  B81B3/0089 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2201/032 ,  B81B2203/0118 ,  G01N2291/0256

    Abstract: The present invention relates to a sensor comprising one or more cantilevers for use in the detection of the presence of a target molecule in a fluid sample, change of temperature or other things that cause a change of stress in the surface of the cantilever. The sensor comprises a cantilever with an integrated piezoresistive element having a pair of wires for applying an electrical field. The piezoresistive element is of p-type silicon and is arranged to have a protruding direction which is orientated along the direction of the silicon. The cantilever is clamped along a clamping line L to the wall of the sensor, so that one or more piezoresistive element clamping line line sections are formed, with a piezoresistive element claming line (L) between the two outermost points including clamping of the piezoresistive element, which piezoresistive element clamping line is at least as long as the shortest distance (H) between the point of the piezoresistive element protruding furthest from the wall. The sensor comprising one or more cantilevers can be produced from standard silicon wafers by etching .

    Abstract translation: 本发明涉及一种传感器，包括一个或多个悬臂，用于检测流体样品中目标分子的存在，温度变化或导致悬臂表面应力变化的其他物质。 传感器包括具有集成压阻元件的悬臂，其具有用于施加电场的一对电线。 压阻元件是p型硅，并且被布置成具有沿着硅的<110>方向取向的突出方向。 将悬臂沿着夹紧线L夹持到传感器的壁上，从而形成一个或多个压阻元件夹紧线路线段，其中两个最外点之间具有压阻元件夹紧线（L），包括压阻元件 所述压阻元件夹持线至少与压阻元件突出于最远处的压电点之间的最短距离（H）一样长。 包括一个或多个悬臂的传感器可以通过蚀刻由标准硅晶片制造。

    MICROELECTROMECHANICAL POSITIONING APPARATUS
    293.
    发明申请
    MICROELECTROMECHANICAL POSITIONING APPARATUS 审中-公开
    微电子定位装置

    公开(公告)号：WO9924783A9

    公开(公告)日：1999-10-07

    申请号：PCT/US9823588

    申请日：1998-11-05

    Applicant: MCNC ,  DHULER VIJAYAKUMAR R ,  WOOD ROBERT L

    Inventor： DHULER VIJAYAKUMAR R ,  WOOD ROBERT L

    IPC: G01B21/00 ,  B25J7/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  F03G7/06 ,  G01B7/004 ,  G01B7/34 ,  G01N27/00 ,  G02B6/38 ,  G02B6/42 ,  H01H1/00 ,  H01H9/14 ,  H01H61/00

    CPC classification number: F03G7/06 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/051 ,  G02B6/3803 ,  G02B6/4226 ,  H01H1/0036 ,  H01H9/14 ,  H01H61/00 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2001/0068 ,  H01H2061/006

    Abstract: A microelectromechanical (MEMS) positioning apparatus is provided that can precisely microposition an object in each of the X, Y and Z directions. The MEMS positioning apparatus includes a reference surface, a support disposed in a fixed position to the reference surface, and a stage defining a XY plane that is suspended adjacent to the support and over at least a portion of the reference surface. The MEMS positioning apparatus also includes at least one and, more typically, several actuators for precisely positioning the stage and, in turn, objects carried by the stage. For example, the MEMS positioning apparatus can include first and second MEMS actuators for moving the stage in the XY plane upon actuation. In addition, the MEMS positioning apparatus can include a Z actuator, such as a thermal bimorph structure, for moving the stage in the Z direction.

    Abstract translation: 提供了一种微机电（MEMS）定位装置，其能够精确地将对象在X，Y和Z方向中的每一个定位。 MEMS定位装置包括参考表面，设置在参考表面的固定位置的支撑件以及限定相邻于支撑件悬挂并在参考表面的至少一部分上方的XY平面的平台。 MEMS定位装置还包括至少一个并且更典型的几个致动器，用于精确地定位平台，并且依次由舞台承载的物体。 例如，MEMS定位装置可以包括用于在致动时在XY平面中移动台的第一和第二MEMS致动器。 此外，MEMS定位装置可以包括用于在Z方向上移动台的Z致动器，例如热双压电晶片结构。

    駆動装置
    295.
    发明专利
    駆動装置 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2015146146A1

    公开(公告)日：2017-04-13

    申请号：JP2016510031

    申请日：2015-03-24

    Applicant: 住友精密工業株式会社

    Inventor： 亮平 内納 ,  亮平 内納

    IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00

    CPC classification number: G02B26/0858 ,  B81B3/0048 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0841 ,  H01L41/053 ,  H01L41/094

    Abstract: 本発明は、移動部が傾動する際の可動櫛歯電極の変位を大きくし、移動部の変位を静電容量の変化に基づいて精度良く検出することを目的とする。本発明のミラーデバイス(300)は、ベース部(302)と、ミラー(305)と、アクチュエータ(306)と、ミラー(305)のX軸に対してアクチュエータ(306)とは反対側に設けられた延長部(304)と、固定櫛歯電極(308)と、ミラー(305)のうちX軸に対してアクチュエータ(306)とは反対側に設けられた可動櫛歯電極(307)とを備えている。可動櫛歯電極(307)は、ヒンジ(373)を介してミラー(305)に連結されたビーム部(371)と、ビーム部(371)に設けられた電極指(372)とを有する。延長部(304)は、ヒンジ(341)を介してベース部(302)に連結されている。ミラー(305)は、ヒンジ(341)を通る主軸回りに傾動する。

    光学反射素子
    296.
    发明专利
    光学反射素子 有权
    光学反射元件

    公开(公告)号：JPWO2013168385A1

    公开(公告)日：2016-01-07

    申请号：JP2014514373

    申请日：2013-04-24

    Applicant: パナソニックIpマネジメント株式会社

    Inventor： 寿彰 堀江 ,  寿彰 堀江 ,  聡一郎 平岡 ,  聡一郎 平岡 ,  晋輔 中園 ,  晋輔 中園 ,  小牧　一樹 ,  一樹 小牧

    IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  G02B26/10

    CPC classification number: G02B26/0858 ,  B81B3/0043 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0163 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/10 ,  G02B26/101 ,  G02B26/105

    Abstract: 光学反射素子は、ミラー部と、一対の接合部と、一対の振動部と、複数の駆動部と、固定部とを有する。接合部はそれぞれ、ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続された第1端と、この第1端の反対側の第2端とを有し、第1軸方向に伸びている。振動部はそれぞれ、接合部の一方の第2端に接続された中央部を有する。複数の駆動部はそれぞれ、一対の振動部のそれぞれに設けられ、ミラー部を回動させる。固定部には一対の振動部の各両端が連結されている。接合部の第1軸に直交する方向の長さとして定義される梁幅は、一対の振動部のそれぞれの梁幅より大きい。

    Abstract translation: 光学反射元件包括反射镜部，和一对接合部，以及一对振动部，和多个驱动部，和定影单元。 每个接头具有的第一端连接到面对反射镜部，所述第一端的相对的第二端的相应位置，并在第一轴向方向上延伸。 各振动部具有连接到所述接合部的第二端部中的一个的中心部分。 各所述多个驱动单元的，在各一对振动部的设置的旋转反射镜部。 另外，固定部被连接在一对振动部的所述相对端。 定义为沿正交于接头的第一轴方向的长度Ryohaba比一对振动部的各自的波束宽度大。

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