公开(公告)号：KR1020130042659A

公开(公告)日：2013-04-26

申请号：KR1020137008315

申请日：2010-04-07

Applicant: 레어 라이트, 인크.

Inventor： 메쎄르슈미트로버트쥐.

IPC: G01N21/552 ,  G01N21/27

CPC classification number: G01N21/552 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0264 ,  G01J3/42 ,  G01J3/427

Abstract: 샘플의 임계 각도에 배향된 분광 장치는 샘플의 분광 특성을 검지하는 것으로 기재되어 있는데, 여기서 분광 장치는 샘플의 임계 각도에서 또는 그 부근에서의 입사 각도의 위치에서 샘플에 도입된 전자기 방사선으로 샘플을 여기시키도록 구성된 전자기 방사선 소스와, 상기 전자기 방사선 소스 및 샘플과 통신하고 상기 전자기 방사선을 내부적으로 반사하도록 구성된 고굴절율을 갖는 투과 크리스탈과, 상기 투과 크리스탈과 샘플 사이의 임계 각도 또는 그 근처의 입사 각도의 위치에서 샘플에 전자기 방사선을 도입하도록 구성된 반사기와, 상기 샘플로부터의 전자기 방사선을 검지하기 위한 검지기로 구성되어 있다. 또한, 본 발명에는 주변-임계 반사 분광 장치가 통합되어 있는 키트, 시스템 및 방법이 제공된다.

公开(公告)号：KR1020130004517A

公开(公告)日：2013-01-10

申请号：KR1020127030595

申请日：2011-03-15

Applicant: 코니카 미놀타 옵틱스, 인크.

Inventor： 츠루타니가츠토시

IPC: G01J3/51

CPC classification number: G01J3/51 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/506 ,  G01J3/513

Abstract: 본 발명에 관한 측정 프로브(40)에서는, 측정광은, 제1 확산판(19)에 의해 산란되고, 복수의 간섭 막 필터(13A, 14A, 15A)를 통해서 복수의 수광 센서(13B, 14B, 15B)로 수광될 때에, 제2 확산판(13C, 14C, 15C)을 통해서 각 간섭 막 필터(13A, 14A, 15A)에 입사된다. 그리고, 이들 간섭 막 필터(13A, 14A, 15A)는, 상기 간섭 막 필터(13A, 14A, 15A)에의 입사광의 입사 각도에 대한 강도 분포의 조건에 따라, 측정 파라미터에 대응한 투과율 특성이 얻어지도록 형성된다. 이로 인해, 본 발명에 관한 측정 프로브(40)는, 간섭 막 필터(13A, 14A, 15A)를 사용하면서, 그 입사 각도에 의한 투과율 특성의 어긋남의 영향을 저감할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020120036949A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：KR1020127000357

申请日：2010-05-25

Applicant: 씨8 메디센서스, 인크.

Inventor： 할슈타인사샤 ,  아이스도날드에이.

IPC: F21V8/00 ,  G02B6/12 ,  G01J3/04

CPC classification number: G02B6/26 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/024 ,  G01J3/04 ,  G02B6/0076 ,  G02B6/10 ,  G02B27/0994 ,  G02B6/12011 ,  G02B6/12016

Abstract: 출력이 수직으로 얻갈린, 적층된 슬래브 도파로들로 구성된 장치가 개시된다. 적층된 도파로들에 대한 입력에서, 각 스래브들에 대한 입구가 거의 동일한 수직 평면에 놓인다. 입력에 이미지를 생성하는 지점은 출력에서 밝기의 실질적 손실 없이, 엇갈린 직사각형의 세트(set of staggered rectangles)로 변환될 것이고, 엇갈린 직사각형들은 분광기 장치에 대한 편리한 입력으로 제공될 수 있다. 슬릿 마스크가 그 확산에 평행한 분광기 장치의 평면에서 원하는 횡단 폭을 표시하기 위해 그 출력들을 공간적으로 필터링하도록 추가될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020110008155A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：KR1020107015310

申请日：2009-05-07

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 시바야마가츠미 ,  가사하라다카시 ,  요시다안나

IPC: G01J3/18 ,  G02B7/00

CPC classification number: G01J3/0205 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/04 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803 ,  G02B7/027 ,  H01L31/18

Abstract: The present invention provides a highly reliable spectral module. When light L1 proceeding to a spectroscopic unit (4) passes through a light transmitting hole (50) in the spectral module (1) in accordance with the present invention, only the light having passed through a light entrance side unit (51) formed such as to become narrower toward a substrate (2) and entered a light exit side unit (52) formed such as to oppose a bottom face (5 1b) of the light entrance side unit (51) is emitted from a light exit opening (52a). Therefore, stray light M incident on a side face (51c) or bottom face (51b) of the light entrance side unit (51) is reflected to the side opposite to the light exit side unit (52) and thus is inhibited from entering the light exit side unit (52). Therefore, the reliability of the spectral module (1) can be improved.

公开(公告)号：KR1020110001835A

公开(公告)日：2011-01-06

申请号：KR1020090075826

申请日：2009-08-17

Applicant: 서울바이오시스 주식회사 ,  사카이 시로

Inventor： 사카이시로 ,  김대원 ,  서원철

IPC: G01J3/18

CPC classification number: G01J3/0235 ,  B82Y20/00 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/36 ,  G01J3/42 ,  G01J2003/1213

Abstract: PURPOSE: A spectrum detector is provided to enable miniaturization and to realize a small size of spectrum detector, which does not require the optical-axis control of a complex optical system. CONSTITUTION: A spectrum detector(2000) comprises a substrate(2020), a photo-detector and a wavelength detecting circuit(2012). The photo-detector is formed on the substrate and comprises a semiconductor with a plurality of iron units. The wavelength detecting circuit detects the wavelength of one of incident lights of the photo-detector, which transmits the iron units. The wavelength detecting circuit detects the wavelength of incident light of the photo-detector. The photo-detector outputs photo-voltage when light enters. The wavelength detecting circuit comprises a photo-voltage measuring circuit, a memory, a waveform extracting circuit and a potential-difference calculating circuit. The photo-voltage measuring circuit measures photo-voltage, which is output from the photo-detector.

Abstract translation: 目的：提供一种频谱检测器，以实现小型化和实现小尺寸的频谱检测器，不需要复杂光学系统的光轴控制。 构成：光谱检测器（2000）包括基板（2020），光检测器和波长检测电路（2012）。 光检测器形成在基板上，并且包括具有多个铁单元的半导体。 波长检测电路检测发送铁单元的光检测器的入射光中的一个的波长。 波长检测电路检测光检测器的入射光的波长。 当光线进入时，光电检测器输出光电压。 波长检测电路包括光电压测量电路，存储器，波形提取电路和电位差计算电路。 光电压测量电路测量从光电检测器输出的光电压。

公开(公告)号：KR1020090127377A

公开(公告)日：2009-12-10

申请号：KR1020097022993

申请日：2008-04-03

Applicant: 무토 고교 가부시키가이샤

Inventor： 브라운크리스 ,  프리드햄브라이언티 ,  코티스존피터

IPC: G01J3/45

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/10 ,  G01J3/26 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/50 ,  G01J3/501 ,  G01J2003/104

Abstract: A spectrophotometer includes a plurality of LEDs arranged in a circular array, each having a calibrated power input determined by the use of pulse width modulation and each having a unique wavelength band determined by the utilization of a unique fluorescent phosphor coating or lens. At least one of the LEDs comprising a phosphor-free high energy UV LED. Light reflected to the spectrophotometer is divided into predetermined wavelength ranges through the utilization of a linear variable filter and photo detectors wherein the analog signal from a photo detector is converted to a digital value through the use of auto-ranging gain technique.

Abstract translation: 分光光度计包括布置成圆形阵列的多个LED，每个LED具有通过使用脉冲宽度调制确定的每个具有由独特的荧光荧光粉涂层或透镜使用确定的唯一波长带的校准功率输入。 至少一个LED包括无磷高能UV LED。 通过使用线性可变滤波器和光电检测器将反射到分光光度计的光分成预定的波长范围，其中通过使用自动测距增益技术将来自光电检测器的模拟信号转换为数字值。

公开(公告)号：KR100875806B1

公开(公告)日：2008-12-26

申请号：KR1020037012945

申请日：2002-03-28

Applicant: 아크조노벨코팅스인터내셔널비.브이.

Inventor： 데하아스클라아스헨드리크 ,  두브벨담게리트코르넬리스 ,  반데르란스이보베르나르두스니콜라아스 ,  프리에스로빈파울

IPC: G01N21/57

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/10 ,  G01J3/50 ,  G01J3/504 ,  G01J3/524 ,  G01N21/57

Abstract: Device and method for recording the visual properties of a surface, comprising an imaging device (3) for recording light interaction (reflection or transmission) with a surface, a light source (2), and a sample area for positioning a sample (6) with a surface to be examined. The imaging device, the light source, and the sample area are arranged in such a way that in one image at least one of the surface properties is recordable as a function of a continuous range of angles between the illumination direction (7, 9) and the observation direction (4, 5). The imaging device is a CCD camera. The device and method are suitable for imaging and evaluating visual properties which are dependent on the optical geometry, such as flop behaviour and gloss.

Abstract translation: 用于记录表面视觉特性的装置和方法，包括用于记录与表面的光相互作用（反射或透射）的成像装置（3），光源（2）以及用于定位样品（6）的样品区域， 具有待检查的表面。 成像装置，光源和样品区域以这样的方式布置，即在一个图像中，表面特性中的至少一个表面特性作为照射方向（7,9）与照射方向（7,9）之间的连续角度范围的函数是可记录的 观察方向（4,5）。 成像装置是CCD照相机。 该装置和方法适用于成像和评估依赖于光学几何形状的视觉特性，如翻转行为和光泽度。

公开(公告)号：KR1020070058651A

公开(公告)日：2007-06-08

申请号：KR1020077009416

申请日：2005-09-30

Applicant: 피코메트릭스 엘엘씨

Inventor： 윌리암슨스티븐 ,  체르노브스키아르투르에이. ,  월터클라우스에이취. ,  짐달스데이비드

IPC: G01J9/02

CPC classification number: G02B26/06 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0235 ,  G02B5/122

Abstract: An optical delay line device includes a rotatable wheel and one or more prisms mounted about the circumference of the wheel. The one are more prisms are positioned to retroreflect the optical beam that passes approximately tangent to the wheel to cause a delay or phase shift to the beam as the wheel rotates.

Abstract translation: 光学延迟线装置包括可旋转轮和围绕车轮圆周安装的一个或多个棱镜。 一个更多的棱镜被定位成回射近似于切向轮的光束，以在轮转动时造成延迟或相移到光束。

公开(公告)号：KR1020060130543A

公开(公告)日：2006-12-19

申请号：KR1020067002470

申请日：2004-07-22

Applicant: 유니버시티 오브 피츠버그 - 오브 더 커먼웰쓰 시스템 오브 하이어 에듀케이션

Inventor： 김홍구 ,  순쯔쥔 ,  정윤석

IPC: H01J3/14 ,  H01J5/16 ,  H01J40/14

CPC classification number: G01N21/6454 ,  B82Y20/00 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2823 ,  G01J2003/1213 ,  G01N21/554 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/6452 ,  G01N21/6456 ,  G02B5/008 ,  G02B6/12007 ,  G02B6/1226 ,  G02B6/124 ,  G02B2207/101 ,  H01L27/14629

Abstract: A nanostructured optical device includes a metal film or a plurality of metal islands having an array of a plurality of openings having a width that is less than at least one first predetermined wavelength of incident radiation to be provided onto the film or the islands. The metal film or islands are configured such that the incident radiation is resonant with at least one plasmon mode on the metal film or metal islands.

Abstract translation: 纳米结构光学器件包括金属膜或具有多个开口阵列的多个金属岛，所述多个开口的宽度小于要提供到膜或岛上的入射辐射的至少一个第一预定波长的宽度。 金属膜或岛被构造成使得入射的辐射与金属膜或金属岛上的至少一种等离子体激元模式共振。

公开(公告)号：KR1020060035639A

公开(公告)日：2006-04-26

申请号：KR1020057024950

申请日：2004-06-14

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 라팍로버트제이.

IPC: G01J3/28

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/027 ,  G01J3/28 ,  G01J3/45

Abstract: A bandwidth meter method and apparatus for measuring the bandwidth of a spectrum of light emitted from a laser input to the bandwidth meter is disclosed, which may comprise an optical bandwidth monitor providing a first output representative of a first parameter which is indicative of the bandwidth of the light emitted from the laser and a second output representative of a second parameter which is indicative of the bandwidth of the light emitted from the laser; and, an actual bandwidth calculation apparatus utilizing the first output and the second output as part of a multivariable equation employing predetermined calibration variables specific to the optical bandwidth monitor, to calculate 10 an actual bandwidth parameter. The actual bandwidth parameter may comprise a spectrum full width at some percent of the maximum within the full width of the spectrum of light emitted from the laser ("F)WXM") or a width between two points on the spectrum enclosing some percentage of the energy of the full spectrum of the spectrum of light emitted from the laser ("EX"). The bandwidth monitor may comprise an etalon and the first output is representative of at least one of a width of a fringe of an optical output of the etalon at FWXM or a width between two points on the spectrum enclosing some percentage of the energy of the full spectrum of light emitted from the laser ("EX"') and the second output is representative of at least one of a second FWX"M or EX"', where XXX" and X'X"'. The precomputed calibration variables may be derived from a measurement of the value of the actual bandwidth parameter utilizing a trusted standard, correlated to the occurrence of the first and second outputs for a calibration spectrum. The value of the actual bandwidth parameter is calculated from the equation: estimated actual BW parameter = K*w l + L*w2 + M, where wl = the first measured output representative of FWXM or EX' and w2 is the second measured output representative of FWX"M or EX"'. The apparatus and method may be implemented in a laser lithography light source and/or in an integrated circuit lithography tool.

Abstract translation: 公开了一种用于测量从激光输入到带宽计的发射光谱的带宽的带宽测量仪方法和装置，其可以包括光带宽监视器，其提供表示第一参数的第一输出，第一参数指示 从激光器发射的光和表示从激光器发射的光的带宽的第二参数的第二输出; 并且使用第一输出和第二输出的实际带宽计算装置作为使用光带宽监视器特有的预定校准变量的多变量方程的一部分来计算10实际带宽参数。 实际带宽参数可以包括在从激光（“F”WXM“）发射的光谱的全宽度内的最大值的某个百分比处的光谱全宽度或包含一定百分比的光谱的光谱的两个点之间的宽度 从激光发射的光谱的全谱的能量（“EX”）。 带宽监视器可以包括标准具，并且第一输出表示在FWXM处的标准具的光输出的边缘的宽度中的至少一个，或者在包含满量程的一定百分比的能量的频谱上的两个点之间的宽度中的至少一个 从激光（“EX”）发射的光的频谱和第二输出代表第二FWX“M或EX”'中的至少一个，其中XXX“和X'X”'。 预先计算的校准变量可以从利用可信标准的实际带宽参数的值的测量导出，与可校准频谱的第一和第二输出的出现相关。 实际带宽参数的值由以下公式计算：估计的实际BW参数= K * w1 + L * w2 + M，其中w1 =表示FWXM或EX'的第一个测量输出，w2是第二个测量输出的代表 FWX“M或EX”'。 该装置和方法可以在激光光刻光源和/或集成电路光刻工具中实现。