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公开(公告)号：KR1020170118919A
公开(公告)日：2017-10-25
申请号：KR1020177026925
申请日：2016-02-10
Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션
CPC classification number: G01N21/255 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/18 , G01J3/2803 , G01J3/42 , G01J2003/425 , G01N21/211 , G01N21/55 , G01N21/9501 , G01N2021/213 , G01N2201/06113 , G01N2201/068
Abstract: 감소된초점에러에대한민감도를갖는광대역분광계측을수행하기위한방법및 시스템이본 명세서에제시된다. 웨이퍼표면상의입사평면과정렬된방향이검출기표면상의파장분산의방향에수직으로배향되도록검출기상에측정스폿을촬상함으로써초점위치에러에대한민감도의상당한감소가성취된다. 이초점에러민감도의감소는측정정확도를손상시키지않고, 감소된초점정확도및 반복성요구, 더신속한초점시간, 및감소된파장에러에대한민감도를가능하게한다. 다른양태에서, 입사평면에수직인방향에서웨이퍼평면상에투영된조명시야의치수는피측정타겟의성질에기초하여최종적인측정정확도및 속도를최적화하도록조정된다.
Abstract translation: 本文介绍了用于执行宽带光谱测量的灵敏度降低聚焦误差的方法和系统。 通过在检测器上成像测量点使得与晶片表面上的入射平面对齐的方向垂直于检测器表面上的波长色散方向取向，从而实现焦点位置误差敏感度的显着降低。 聚焦误差灵敏度的降低可降低聚焦精度和可重复性要求，缩短聚焦时间并降低对波长误差的灵敏度，同时不会降低测量精度。 在另一方面，基于待测量的目标的性质来调整在垂直于入射平面的方向上投影到晶片平面上的照明视场的尺寸以优化最终测量精度和速度。
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公开(公告)号：KR1020170017796A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：KR1020160099612
申请日：2016-08-04
Applicant: 비아비 솔루션즈 아이엔씨.
Inventor： 스미스,파울라 , 흐루스카,커티스알. , 캐칭,벤자민에프. , 쿰스,폴지.
CPC classification number: G01J3/0229 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0216 , G01J3/0218 , G01J3/0262 , G01J3/12 , G01J3/26 , G01J3/2803 , G01J2003/1213 , G01J2003/1217 , G01J2003/123 , G01J2003/1234 , G01J2003/1239 , G01J2003/1291 , G01J2003/2806 , G01J2003/2813 , G01N21/255 , G01N21/8507 , G02B5/22 , G02B5/3025 , G02B6/4215
Abstract: 업스트림필터가다운스트림필터의공간필터로서기능하도록서로고정된거리로스택되는 2개의횡방향가변대역통과필터를포함하는광학어셈블리가개시된다. 횡방향변위는, 업스트림및 다운스트림필터들상의사선빔의침투위치들에서전송통과대역들이오버랩하지않을때 사선빔의억제를유도할수 있다. 광검출기어레이는다운스트림필터의다운스트림에배치될수 있다. 광학어셈블리는유체샘플의스펙트로스코픽측정들을위해다양한광도관들또는광섬유들을통해커플링될수 있다.
Abstract translation: 公开了一种光学组件，其包括彼此以固定距离堆叠的两个横向可变带通光学滤光器，使得上游滤波器用作下游滤波器的空间滤波器。 当倾斜光束的入射位置在上游和下游滤波器上的传输通带不重叠时，横向位移可能导致倾斜光束的抑制。 光电检测器阵列可以设置在下游滤波器的下游。 光学组件可以经由各种光学导管或光纤耦合，用于流动样品的光谱测量。
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公开(公告)号：KR101683408B1
公开(公告)日：2016-12-06
申请号：KR1020157008521
申请日：2013-10-02
Applicant: 고쿠리츠다이가쿠호우징 카가와다이가쿠
Inventor： 이시마루이치로
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/2803 , G01J3/4531 , G01J3/4532 , G01N2021/3595
Abstract: 본발명의분광측정장치는피측정물의측정영역내에위치하는복수의측정점으로부터각각발사된측정광속을제1 측정광속및 제2 측정광속으로분할하는분할광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속을간섭시키는결상광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속의사이에연속적인광로길이차분포를주는광로길이차부여수단과, 광로길이의연속적인분포에상응하는간섭광의강도분포를검출하는복수의픽셀을포함하는검출부와, 검출부에서검출되는간섭광의광강도분포에기초하여, 피측정물의측정점의인터페로그램을구하고, 이인터페로그램을푸리에변환함으로써스펙트럼을취득하는처리부와, 피측정물과분할광학계의사이에배치된, 그분할광학계와공통의공역면을가지는공역면결상광학계와, 공역면에배치되어복수의측정점으로부터발사된측정광속에공간적인주기변조를주는주기성부여수단을구비한다.
Abstract translation: 根据本发明的光谱特性测量装置包括：分割光学系统，用于将位于待测物体的测量区域内的多个测量点中的每一个发射的测量光束分成第一测量光束和第二测量 光束; 用于使第一测量光束和第二测量光束彼此干涉的成像光学系统; 光路长度差提供装置，用于提供第一测量光束和第二测量光束之间的光程长度差的连续分布; 用于检测干涉光的光强度分布的检测器; 基于由所述检测器检测出的干涉光的光强度分布获取被测量物体的测量点的干涉图并进行傅立叶变换以获得光谱的处理器; 位于被测量物体与分割光学系统之间的共轭平面成像光学系统，共轭平面成像光学系统具有与分割光学系统共享的共轭平面; 以及位于共轭平面上的周期性提供装置，用于在从多个测量点发射的测量光束之间提供周期性。
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公开(公告)号：KR101683407B1
公开(公告)日：2016-12-06
申请号：KR1020157008187
申请日：2013-10-02
Applicant: 고쿠리츠다이가쿠호우징 카가와다이가쿠
Inventor： 이시마루이치로
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/2803 , G01J3/4531 , G01J3/4532 , G01N2021/3595
Abstract: 본발명의분광측정장치는피측정물의측정영역내에위치하는복수의측정점으로부터각각발사된측정광속을제1 측정광속및 제2 측정광속으로분할하는분할광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속을간섭시키는결상광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속의사이에연속적인광로길이차분포를주는광로길이차부여수단과, 광로길이의연속적인분포에상응하는간섭광의강도분포를검출하는복수의픽셀을포함하는검출부와, 검출부에서검출되는간섭광의광강도분포에기초하여, 피측정물의측정점의인터페로그램을구하고, 이인터페로그램을푸리에변환함으로써스펙트럼을취득하는처리부와, 피측정물과분할광학계의사이에배치된, 그분할광학계와공통의공역면을가지는공역면결상광학계와, 공역면에배치되어복수의측정점으로부터발사된측정광속에공간적인주기변조를주는주기성부여수단을구비한다.
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公开(公告)号：KR101655512B1
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：KR1020137023357
申请日：2010-07-29
Applicant: 나가무네 야스시
Inventor： 나가무네야스시
CPC classification number: H04N5/33 , G01J3/2803 , G01J3/32 , G01J3/36 , G01J3/51 , G01J2003/2806 , G01J2003/2813 , H04N5/2256 , H04N5/332 , H04N9/045
Abstract: 본원은피사체에반사된적외선또는피사체가방사하는적외선등에서피사체의컬러화상을형성하는것이가능토록하는화상촬영장치및 화상촬영방법등에관한것이다. 본원에서제공되는화상촬영장치의일 적용예는조사부, 촬상부및 표색설정부등 등을갖추고조사부는다른파장강도분포를가지는적외선을피사체에조사하고촬상부는피사체에의해반사된다른파장강도를갖는각각의적외선에의한피사체의화상을촬상하여각각의화상을나타내는화상정보를형성하며표색설정부는형성된화상정보가나타내는화상의각각을다른단색에의해표색하기위한표색정보를화상정보에설정하는수단을포함하여제공되는화상촬영장치로구현될수 있다. 또한, 본원에서제공되는화상촬영방법의일 적용예는피사체로부터의적외선을다른파장강도분포를갖는적외선으로분리하여다른파장강도분포를갖는각각의적외선에의해피사체의화상을촬상하여각각의화상을나타내는화상정보를형성하고형성된화상정보가나타내는각각을다른단색에의해표색할수 있는화상촬영방법로구현될수 있는기술사상의발명이다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101640202B1
公开(公告)日：2016-07-21
申请号：KR1020160041313
申请日：2016-04-04
Applicant: 스페클립스 주식회사
CPC classification number: A61B5/0077 , A61B5/0075 , A61B5/441 , A61B5/7246 , A61B5/7282 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/024 , G01J3/0248 , G01J3/0291 , G01J3/2803 , G01J3/2823 , G01J3/443 , G01J2003/282 , G06F19/00 , A61B5/44 , G02B6/002 , G02B27/30 , G06T7/001 , H01S5/0428
Abstract: 본발명의일 실시예에따르면광이신체조직에조사되었을때 발생되는발생광을수집하여질병을진단하는질병진단장치에있어서발생광의일부를수집하는제1 집광부, 발생광의일부를수집하는제2 집광부; 제2 집광부에의해수집된광의스펙트럼을분석하는분광기, 분광기에의해분석된스펙트럼과, 기준스펙트럼데이터를비교하는분광데이터비교부, 제1 집광부에의해수집된광을디지털이미지로변환하는 CCD, CCD에의해변환된디지털이미지와, 기준이미지를비교하는이미지데이터비교부, 및분광데이터비교부의비교결과와, 이미지데이터비교부의비교결과중 적어도하나를참조하여상기신체조직에질병이있는지여부를판단하는질병진단부를포함하며, 신체조직에조사되는광은콜리메이트광인것을특징으로하는질병진단장치가개시된다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种疾病诊断装置，用于通过收集光发射到身体组织时产生的光来诊断疾病。 疾病诊断装置包括：第一聚光单元，用于收集部分产生的光; 第二聚光单元，用于收集一部分产生的光; 用于分析由第二聚光单元收集的光的光谱的分光镜; 由分光镜分析的光谱; 频谱数据比较单元，用于将分析的频谱数据与参考频谱数据进行比较; 将由第一聚光单元收集的光转换为数字图像的CCD; 图像数据比较单元，用于将由CCD转换的数字图像与参考图像进行比较; 以及疾病诊断单元，通过参照频谱数据比较单元的比较结果和图像数据比较单元的比较结果中的至少一个来确定身体组织中是否存在疾病。
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公开(公告)号：KR101617473B1
公开(公告)日：2016-05-02
申请号：KR1020107015310
申请日：2009-05-07
Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
CPC classification number: G01J3/0205 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/04 , G01J3/18 , G01J3/2803 , G02B7/027 , H01L31/18
Abstract: 본발명은신뢰성이높은분광(分光)모듈을제공한다. 본발명에관한분광모듈(1)에서는분광부(4)로진행하는광(L1)이광통과구멍(50)을통과할때, 기판(2) 측을향하여끝이가늘어지는광입사측부(51)를빠져나가, 광입사측부(51)의바닥면(51b)과대향하도록형성된광출사측부(52)에입사한광만이광출사개구(52a)로부터출사된다. 이때문에, 광입사측부(51)의측면(51c)이나바닥면(51b)에입사한미광(M)은광출사측부(52)와반대측으로반사되므로, 광출사측부(52)에미광이입사하는것을억제할수 있다. 따라서, 분광모듈(1)의신뢰성을향상시키는것이가능하게된다.
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公开(公告)号：KR1020150127737A
公开(公告)日：2015-11-17
申请号：KR1020157031223
申请日：2008-06-05
Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 분광모듈(1)은본체부(2)가판 형상이기때문에, 본체부(2)의박형화에의해소형화를도모할수 있다. 또한, 본체부(2)가판 형상이기때문에, 예를들어웨이퍼프로세스를이용하여분광모듈(1)을제조할수 있다. 즉, 다수의본체부(2)가되는유리웨이퍼에대해매트릭스형상으로렌즈부(3), 회절층(4), 반사층(6) 및광검출소자(7)를마련하고, 당해유리웨이퍼를다이싱하는것에의해분광모듈(1)을다수제조할수 있다. 이와같이하여, 분광모듈(1)을용이하게대량생산하는것이가능하게된다.
Abstract translation: 由于分光模块1设置有板状主体部分2，所以使主体部分2变薄，使得光谱模块1可以被小型化。 此外，由于主体部分2形成为板状，例如，使用晶片工艺来制造光谱模块1.换句话说，透镜部分3，衍射层4，反射层6和光 检测元件7以矩阵形式设置在可以制成多个主体部分2的玻璃晶片上。然后，对玻璃晶片进行切割，从而可以制造许多光谱模块1.这样，它 可以容易地大规模生产光谱模块1。
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公开(公告)号：KR1020150004858A
公开(公告)日：2015-01-13
申请号：KR1020147032267
申请日：2013-04-19
Applicant: 워싱톤 유니버시티
Inventor： 그루에브,빅토르
CPC classification number: G01J3/2803 , G01J3/0224 , G01J3/36 , G01J4/04 , H01L27/1461 , H01L27/14621 , H01L27/14647
Abstract: 모놀리식 통합 화소 처리 알루미늄 나노와이어를 수직 스택 광검출기와 결합한 센서가 제공된다. 알루미늄 나노와이어는 2×2 픽셀 또는 수퍼픽셀의 더미(collection)로서 배치된다. 각각의 수퍼픽셀은 45°만큼 오프셋된 4개의 상이한 배향의 나노와이어를 포함한다. 따라서, 광학 필드는 0°, 45°, 90° 및 135° 선형 편광 필터로 샘플링된다. 공간 서브샘플링 때문에, 보간이 적용되어 전체 0°, 45°, 90° 및 135° 어레이를 재구성할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020140046234A
公开(公告)日：2014-04-18
申请号：KR1020120112453
申请日：2012-10-10
Applicant: 광주과학기술원
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/0205 , G01J3/28 , G01J3/2803 , G01J3/36 , G01J2003/1213 , G01J2003/1217 , H04N5/332 , H04N5/335
Abstract: A spectroscopic apparatus according to the present invention includes an optical filter device provided with at least two filters for filtering incident light; an optical sensor device provided with at least two optical sensors corresponding to the at least two filters to convert the filtered light into electric charges; and a digital signal processing unit for digital signal processing the output signal of the optical sensor device to restore spectrum information about the incident light, wherein at least one of the at least two filters includes a random transmittance filter. According to the present invention, the restoration accuracy which improves the resolution of the restored light signal is improved. [Reference numerals] (140) Digital signal processing unit; (AA) Optical signal
Abstract translation: 根据本发明的分光装置包括：滤光器装置，设置有至少两个用于滤光入射光的滤光器; 光传感器装置，设置有至少两个对应于所述至少两个滤光器的光学传感器，以将滤光的光转换成电荷; 以及数字信号处理单元，用于对所述光学传感器装置的输出信号进行数字信号处理，以恢复关于入射光的光谱信息，其中所述至少两个滤光器中的至少一个包括随机透射滤光器。 根据本发明，提高了恢复光信号的分辨率的恢复精度。 （附图标记）（140）数字信号处理单元; （AA）光信号
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