公开(公告)号：WO2004050570A1

公开(公告)日：2004-06-17

申请号：PCT/JP2003/015272

申请日：2003-11-28

Applicant: 信越石英株式会社 ,  佐藤 龍弘 ,  垣内 孝宏 ,  藤ノ木 朗 ,  加藤 俊幸 ,  瀬川 徹 ,  吉田 宜正

Inventor： 佐藤 龍弘 ,  垣内 孝宏 ,  藤ノ木 朗 ,  加藤 俊幸 ,  瀬川 徹 ,  吉田 宜正

IPC: C03B20/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/24 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/24 ,  C03C2201/26

Abstract: 第一に、不純物が少なく且つ天然石英ガラスと同等以上の高温粘度特性を有し、高温環境下にあっても変形し難い合成石英ガラスの製造方法、特に発泡が無く緻密な高耐熱性合成石英ガラスの製造方法を提供する。第二に、本発明の製造方法により容易に得られる高耐熱性合成石英ガラス体、特に、発泡が無く緻密、赤外線吸収率及び放出率が高い、またアルカリ金属拡散防止効果が極めて高い透明又は黒色石英ガラス体を提供する。　２４５ｎｍの吸収係数が０．０５ｃｍ −１ 以上である高耐熱性石英ガラス体を製造する方法であって、シリカ多孔質体を、還元処理した後、焼成して緻密なガラス体とするようにした。

Abstract translation: 一种制造在245nm以上的吸收系数为0.05cm -1以上的合成石英玻璃的制造方法，其特征在于，对多孔二氧化硅材料进行还原处理，然后烧成所得产物，从而形成致密的玻璃 文章; 和具有降低的杂质含量的透明或黑色合成石英玻璃，显示与天然石英玻璃相同或优于其的高温粘度特性即使在高温气氛中也不易变形，显示出高的 对于红外线的吸光度和高发射率，并且对于防止碱金属的扩散，特别是不含气泡的致密且高耐热的合成石英玻璃的扩散具有极高的效果。 该方法容易地生产上述合成石英玻璃。

公开(公告)号：WO2004026779A1

公开(公告)日：2004-04-01

申请号：PCT/KR2003/000387

申请日：2003-02-26

Applicant: LG CABLE LTD. ,  LEE, Chan-Joo ,  SON, Soon-Il ,  PARK, Ji-Sang

Inventor： LEE, Chan-Joo ,  SON, Soon-Il ,  PARK, Ji-Sang

IPC: C03B37/018

CPC classification number: C03B37/01853 ,  C03B37/01815 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/075 ,  Y02P40/57

Abstract: Disclosed is a method for fabricating an optical fiber preform using a double torch in MCVD, which includes a first process of heating a quartz tube (10) at a temperature lower than a sintering temperature by using a first torch (21) with putting reaction gas, oxygen gas and dehydration gas into the tube so that soot particles are generated and deposited, and heating the tube to a predetermined temperature by using a second torch (22) spaced apart from the first torch after the first torch (21) passes so that moisture in the soot particles is removed; and a second process of conducting dehydration for removing moisture in the soot particles by use of the first torch (21) again, and heating the tube above a sintering temperature by using the second torch (22) so that the soot particles free from moisture are vitrified.

Abstract translation: 公开了一种使用MCVD中的双炬制造光纤预制件的方法，该方法包括通过使用第一炬（21）将石英管（10）加热至低于烧结温度的第一工序， ，氧气和脱水气体进入管中，从而产生并沉积烟灰颗粒，并且在第一焊炬（21）通过之后使用与第一炬间隔开的第二炬（22）将管加热到预定温度，使得 除去烟灰颗粒中的水分; 以及再次通过使用第一炬（21）进行脱水以除去烟灰颗粒中的水分的第二过程，并且通过使用第二炬（22）将管加热到高于烧结温度，使得没有水分的烟灰颗粒是 玻璃化。

公开(公告)号：WO2004020357A2

公开(公告)日：2004-03-11

申请号：PCT/US2003/024477

申请日：2003-08-05

Applicant: CORNING INCORPORATED

Inventor： MOORE, Lisa, A. ,  BOOKBINDER, Dana, C. ,  HOUSE, Keith, L. ,  SCHIEFELBEIN, Susan, L. ,  BALL, Laura, J. ,  BANEY, Bruno, Paul, Marc ,  KHRAPKO, Rostislav, R.

IPC: C03C25/60

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01228 ,  C03B37/01426 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01861 ,  C03B37/01892 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2203/26 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/90 ,  C03C25/602 ,  C03C25/607 ,  C03C25/68 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/50 ,  G02B6/02

Abstract: A method of forming an alkali metal oxide-doped optical fiber by diffusing an alkali metal into a surface of a glass article is disclosed. The silica glass article may be in the form of a tube or a rod, or a collection of tubes or rods. The silica glass article containing the alkali metal, and impurities that may have been unintentionally diffused into the glass article, is etched to a depth sufficient to remove the impurities. The silica glass article may be further processed to form a complete optical fiber preform. The preform, when drawn into an optical fiber, exhibits a low attenuation.

Abstract translation: 公开了一种通过将碱金属扩散到玻璃制品的表面中形成掺杂碱金属氧化物的光纤的方法。 石英玻璃制品可以是管或棒的形式，或者是管或棒的集合。 含有碱金属的二氧化硅玻璃制品和可能已经无意地扩散到玻璃制品中的杂质被蚀刻到足以除去杂质的深度。 石英玻璃制品可以进一步加工以形成完整的光纤预型件。 当预成型件被拉入光纤时，表现出低的衰减。

公开(公告)号：WO2004018374A1

公开(公告)日：2004-03-04

申请号：PCT/KR2003/001678

申请日：2003-08-20

Applicant: LG CABLE LTD. ,  JANG, Ki-Wan ,  PARK, Lae-Hyuk ,  LEE, Chan-Joo

Inventor： JANG, Ki-Wan ,  PARK, Lae-Hyuk ,  LEE, Chan-Joo

IPC: C03B37/018

CPC classification number: C03B37/01853 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  G02B6/02

Abstract: Disclosed is a method of manufacturing an optical fiber perform using MCVD including dehydration and dechlorination, which executes the following process repeatedly with changing the composition of soot generation gas according to the refractive index profile, the process including the steps of: forming a soot layer having pores on an inner wall of a deposition tube at a temperature lower than the soot sintering temperature with putting soot generation gas and oxygen gas into the rotating deposition tube; removing hydroxyl groups with keeping the pores by putting dehydration gas into the deposition tube; removing chlorine impurities existing in the soot layer with keeping the pores by putting dehydration gas into the deposition tube; and sintering the soot layer by heating the deposition tube at a temperature over the soot sintering temperature.

Abstract translation: 本发明公开了一种使用包括脱水和脱氯在内的MCVD进行的光纤的制造方法，其通过根据折射率分布改变烟灰发生气体的组成而重复地执行以下处理，该方法包括以下步骤：形成具有 在低于烟灰烧结温度的温度下在沉积管的内壁上的孔，将烟灰产生气体和氧气放入旋转沉积管中; 通过将脱水气体放入沉积管中，保持孔隙去除羟基; 通过将脱水气体放入沉积管中来除去存在于烟灰层中的氯杂质，同时保持孔; 并且通过在超过烟灰烧结温度的温度下加热沉积管来烧结烟灰层。

公开(公告)号：WO2003062160A1

公开(公告)日：2003-07-31

申请号：PCT/GB2003/000289

申请日：2003-01-23

Applicant: BLAZEPHOTONICS LIMITED ,  KNIGHT, Jonathan, Cave ,  RUSSELL, Philip, St.John ,  BIRKS, Timothy, Adam

Inventor： KNIGHT, Jonathan, Cave ,  RUSSELL, Philip, St.John ,  BIRKS, Timothy, Adam

IPC: C03B37/075

CPC classification number: G02B6/02314 ,  B82Y20/00 ,  C03B37/01205 ,  C03B37/0122 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/075 ,  C03B2203/42 ,  G02B6/02347 ,  G02B6/0238

Abstract: A method of manufacturing an optical fibre, comprises: (i) forming a preform (10) for drawing into the fibre, the preform (10) comprising a bundle of elongate elements (20,50) arranged to form a first region that becomes a cladding region of the fibre and a second region that becomes a core region of the fibre; (ii) drawing the preform (10) into the fibre. The bundle of elongate elements (20,50) comprises a plurality of elongate elements (20) of a lower purity dielectric material and at least one elongate element (50) of a higher purity dielectric material. The first region comprises a plurality of the lower purity elements (20) and the second region comprises the higher purity element (50).

Abstract translation: 一种制造光纤的方法包括：（i）形成用于拉入纤维的预成型件（10），所述预成型件（10）包括一束细长元件（20,50），所述细长元件布置成形成第一区域，所述第一区域成为 纤维的包层区域和成为纤维的核心区域的第二区域; （ii）将预成型件（10）拉伸到纤维中。 细长元件束（20,50）包括多个较低纯度介电材料的细长元件（20）和至少一个较高纯度介电材料的细长元件（50）。 第一区域包括多个较低纯度元件（20），第二区域包括较高纯度元件（50）。

公开(公告)号：WO01092175A1

公开(公告)日：2001-12-06

申请号：PCT/EP2001/006061

申请日：2001-05-28

IPC: G02B1/00 ,  C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/21 ,  C03B2207/32 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/21 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57

Abstract: An object of the present invention is to provide a synthetic quartz glass optical material having a high optical transmittance for a radiation 157 nm in wavelength emitted from F2 excimer laser and a high resistance against irradiation of a F2 excimer laser radiation, yet having a uniformity suitable for such a fine pattenring using a F2 excimer laser, and to provide an optical member using the same. The problems above are solved by a synthetic quartz glass optical material for F2 excimer lasers having an OH group concentration of 0.5 ppm or lower, a fluorine concentration of 0.1 to 2 mol%, a hydrogen molecule concentration of 5 X 10 or lower, a difference between the maximum and minimum fluorine concentrations within 20 mol ppm, and a difference between the maximum and minimum refraction indices of 2 X 10 or lower.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种合成石英玻璃光学材料，其对于从F2准分子激光器发射的波长为157nm的辐射具有高的透光率，并且对F2受激准分子激光辐射的照射具有高的抗性，但具有适合的均匀性 对于使用F2准分子激光器的这种精细的图案，并提供使用其的光学构件。 上述问题通过具有OH基浓度为0.5ppm以下，氟浓度为0.1〜2mol％，氢分子浓度为5×10 <16λ的F2准分子激光的合成石英玻璃光学材料来解决。 分子/ cm 3以下，最大和最小氟浓度之间的差异在20摩尔ppm以内，最大和最小折射率之间的差异为2×10 -5以下。

公开(公告)号：WO01040125A1

公开(公告)日：2001-06-07

申请号：PCT/EP2000/011805

申请日：2000-11-27

IPC: C03B37/012

CPC classification number: C03B37/01291 ,  C03B37/01205 ,  C03B37/01211 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2203/22

Abstract: The invention relates to a method for economically producing a quartz glass rod consisting of synthetic quartz glass with a radially and axially homogenous refractive index curve. According to the invention, a whole cylinder consisting of quartz glass is coated with a coating tube consisting of porous glass, the latter shrinking onto the whole cylinder during sintering. The coating tube has a predetermined refractive index which ensures that there is a maximum increase in the refractive index value of 0.001 in the area of a contact surface between the whole cylinder and the shrank-on coating cylinder. A solid quartz glass rod produced in this way is characterized by a homogenous refractive index distribution in an axial and radial direction and comprises a whole cylinder consisting of synthetic quartz glass which is encased in a quartz glass layer formed by a coating tube consisting of porous quartz glass that is sintered and shrunk on with a maximum increase in the refractive index of 0.001 in the area of a contact surface. The inventive quartz glass rod is used for economically producing a preform for multimode fiber optical waveguides.

Abstract translation: 本发明提供了一种用于廉价地制造具有径向和轴向均匀的折射率分布的合成石英玻璃，其特征在于，根据本发明的收集与多孔二氧化硅的外壳管的石英玻璃棒，通过外包管的石英玻璃的实心圆柱体烧结到全汽缸和具有预定折射率的过程中收缩， 导致在全汽缸和aufgeschrumpftem外包管之间的接触表面的区域中，以从最大的0.001的折射率跳跃。 甲如此制备，固体石英玻璃棒的特征在于通过在轴向均匀的折射率分布并且在径向方向上。 它包括由通过一个包围通过烧结和收缩多孔二氧化硅玻璃形成石英玻璃层的套管，其中，在接触表面的区域中从最大的0.001呈现的折射率跳跃合成石英玻璃的实心圆柱体。 本发明的石英玻璃棒可以用于廉价生产的多模光纤的预制件的。

公开(公告)号：WO00058231A1

公开(公告)日：2000-10-05

申请号：PCT/JP2000/001869

申请日：2000-03-27

IPC: B08B7/00 ,  C03B19/14 ,  C03C3/06 ,  C03C23/00 ,  C03B20/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03C23/002 ,  B08B7/0057 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/21 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/50 ,  Y02P40/57

Abstract: A process for producing a synthetic quartz glass for optical members, which comprises the step of irradiating a synthetic quartz glass having an OH group content of 50 ppm or lower with vacuum ultraviolet having a wavelength of 180 nm or shorter to improve the transmittance in a region of wavelengths not longer than 165 nm.

Abstract translation: 一种光学部件用合成石英玻璃的制造方法，其特征在于，包括使用波长为180nm以下的真空紫外线照射OH基含量为50ppm以下的合成石英玻璃以提高区域的透射率的工序 的波长不超过165nm。

公开(公告)号：WO00055689A1

公开(公告)日：2000-09-21

申请号：PCT/US2000/003588

申请日：2000-02-11

IPC: C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  G03F1/00 ,  G03F7/20 ,  G03F1/14

CPC classification number: C03C4/0085 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B19/1492 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/21 ,  C03B2207/02 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/52 ,  C03B2207/54 ,  C03B2207/66 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/21 ,  G03F1/60

Abstract: The invention includes methods of making lithography photomask blanks. The invention also includes lithography photomask blanks and preforms for producing lithography photomask. The method of making a lithography photomask blank includes providing a soot deposition surface, producing SiO2 soot particles and projecting the SiO2 soot particles toward the soot deposition surface. The method includes successively depositing layers of the SiO2 soot particle on the deposition surface to form a coherent SiO2 porous glass preform body comprised of successive layers of the SiO2 soot particles and dehydrating the coherent SiO2 glass preform body to remove OH from the preform body. The SiO2 is exposed to and reacted with a fluorine containing compound and consolidated into a nonporous silicon oxyfluoride glass body with parallel layers of striae. The method further includes forming the consolidated silicon oxyfluoride glass body into a photomask blank having a planar surface with the orientation of the striae layer parallel to the photomask blank planar surface.

Abstract translation: 本发明包括制造光刻光掩模坯料的方法。 本发明还包括光刻光掩模坯料和用于生产光刻光掩模的预成型件。 制造光刻光掩模坯料的方法包括提供烟灰沉积表面，产生SiO 2烟灰颗粒并将SiO 2烟灰颗粒投射到烟灰沉积表面。 该方法包括在沉积表面上依次沉积SiO 2烟灰颗粒层，以形成由SiO 2烟灰颗粒的连续层组成的粘结SiO 2多孔玻璃预制体，并使相干的SiO 2玻璃预制体脱水以从预成型体中去除OH。 将SiO 2暴露于含氟化合物并与其反应，并固化成具有平行的条纹层的无孔氟硅氧化物玻璃体。 该方法还包括将固化的氟氧化硅玻璃体形成为具有平坦表面的光掩模坯料，其中条纹层的取向平行于光掩模坯料平面。

公开(公告)号：WO00026150A1

公开(公告)日：2000-05-11

申请号：PCT/JP1999/006046

申请日：1999-10-29

IPC: C03B37/012 ,  C03C25/68 ,  C03B37/014

CPC classification number: C03B37/01228 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/0124 ,  C03B37/01248 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2203/22 ,  C03C25/68 ,  G02B6/02261 ,  G02B6/02285 ,  G02B6/03644

Abstract: A method for producing a preform capable of restricting deformation of each member during a production process, and a method for producing, using the preform, an optical fiber small in polarization mode dispersion. In the method for producing the preform, a collapse process is divided into at least two steps; a first step of forming a first collapse body by the collapse of a core rod member and a first clad tube member and a second step of forming a new collapse body by the collapse of the first collapse body and a second clad tube member. An obtained collapse body is drawn in at least the first step; and such a multi-stage collapse process and drawing of an obtained collapse body can reduce an outer diameter ratio of an outer-side member to an inner-side member to be collapsed and hardly produce deformation that would be caused by heating and the like at one time collapse.

Abstract translation: 一种用于制造在制造过程中能够限制每个构件的变形的预成型件的方法，以及使用预成型体制造偏振模式分散小的光纤的方法。 在制造预成型体的方法中，将崩溃处理分为至少两个步骤; 通过芯棒构件和第一包层管构件的塌陷形成第一塌陷体的第一步骤和通过第一塌陷体和第二包层管构件的塌陷形成新的塌陷体的第二步骤。 至少在第一步中绘制获得的塌陷体; 这种多级塌陷处理和所获得的塌陷体的拉拔可以减小外侧构件与内侧构件的外径比，使其塌陷，并且几乎不产生由加热等引起的变形 一次崩溃