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公开(公告)号：KR100236717B1
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019970073508
申请日：1997-12-24
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01N15/02
Abstract: 본 발명은 크린룸용 방진복의 파티클발생 분석장치 및 이를 이용한 파티클 분석방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 방진복 분석장치는, 방진복이 착용가능한 인체모형기, 상기 인체모형기에 부착되며, 상기 인체모형기에서 에어를 방출시킬 수 있는 에어공급수단 및 상기 인체모형기에 부착되며, 상기 인체모형기에서 파티클을 방출시킬 수 있는 파티클공급수단을 구비하여 이루어지며, 본 발명에 따른 방진복 분석방법은, 상기 방진복을 세정하는 단계, 상기 방진복에서 발생되는 파티클의 개수를 측정하는 단계, 상기 인체모형기에 상기 방진복을 착용시키는 단계, 상기 에어공급수단에 의해서 방진복 내부에 에어를 방출하고, 상기 파티클공급수단에 의해서 방진복 내부에 파티클을 소정개수 방출하는 단계 및 상기 방진복 외부에서 파티클의 개수를 측정하는 단계를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
따라서, 방진복을 용이하게 분석할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019990075531A
公开(公告)日：1999-10-15
申请号：KR1019980009777
申请日：1998-03-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 반도체소자 제조를 위한 분석장비의 샘플로더에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 준비된 샘플의 이동시나 분석중 외부환경에 노출되어 오염되는 것을 최소화하여 영향에 의하여 신뢰성 있는 데이터를 얻을 수 있는 반도체소자 제조를 위한 분석장비의 샘플로더에 관한 것이다.
본 발명은 작업을 할 수 있는 상판을 갖는 클린벤치(Clean Bench); 상기 클린벤치 상에 위치하며 내부공간을 갖으며 상부 및 하부로 분리가능한 케이스; 상기 케이스의 상부에 형성되어 일부분을 개폐할 수 있는 윈도우; 및 상기 케이스에 내재되며 샘플용기를 장착할 다수의 샘플홀더가 형성된 샘플트레이(Sample Tray)를 포함하여 이루어진다.
따라서, 포집된 샘플을 샘플트레이에 고정시켜 케이스 내에 내재시켜 이동하고, 윈도우가 형성되어 필요시만 개폐되어 외부공기에 의한 오염을 방지하여 신뢰성 있는 분석을 할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019990053807A
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019970073508
申请日：1997-12-24
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명은 크린룸용 방진복의 파티클발생 분석장치 및 이를 이용한 파티클 분석방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 방진복 분석장치는, 방진복이 착용가능한 인체모형기, 상기 인체모형기에 부착되며, 상기 인체모형기에서 에어를 방출시킬 수 있는 에어공급수단 및 상기 인체모형기에 부착되며, 상기 인체모형기에서 파티클을 방출시킬 수 있는 파티클공급수단을 구비하여 이루어지며, 본 발명에 따른 방진복 분석방법은, 상기 방진복을 세정하는 단계, 상기 방진복에서 발생되는 파티클의 개수를 측정하는 단계, 상기 인체모형기에 상기 방진복을 착용시키는 단계, 상기 에어공급수단에 의해서 방진복 내부에 에어를 방출하고, 상기 파티클공급수단에 의해서 방진복 내부에 파티클을 소정개수 방출하는 단계 및 상기 방진복 외부에서 파티클의 개수를 측정하는 단계를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
따라서, 방진복을 용이하게 분석할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR102223033B1
公开(公告)日：2021-03-04
申请号：KR1020140051677
申请日：2014-04-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/673 , B65D85/38
Abstract: 서로마주보는제1측바디부및 제2측바디부, 상기제1측및 제2측바디부들의상부와연결된상부바디부, 상기제1측및 제2측바디부들의일측단부와연결된후면바디부, 및상기제1측및 제2측바디부들의하부와연결되며, 상기제1측및 제2측바디부들, 상기상부바디부및 후면바디부와함께내부공간을한정하는하부바디부를포함하는쉘 바디부; 상기상부바디부와상기제1측바디부사이의엣지영역상에배치되며상기하부바디부로부터상기상부바디부방향으로돌출된제1 핸들부; 상기상부바디부와상기제2측바디부사이의엣지영역상에배치되며상기하부바디부로부터상기상부바디부방향으로돌출된제2 핸들부; 상기내부공간에의해노출되는상기제1측바디부의제1 내측벽에배치된제1 슬롯부; 및상기내부공간에의해노출되는상기제2측바디부의제2 내측벽에배치된제2 슬롯부를포함하되, 상기제1 및제2 핸들부들의각각은상기쉘 바디부에결합되는서브핸들부및 상기서브핸들부상의메인핸들부를포함하고, 상기제1 및제2 슬롯부들의각각은복수의개별슬롯가이드및 상기개별슬롯가이드상의복수의서포터들을포함하고, 상기각각의서포터들은쉘 바디부의웨이퍼출입부로부터상기쉘 바디부의상기후면바디부방향으로갈수록높아지는경사진면을갖는웨이퍼수납장치가제공된다.
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公开(公告)号：KR101780789B1
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：KR1020100115102
申请日：2010-11-18
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/673 , H01L21/67 , B65D85/38 , H01L21/68
Abstract: 본발명은기판이송용기, 가스퍼지모니터링툴, 그리고이들을구비한반도체제조설비를개시한다. 기판이송용기의내부에는분자상오염물질, 온/습도, 파티클, 차압을감지부재들이배치되고, 감지부재들의검출신호는기판이송용기의외벽에배치된무선송신기를통해외부로실시간으로송출된다. 그리고, 가스퍼지모니터링툴은기판이송용기로퍼지가스를공급하는스토커의퍼지유닛들의정상가동여부를모니터링한다.
Abstract translation: 本发明公开了一种基板输送容器，气体吹扫监视工具以及具有该基板输送容器的半导体制造设备。 运输容器内衬底上/湿度，颗粒，和差分感压构件的分子污染物被设置，所述检测部件的检测信号通过设置在基板输送容器的外壁上的无线发射器被送出到在实时外部。 气体净化监视工具监视向基板输送容器供给净化气体的储存器的净化单元是否正常运转。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050113889A
公开(公告)日：2005-12-05
申请号：KR1020040039026
申请日：2004-05-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
CPC classification number: B65D85/30
Abstract: 본 발명은 웨이퍼 포장 용기에 관한 것으로, 하부 용기와 상부 용기를 포함하는 웨이퍼 포장 용기에 있어서, 상기 하부 용기는 베이스와, 상기 베이스 상에 배치된 실린더형의 측벽과, 상기 실린더형 측벽 바깥쪽에 그리고 상기 베이스 상에 상방으로 돌출된 결합부재를 포함하며, 상기 상부 용기는 캡과, 상기 캡 둘레에서 하방으로 형성된 용기 벽체와, 상기 결합부재가 삽입될 수 있는 결합홈을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 래치 방식으로 하부 용기와 상부 용기가 결합하므로 웨이퍼 표면이 긁히는 현상이 사라지게 된다. 그리고, 경사진 실린더 측벽 구조를 채용함으로써 웨이퍼 적재 및 탈착이 용이해지고 웨이퍼가 파손되는 현상도 사라지게 된다.
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公开(公告)号：KR1020050045695A
公开(公告)日：2005-05-17
申请号：KR1020030079859
申请日：2003-11-12
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67017 , H01L21/67772 , H01L21/67775
Abstract: 본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 상기 장치는 FOUP이 놓여지는 스테이지와 FOUP 도어를 개폐하는 도어 오프너를 가진다. 도어 오프너는 FOUP 도어와 결합되어 FOUP 도어를 FOUP으로부터 분리하는 도어 홀더를 가지며, 도어 홀더에는 FOUP 도어에 형성된 유입홀을 통해 FOUP 내로 질소가스를 분사하는 분사구와 FOUP 내의 공기가 배기되는 배기구가 형성된다.
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公开(公告)号：KR1020040108030A
公开(公告)日：2004-12-23
申请号：KR1020030038768
申请日：2003-06-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: PURPOSE: An apparatus for storing a semiconductor substrate is provided to hold exactly and securely a side of the substrate by using an elastic member made of a urethane foam. CONSTITUTION: An apparatus includes a housing and a cover. The housing(130) includes an opening at its upper portion and a plurality of slots(131) for storing vertically semiconductor substrates(100). The cover(110) is connected with the upper portion of the housing. The cover includes an elastic member(120) for pressurizing a side of each substrate. The elastic member is replaceable and contains a urethane foam.
Abstract translation: 目的：提供一种用于存储半导体衬底的装置，通过使用由聚氨酯泡沫制成的弹性构件来准确且牢固地保持衬底的侧面。 构成：装置包括壳体和盖子。 壳体（130）在其上部包括开口，以及用于存储垂直半导体衬底（100）的多个槽（131）。 盖（110）与壳体的上部连接。 盖包括用于对每个基板的一侧加压的弹性构件（120）。 弹性构件是可替换的并且包含聚氨酯泡沫。
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公开(公告)号：KR1020040100028A
公开(公告)日：2004-12-02
申请号：KR1020030032225
申请日：2003-05-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: A41D19/015
Abstract: PURPOSE: A vinyl glove for preventing pollution is provided to enhance a workability of a worker working in a clean room for a semiconductor manufacturing process by being adhered closely to fingers of the worker. CONSTITUTION: The vinyl glove for preventing a pollution(130) comprises a five finger part(100); a palm part(110); a wrist part(120); and a rubber coated part(140). The rubber coated part(140) is formed by coating an inner side of the finger part with a rubber, and so enhances a frictional force between the vinyl glove and worker's finger and prevents the finger part from being injured. A rubber of the rubber coated part includes a natural rubber or a synthetic rubber.
Abstract translation: 目的：提供用于防止污染的乙烯基手套，以通过紧密地粘附在工人的手指上来提高在洁净室中工作的半导体制造工艺中的工人的可操作性。 构成：用于防止污染的乙烯基手套（130）包括五指部分（100）; 一个手掌部分（110）; 腕部（120）; 和橡胶涂覆部分（140）。 橡胶涂覆部件（140）通过用橡胶涂覆手指部分的内侧而形成，从而增强了乙烯基手套与工人的手指之间的摩擦力，并且防止了手指部件受伤。 橡胶涂覆部分的橡胶包括天然橡胶或合成橡胶。
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公开(公告)号：KR1020040047303A
公开(公告)日：2004-06-05
申请号：KR1020020075458
申请日：2002-11-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/00 , H01L21/67017 , Y10S414/139
Abstract: PURPOSE: A substrate processing apparatus capable of controlling contamination of a substrate transfer module is provided to control various kinds of AMC(airborne molecular contamination) including moisture and ozone inside a substrate transfer chamber by supplying recirculating purge gas like nitrogen gas to the substrate transfer chamber of a substrate transfer module for transferring the substrate contained in a receptacle to a substrate processing part. CONSTITUTION: A plurality of substrates(104) are contained in a receptacle. The substrate processing part includes at least one process chamber for performing a predetermined process on the substrate. A substrate transfer unit(114) for transferring the substrates in the receptacle to the substrate processing part is installed inside the substrate transfer chamber(110). At least one rod port(112a) supports the receptacle, installed outside the substrate transfer chamber. The substrate transfer module(108) includes the substrate transfer chamber and the rod port. A gas supply unit(132) supplies purge gas(146a) to the substrate transfer chamber to purge the inside of the substrate transfer chamber, connected to the substrate transfer chamber. A gas circulating pipe(138) recirculates the purge gas in the substrate transfer chamber to supply the purge gas to the substrate transfer chamber. A contamination control unit(130) includes the gas supply unit and the gas circulating pipe.
Abstract translation: 目的：提供一种能够控制基板转印模块污染的基板处理装置，通过向基板输送室供给氮气等再循环吹扫气体来控制基板输送室内的各种含有水分和臭氧的AMC（空气分子污染物） 用于将容纳在容器中的基板转印到基板处理部分的基板转印模块。 构成：多个基板（104）容纳在容器中。 衬底处理部分包括用于在衬底上执行预定处理的至少一个处理室。 用于将基板在基座中传送到基板处理部的基板转印单元（114）安装在基板输送室（110）的内部。 至少一个杆端口（112a）支撑安装在基板传送室外部的插座。 衬底传送模块（108）包括衬底传送室和杆端口。 气体供给单元（132）将净化气体（146a）供给到基板输送室，以清洗与基板输送室连接的基板输送室的内部。 气体循环管（138）使清洗气体在衬底传送室中再循环，以将清洗气体供应到衬底传送室。 污染控制单元（130）包括气体供给单元和气体循环管。
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