Abstract:
본 발명은 부스팅 커패시터와 증가형 MOSFET인 리셋 트랜지스터를 구비하는 픽셀 회로에 관한 것이다. 본 발명에 따른 픽셀 회로는 포토 다이오드, 전송 트랜지스터, 리셋 트랜지스터, 신호 출력부 및 부스팅 커패시터를 구비한다. 상기 포토 다이오드는 입사되는 빛에 상응하여 광 전하를 생성한다. 상기 전송 트랜지스터는 전송 제어 신호에 응답하여 상기 광 전하를 플로팅 디퓨젼(Floating diffusion) 노드로 전송한다. 상기 리셋 트랜지스터는 리셋 제어 신호에 응답하여 전원 전압을 상기 플로팅 디퓨젼 노드로 전달한다. 상기 신호 출력부는 선택 제어 신호에 응답하여 상기 플로팅 디퓨젼 노드의 전압에 상응하는 전압 신호를 출력한다. 상기 부스팅 커패시터는 상기 전송 트랜지스터의 게이트 단자와 상기 플로팅 디퓨젼 노드 사이에 삽입된다. 본 발명에 있어서 상기 리셋 트랜지스터는 증가형 MOSFET(Enhancement type MOSFET)이다. 이미지 센서, 픽셀 회로, 부스팅 커패시터, 전송률
Abstract:
본 발명에서는 굴절률이 다른 무기질막들을 포토 다이오드(Photo Diode) 상에 얇게 교대로 적층함으로써 형성되는 컬러 필터층, 이를 구비하는 영상 감지 소자 및 컬러 필터층의 형성 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 컬러 필터층은 소정의 굴절률을 가지는 제 1 무기질막과 상기 제 1 무기질막보다 높은 굴절률을 가지는 제 2 무기질막을 구비하되, 상기 제 1 무기질막과 상기 제 2 무기질막은 상기 영상 감지 소자에 구비되는 광 센서 영역 상에 적층되어 다중층을 형성하며, 상기 다중층은 층의 두께가 고정된 고정 두께층과 통과시키고자 하는 빛의 파장 대역에 상응하도록 층의 두께가 결정되는 색 결정층을 구비하는 것을 특징으로 한다. 이미지 센서, 포토 다이오드, 컬러 필터, 다중층, 굴절률
Abstract:
적어도 메인 화소 어레이 영역의 전면을 노출시키는 패시베이션막을 갖는 이미지 센서들 및 그 제조방법들이 제공된다. 상기 이미지 센서들은 화소 어레이 영역 및 상기 화소 어레이 영역을 둘러싸는 주변회로 영역을 갖는 집적회로 기판을 구비한다. 상기 화소 어레이 영역 내의 상기 집적회로 기판에 복수개의 화소들이 제공된다. 상기 복수개의 화소들을 갖는 기판 상에 평평한 상부면을 갖는 층간절연막이 제공된다. 상기 층간절연막 상에 상부 패시베이션막 패턴이 배치된다. 상기 상부 패시베이션막 패턴은 상기 주변회로 영역 내의 상기 층간절연막을 덮고 상기 화소 어레이 영역 내의 상기 층간절연막을 완전히 노출시킨다. 이미지 센서, 패시베이션, 액티브 픽셀 센서
Abstract:
PURPOSE: A complementary metal oxide semiconductor(CMOS) image device is provided to normally perform a reset function even when exposure alignment for forming an ion implantation mask goes wrong, by eliminating the possibility that a low density doping region between a high density doping region and a channel region of a reset transistor functions as a barrier in exhausting optical charges when the reset transistor is open. CONSTITUTION: The CMOS image device has at least one pixel in a region where an image is detected. A semiconductor substrate layer is doped with impurities of the first conductivity type. A photodiode region is formed in the surface of the semiconductor substrate layer in a partial region of the pixel, doped with relatively low density impurities of the second conductivity type. The photodiode region includes a fixing region with a potential pinning layer(120) doped with the first conductivity type and an open region except the fixing region. A MOS-type reset transistor has a relatively high density source region doped with the second conductivity type so that a part of the source region overlaps the photodiode region in the open region.
Abstract:
이미지 센서의 단위 픽셀은 광전 변환부, 소자 분리부 및 전송 게이트를 포함한다. 광전 변환부는 입사광에 상응하는 광전하를 발생하도록 반도체 기판의 단위 화소 영역에 형성된다. 소자 분리부는 입사광의 누설 및 광전 변환부로부터의 확산 캐리어를 차단하기 위하여, 단위 화소 영역을 둘러싸고 반도체 기판의 제1 면으로부터 광전 변환부보다 깊게 수직으로 형성된다. 전송 게이트는 반도체 기판의 단위 화소 영역에서 광전 변환부보다 상부 영역에 형성된 플로팅 확산 영역에 광전하를 전달하기 위하여, 반도체 기판의 제1 면으로부터 광전 변환부와 인접하도록 수직으로 형성된다.
Abstract:
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 센서는 각 픽셀의 포토 다이오드의 양 측면에 플로팅 센싱 노드들이 대칭으로 배치됨으로써, 픽셀 어레이 내의 위치에 따른 픽셀의 CRA 특성 차이로 인한 레드 칼라와 같은 장파장 빛에 대한 픽셀 별 감도 차이를 줄일 수 있다. 또한, 각 픽셀에 포토 게이트를 배치하고, 광 전하 전송 시 상기 포토 게이트에 음의 전압을 인가함으로써 상기 포토 다이오드로부터 플로팅 센싱 노드들 각각으로의 광 전송 효율을 높일 수 있다.