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公开(公告)号：KR100360404B1
公开(公告)日：2002-11-13
申请号：KR1020000039556
申请日：2000-07-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B65B7/02
Abstract: 표면 열화를 방지하는 웨이퍼 패킹 방법을 개시한다. 본 발명의 일 관점은, 300㎜의 대구경 웨이퍼들이 삽입된 카세트를 폴리프로필렌 백(polypropylene bag)에 봉입한 후, 카세트를 폴리프로필렌 백에 봉입된 채로 알루미늄 백에 넣고, 알루미늄 백을 진공을 사용하지 않고 카세트의 외형을 따라 단단하게 밀착시키며 테두리를 몰딩(molding)하고 몰딩된 테두리 부분을 매끈하게 잘라내며 알루미늄 백을 봉한다. 즉, 타이트 컷(tight cut)으로 불필요한 테두리를 마무리한다.
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公开(公告)号：KR1020020006061A
公开(公告)日：2002-01-19
申请号：KR1020000039508
申请日：2000-07-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: PURPOSE: A method for displaying an identification mark of a semiconductor wafer is provided to easily manage the wafer, by uniformly determining identification marks so that a user can easily understand information regarding the wafer. CONSTITUTION: A series of marks corresponding to the specification of the semiconductor wafer are defined. The marks are displayed on the surface of the semiconductor wafer. The marks include a series of letters or numbers which indicate a grade and use of the semiconductor wafer, a production month and year, the serial number of the semiconductor wafer, the number of times of a regeneration process and the title of a manufacturer.
Abstract translation: 目的：提供一种用于显示半导体晶片的识别标记的方法，以便通过均匀地确定识别标记来容易地管理晶片，使得用户可以容易地理解关于晶片的信息。 规定：对应于半导体晶片的规格的一系列标记被定义。 标记显示在半导体晶片的表面上。 标记包括一系列字母或数字，表示半导体晶片的等级和使用，生产月份和年份，半导体晶片的序列号，再生过程的次数和制造商的标题。
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公开(公告)号：KR1020010092087A
公开(公告)日：2001-10-24
申请号：KR1020000014024
申请日：2000-03-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: PURPOSE: A method and an apparatus for measuring a dimensional parameter of a wafer are provided to measure accurately a dimensional parameter of a wafer by using an electric measuring method and an optical measuring method. CONSTITUTION: An electric measuring unit(350) measures a dimensional parameter of a wafer transferred from a wafer positioning unit(340) by an electric measuring method using a capacitance. An optical measuring unit(360) measures the dimensional parameter of the wafer transferred from the electric measuring unit(350) by an optical method using a laser beam. The electric measuring unit(350) measures a mean value of center thickness and total thickness of the wafer, a total thickness variation of the wafer, a total indicate reading of the wafer, and a site total indicate reading of the wafer. The optical measuring unit(360) measures a total warp rate of the dimensional parameter of the wafer. A control unit(310) controls the electric measuring unit(350) and the optical measuring unit(360) and displays measured data. A wafer loading unit(320) loads the wafer on a dimensional parameter measuring unit(300). The wafer positioning unit(340) fits the wafer in a reference position. A wafer unloading unit(340) unloads the wafer.
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量晶片的尺寸参数的方法和装置，以通过使用电测量方法和光学测量方法来精确地测量晶片的尺寸参数。 构成：电测量单元（350）通过使用电容的电测量方法测量从晶片定位单元（340）传送的晶片的尺寸参数。 光学测量单元（360）通过使用激光束的光学方法测量从电测量单元（350）传送的晶片的尺寸参数。 电测量单元（350）测量晶片的中心厚度和总厚度的平均值，晶片的总厚度变化，晶片的总指示读数以及晶片的位置总指示读数。 光学测量单元（360）测量晶片的尺寸参数的总翘曲率。 控制单元（310）控制电测量单元（350）和光学测量单元（360）并显示测量数据。 晶片加载单元（320）将晶片装载在尺寸参数测量单元（300）上。 晶片定位单元（340）将晶片适配在参考位置。 晶片卸载单元（340）卸载晶片。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019970059634A
公开(公告)日：1997-08-12
申请号：KR1019960002113
申请日：1996-01-30
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 안정훈
IPC: F24F11/02
Abstract: 본 발명은 공기조화기의 전기집진장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 상용교류전원을 고전압으로 승압시켜 코로나방전을 일으킴으로써 실내공기에 함유된 오염물질을 이온화시켜 집진하는 전기집진기(73)를 구비한 공기조화기에 있어서, 상기 상용교류전원을 승압 및 정류하여 직류고전압을 얻어 상기 전기집진기(73)에 인가하는 고압발생부, 상기 고압발생부에 상용교류전원을 인가 및 차단하도록 상기 고압발생부와 상기상용교류전원의 중간단에 설치된 스위치부(70), 상기 전기 집진기(73)의 구동필요여부에 따라 상기 스위치부(70)의 온오프를 제어하여 상기 고압발생부에 인가되는 상용교류전원을 단속시키는 제어부(10)를 구비한 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1019940020050A
公开(公告)日：1994-09-15
申请号：KR1019930001851
申请日：1993-02-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: F24F11/00
Abstract: 본 발명은 냉방운전시 과냉을 방지하고 공조효율을 향상시키는 공기조화기의 운전제어장치 및 방법에 관한것으로써, 실내온도검출수단으로부터 검출된 온도와 제1설정온도기억수단에 미리 설정된 온도를 비교하는 제1비교수단과, 팬모우터의 속도를 검출하여 팬모우터설정속도기억수단에 미리 설정된 속도와 비교하는 제2비교수단과, 압축기의 운전주파수를 검출하는 제1주파수검출수단으로부터 검출된 운전주파수와 제1설정주파수기억수단에 미리 설정된 운전주파수를 비교하는 제3비교수단과, 외기온도검출수단으로부터 검출된 실외온도와 제2설정온도기억수단에 미리 설정된 온도데이타를 비교하여 제2설정온도기억수단의 설정온도가 작을 경우 그 값을 출력하는 제4비교수단과, 상기 제1비교수단, 제2비교수단 및 제3비교수단으로부터 출력되 데이타가 있을 경우 시간을 카운트하여 적산하는 시간적산수단과, 상기 시간적산수단에서 출력되는 데이타와 설정시간기억수단에 미리 설정된 시간데이타를 비교하여 일정시간이 경과되었는지 여부를 판별하는 제1판정수단과, 상기 제1의 판정수단의 판정에 의해 설정시간기억수단에 설정된 시간이 클 경우 팬모우터를 구동하도록 제1판정수단의 출력신호에 따라 팬모우터에 구동신호를 출력하는 팬모우터구동수단과, 상기 제4비교수단으로부터 데이타가 출력되면 압축기의 운전주파수를 출력하도록 외기온도검출수단으로부터 검출된 실외의 온도를 대역별로 세분하여 판별하는 제2판정수단과, 압축기의 운전주파수를 검출하는 제2주파수검출수단과, 상기 제2주파수검출수단으로부터 검출된 운전주파수와 제2설정주파수기억수단에 미리 설정된 주파수를 비교하는 제5비교수단과, 상기 제5비교수단에서 비교결과 제2설정주파수기억수단에 설정된 주파수가 클 경우에 출력되는 데이타와 상기 제2판정수단에서 출력된 데이타를 받아 온도대역에 따른 운전주파수를 출력하는 제3판정수단과, 상기제1 및 제3판정수단으로 부터 출력되는 신호에 따라 압축기를 구동하는 신호를 출력하는 압축기구동수단으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1019940011893A
公开(公告)日：1994-06-22
申请号：KR1019920020544
申请日：1992-11-03
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 안정훈
Abstract: 본 발명은 공기조하기용 리모트콘트롤러에 관한 것으로 공기조화기의 온도설정, 풍량, 풍향등의 조건을 입력하는 키입력부(21)와, 사용자의 체감온도틀 검지하는 체온검지회로부(22), 이 체온검지회로부(22)에 검지된 체온을 기초로 상기 키입력부(21)로부터 설정된 공기조화기의 운전설정을 가변하는 운전설정조건연산부(23), 이 운전설정조건연산부로부터 설정·변경치를 처리하여 표시부(25) 및 상기 설정변경치를 실내기수신측으로 신호전송하는 신호송신회로부(26)로 인가한 콘트롤러(24)로 구성된다.
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公开(公告)号：KR1019930016727A
公开(公告)日：1993-08-26
申请号：KR1019920001216
申请日：1992-01-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 안정훈
IPC: F24F11/04
Abstract: 본 발명은 공기조화기의 상하루버 제어방법에 있어서, 공기조화기의 토출구에 설치되어 열교환기에서 열교환된 공기를 상하로 풍향조절제어할때 초기전원 투입시나 운전정지후 재운전시에는 루버의 위치가 어느곳에 위치하던지 초기의 위치에서 제어가 가능하도록 함으로써, 토출되는 풍향을 원하는 위치에 정확히 제어할 수 있어 쾌적한 공기조화를 할 수 있도록 한 것임.
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