집적 소자 및 그 제조 방법
    32.
    发明授权
    집적 소자 및 그 제조 방법 有权
    集成设备及其方法

    公开(公告)号:KR100787233B1

    公开(公告)日:2007-12-21

    申请号:KR1020060113303

    申请日:2006-11-16

    CPC classification number: H03H3/04 H03H9/0547 H03H9/174 Y10T29/42

    Abstract: An integrated device and a manufacturing method thereof are provided to widen a tuning range and reduce parasitic resistance happening in case of discrete connection by integrally manufacturing an FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator) and a variable capacitor. An integrated device includes a substrate(511), a resonance unit(510), a driving electrode layer(514), a first electrode layer(525), and a second electrode layer(524). The resonance unit is formed on the substrate. The driving electrode layer is formed on the substrate by being separated from the resonance unit. The first electrode layer is separated upward from the substrate, and is formed in the shape corresponding to the resonance unit. The second electrode layer is separated upward from the substrate, and is formed in the shape corresponding to the driving electrode layer. A step is between the first electrode layer and the second electrode.

    Abstract translation: 提供了一种集成器件及其制造方法,以通过整体制造FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)和可变电容器来扩大调谐范围并减小在分立连接的情况下发生的寄生电阻。 集成器件包括衬底(511),谐振单元(510),驱动电极层(514),第一电极层(525)和第二电极层(524)。 谐振单元形成在基板上。 通过与谐振单元分离,在基板上形成驱动电极层。 第一电极层从衬底向上分离,并且形成为对应于谐振单元的形状。 第二电极层从基板向上分离,形成为与驱动电极层对应的形状。 在第一电极层和第二电极之间的步骤。

    하나의 트리밍 인덕터를 사용하는 필터
    33.
    发明授权
    하나의 트리밍 인덕터를 사용하는 필터 有权
    滤波器包括一个微调电感器

    公开(公告)号:KR100750736B1

    公开(公告)日:2007-08-22

    申请号:KR1020050093791

    申请日:2005-10-06

    CPC classification number: H03H9/0542 H03H9/542 H03H9/564 H03H9/566

    Abstract: 하나의 트리밍인덕터를 사용하는 필터가 개시된다. 본 필터는, 외부단자와 전기적 연결이 가능한 제1포트, 제2포트, 및, 접지포트가 상부 표면에 형성된 기판, 기판 상에서 제1포트 및 제2포트를 직렬로 연결하는 제1 및 제2 직렬공진기, 기판 상에서 제1포트 및 제1직렬공진기 사이에 형성되는 노드에 연결되는 제1병렬공진기, 기판 상에서 제1 및 제2 직렬공진기 사이에 형성되는 노드에 연결되는 제2병렬공진기, 및, 일측이 제1 및 제2 병렬공진기 각각과 연결되며, 타측이 접지포트에 연결되는 트리밍인덕터를 포함한다. 이에 따라, 소형의 고성능 필터를 구현할 수 있게 된다.
    필터, 트리밍 인덕터, FBAR, 직렬공진기, 병렬공진기

    정전기력 및 압전력에 의해 구동되는 멤스 스위치
    34.
    发明授权
    정전기력 및 압전력에 의해 구동되는 멤스 스위치 失效
    MEMS开关由静电力和压电力驱动

    公开(公告)号:KR100726436B1

    公开(公告)日:2007-06-11

    申请号:KR1020050068648

    申请日:2005-07-27

    CPC classification number: H01H59/0009 H01H2057/006

    Abstract: 정전기력 및 압전력에 의해 구동되는 멤스 스위치가 개시된다. 본 멤스 스위치는, 기판, 기판 상부 표면 상의 소정의 제1 영역에 위치하는 제1 접점, 기판 상부 표면과 소정 거리 이격된 상태로 부유된 지지층, 지지층의 하부 표면에 제작된 제2 접점, 정전기력을 이용하여 지지층을 소정 방향으로 이동시키는 제1 엑츄에이터 및 압전력(Piezoelectric force)을 이용하여 지지층을 소정 방향으로 이동시키는 제2 엑츄에이터를 포함한다. 제1 엑츄에이터는 스위치 턴-온 과정에 사용된다. 제2 엑츄에이터는 제1 엑츄에이터와 함께 스위치 턴-온 과정에 사용될 수도 있고, 개별적으로 스위치 턴-오프 과정에 사용될 수도 있다. 이에 따라, 접점 간의 스틱션 현상을 방지할 수 있게 된다.
    정전기력, 압전력, 멤스 스위치, 지지층, 스틱션

    수직 콤 액츄에이터 알에프 멤스 스위치
    35.
    发明授权
    수직 콤 액츄에이터 알에프 멤스 스위치 有权
    立式梳子执行器射频微机电系统

    公开(公告)号:KR100726434B1

    公开(公告)日:2007-06-11

    申请号:KR1020050069374

    申请日:2005-07-29

    CPC classification number: H01H59/0009

    Abstract: 수직 콤 액츄에이터 알에프 멤스 스위치가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 RF MEMS 스위치는 기판, 기판 상부 표면상에 서로 소정의 간격으로 이격되어 증착되는 제1 신호라인 및 제2 신호라인, 기판 상부 표면을 기준으로, 제1 및 제2 신호라인 상 방향에 위치하며, 제1 및 제2 신호라인 각 각과 소정의 간격으로 이격된 액츄에이터, 및 기판 상부 표면을 기준으로, 액츄에이터의 상 방향에 위치하며, 소정의 구동 전압이 인가되면, 액츄에이터를 제1 신호라인 및 제 2 신호라인과 접촉하게 하는 고정부를 포함한다. 이에 의하여 액츄에이터가 기판에 붙는 현상을 방지할 수 있고, 저전압 구동이 가능하고, 삽입손실 및 전력손실을 줄일 수 있다.
    콤(comb) 구조, RF MEMS 스위치, 액츄에이터, 신호라인

    압전형 RF 멤스 소자 및 그 제조방법
    36.
    发明公开
    압전형 RF 멤스 소자 및 그 제조방법 有权
    压电RF MEMS器件及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020070056840A

    公开(公告)日:2007-06-04

    申请号:KR1020050115971

    申请日:2005-11-30

    CPC classification number: H01H57/00 H01L41/094 H01L41/314 H01L41/33

    Abstract: A piezoelectric RF MEMS device and a method for producing the same are provided to stabilize the operation of the piezoelectric RF MEMS device and to realize as a single package of a simple structure. A piezoelectric RF MEMS device(100) includes a top substrate(110), a bottom substrate(120), and a piezoelectric actuator(130). The top substrate includes an RF output signal line(111). The piezoelectric actuator is positioned at a bottom of the RF output signal line. The bottom substrate forms a cavity to separate one end of the piezoelectric actuator from other end. An RF input signal line is formed on top of the piezoelectric actuator. A connecting pad connects the RF signal line electrically by being contacted to the RF output signal line when the piezoelectric actuator is operated upward.

    Abstract translation: 提供了一种压电RF MEMS器件及其制造方法,用于稳定压电射频MEMS器件的工作,并实现简单结构的单一封装。 压电RF MEMS器件(100)包括顶部衬底(110),底部衬底(120)和压电致动器(130)。 顶部衬底包括RF输出信号线(111)。 压电致动器位于RF输出信号线的底部。 底部基底形成空腔以将压电致动器的一端与另一端分离。 RF输入信号线形成在压电致动器的顶部。 当压电致动器向上操作时,连接焊盘通过与RF输出信号线接触而将RF信号线电连接。

    위상변조기 및 그 제조방법, 이를 구비하는 듀플렉서
    37.
    发明授权
    위상변조기 및 그 제조방법, 이를 구비하는 듀플렉서 有权
    相位调制器,其制造方法以及具有该相位调制器的双工器

    公开(公告)号:KR100719121B1

    公开(公告)日:2007-05-18

    申请号:KR1020060071046

    申请日:2006-07-27

    Abstract: 제작 공정이 간단하여 구조가 단순한 위상변조기 및 그 제조방법, 이를 구비하는 듀플렉서가 개시된다. 개시된 본 발명에 의한 듀플렉서는, 송신 주파수 범위 내의 신호만을 통과시키는 송신 필터; 수신 주파수 범위 내의 신호만을 통과시키는 수신 필터; 및 송신 및 수신 필터 사이에 배치되어, 송신 및 수신 필터의 송수신 신호를 상호 격리시키는 위상변조기;를 포함하며, 위상변조기는, 입력 및 출력 포트가 마련되는 기판: 입력 및 출력 포트와 연결되도록 기판에 형성되는 인덕터; 및 인덕터의 소정 영역을 공유하여 형성되게 인덕터 형성 시 기판에 마련되는 캐패시터;를 포함한다.
    듀플렉서, 필터, 위상, 변조, 시프터, 인덕터, 캐패시터.

    Abstract translation: 公开了一种具有简单制造工艺和简单结构的相位调制器,其制造方法以及具有该调制器的双工器。 根据本发明的双工器包括:发送滤波器,用于仅使发送频率范围内的信号通过; 接收滤波器,用于仅通过接收频率范围内的信号; 以及设置在发射和接收滤波器之间的相位调制器,用于相互隔离发射和接收滤波器的发射和接收信号,该相位调制器包括:衬底,在衬底上提供输入和输出端口; 形成的电感; 并且,在形成电感器时,通过共用电感器的规定区域而形成在基板上的电容器。

    단일 원형편파안테나를 구비한 레이더 시스템
    38.
    发明授权
    단일 원형편파안테나를 구비한 레이더 시스템 失效
    雷达系统包括单个圆极化天线

    公开(公告)号:KR100713155B1

    公开(公告)日:2007-05-02

    申请号:KR1020050063434

    申请日:2005-07-13

    CPC classification number: H03D7/125 G01S7/026 G01S7/034 H01Q9/0435 H01Q21/24

    Abstract: 단일 원형편파안테나를 이용하는 레이더 시스템이 개시된다. 본 레이더 시스템은, 소정의 송신신호를 생성하는 송신단, 송신신호를 원형편파신호 형태로 방사한 후, 반사신호를 수신하는 원형편파안테나, 원형편파안테나에서 수신되는 수신신호를 송신신호와 격리시켜 후단으로 출력하는 편파기, 및, 편파기로부터 출력되는 수신신호를 수신하며, 송신단으로부터 누설되는 누설신호를 소정의 믹서 스위칭 신호로 사용하여 수신신호를 소정 주파수 신호로 변환한 후 출력하는 수신단을 포함한다. 이에 따라, 초소형, 고감도 레이더 시스템을 구현할 수 있다.
    레이더 시스템, 원형편파안테나, 편파기, 싱글엔디드 믹서

    단일 원형편파안테나를 구비한 레이더 시스템
    39.
    发明公开
    단일 원형편파안테나를 구비한 레이더 시스템 失效
    雷达系统包含单向圆极化天线

    公开(公告)号:KR1020070008312A

    公开(公告)日:2007-01-17

    申请号:KR1020050063434

    申请日:2005-07-13

    CPC classification number: H03D7/125 G01S7/026 G01S7/034 H01Q9/0435 H01Q21/24

    Abstract: A radar system having a single circularly polarized antenna is provided to increase reception sensitivity and to decrease the influence of interference radio wave. A radar system includes a sending terminal(130) for generating a predetermined sending signal; a single circularly polarized antenna(110) for emitting the sending signal in a circularly polarized signal form and then receiving a reflected signal; a polarizer(120) for isolating the signal, which is received from the circularly polarized antenna through a first port, from the sending signal by making the phase difference between the sending signal and the received signal into 90 degrees, and then outputting the received signal to a second port; and a reception terminal(140) for receiving the signal output from the polarizer.

    Abstract translation: 提供具有单个圆极化天线的雷达系统以增加接收灵敏度并降低干扰无线电波的影响。 雷达系统包括用于产生预定发送信号的发送终端(130) 单个圆极化天线(110),用于以圆偏振信号形式发射发送信号,然后接收反射信号; 偏振器(120),用于通过使发送信号和接收信号之间的相位差成90度隔离从圆形极化天线通过第一端口接收的信号与发送信号,然后输出接收信号 到第二个港口 以及用于接收从偏振器输出的信号的接收端子(140)。

    RF 스위치
    40.
    发明授权
    RF 스위치 失效
    射频开关

    公开(公告)号:KR100653083B1

    公开(公告)日:2006-12-01

    申请号:KR1020040113065

    申请日:2004-12-27

    Abstract: RF 신호의 손실을 줄일 수 있는 RF 스위치가 개시된다. 본 발명에 의한 RF 스위치는, 구동전원의 일단자와 연결되는 제1전극유닛; 상기 구동전원의 타단자와 연결되는 제2전극; 및 상기 구동전원으로부터 전원의 인가여부에 따라 상기 제1전극유닛 및 제2전극과 선택적으로 접촉되는 유전체;를 포함한다.
    RF 신호손실, 유전체, 임피던스, 스위치

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