-
公开(公告)号：KR1020080006911A
公开(公告)日：2008-01-17
申请号：KR1020060066245
申请日：2006-07-14
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: An AFM(Atomic Force Microscope) cantilever probe and a method for manufacturing the same are provided to facilitate setting of thickness of the cantilever with the microscopic probe and obtain desired natural resonance frequency of the cantilever. An AFM(Atomic Force Microscope) cantilever probe(200) comprises a handling part(240), a cantilever part(230), a probe part(210), and a probe(220). The handling part is made of a semiconductor substrate. The cantilever is elongated in bar-shape on the bottom of the handling part. The probe part, elongating on one side of the cantilever part, is shaped in vertically projected peak. The probe, provided on the peak of the probe part, makes contact with a surface of an analyzing object.
Abstract translation: 提供了一种AFM（原子力显微镜）悬臂探头及其制造方法，以便于利用微型探针设置悬臂的厚度，并获得悬臂的所需天然共振频率。 AFM（原子力显微镜）悬臂探针（200）包括处理部分（240），悬臂部分（230），探针部分（210）和探针（220）。 处理部由半导体基板构成。 悬臂在处理部分的底部呈杆形伸长。 在悬臂部分的一侧伸长的探针部分成形为垂直投影的峰。 在探针部分的峰上提供的探针与分析对象的表面接触。
-
公开(公告)号：KR1020070009789A
公开(公告)日：2007-01-19
申请号：KR1020050063672
申请日：2005-07-14
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01Q60/38 , H01L21/027 , H01L21/31 , H01L21/324
CPC classification number: G01Q60/38 , H01L21/0273 , H01L21/31 , H01L21/324
Abstract: A probe of an AFM(Atomic Force Microscope) cantilever using a ferroelectric is provided to precisely measure the electric polarization of the ferroelectric by using the ferroelectric in the probe of the cantilever. A probe of an AFM(Atomic Force Microscope) cantilever using a ferroelectric includes a cantilever support(100), an insulation layer(110), a metal layer(120), and a ferroelectric(130). The insulation layer is formed on the cantilever support. The metal layer is formed on the insulation layer. The ferroelectric is formed at the tip head of the metal layer. The ferroelectric has a domain of 180 degrees. The ferroelectric uses a PZT.
Abstract translation: 提供使用铁电体的AFM（原子力显微镜）悬臂的探针，通过在悬臂的探针中使用铁电体来精确测量铁电体的电极化。 使用铁电体的AFM（原子力显微镜）悬臂的探针包括悬臂支撑件（100），绝缘层（110），金属层（120）和铁电体（130）。 绝缘层形成在悬臂支架上。 金属层形成在绝缘层上。 铁电体形成在金属层的尖端处。 铁电体具有180度的域。 铁电使用PZT。
-
公开(公告)号：KR1020060005047A
公开(公告)日：2006-01-17
申请号：KR1020040053875
申请日：2004-07-12
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L27/105
CPC classification number: H01L28/55 , H01L21/02197 , H01L21/02266
Abstract: 본 발명은 단결정 기판과, 상기 단결정 기판 위에 증착되어 하부 전극으로 작용하며 고온 초전도 특성을 가지는 전도성 산화물 박막과, 상기 전도성 산화물 박막 위에 증착되는 강유전체 박막을 포함하는 초전도 전극을 이용한 나노스토리지 강유전체 매체구조에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 나노스토리지 강유전체 매체구조에서 요구되는 특성인 표면 거칠기가 나노미터 정도일 것과 결정학적 정렬성이 우수할 것과 강유전체 도메인의 표면 전위가 충분히 클 것과 같은 조건을 만족하는 매체구조를 실현할 수 있다.
강유전체 박막, 고온 초전도 특성, 나노스토리지, 전도성 산화물, 전극-
公开(公告)号：KR1020050020052A
公开(公告)日：2005-03-04
申请号：KR1020030057695
申请日：2003-08-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N13/16
Abstract: PURPOSE: A method for forming a channel of a cantilever for an atomic force microscope having an FET is provided to reduce a width of a channel of the cantilever without using an electric beam lithography process. CONSTITUTION: A method for forming a channel of a cantilever for an atomic force microscope having an FET includes forming a probe at a front end of the cantilever upwardly extending from a supporting part. A channel is formed at a lower region of the probe of the cantilever. At least two insulation layers(120) are stacked on an upper surface of a silicon layer(110) in which first conductive impurities are doped. The channel is formed at the silicon layer(110). The two insulation layers(120) are formed by using mutually different materials.
Abstract translation: 目的：提供一种用于形成具有FET的原子力显微镜的悬臂的通道的方法，以便不使用电子束光刻工艺来减小悬臂的通道的宽度。 构成：用于形成具有FET的原子力显微镜的悬臂的通道的方法包括在悬臂的前端形成从支撑部向上延伸的探针。 在悬臂的探针的下部区域形成有通道。 至少两个绝缘层（120）堆叠在其中掺杂有第一导电杂质的硅层（110）的上表面上。 沟道形成在硅层（110）处。 两个绝缘层（120）通过使用相互不同的材料形成。
-
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101618173B1
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：KR1020140195123
申请日：2014-12-31
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명은금속산화물을포함하는섬유로이루어진 branch 형상의지지체; 및상기지지체상에형성되는시드로부터성장된탄소구조체를포함하는무전원정전식공기필터와, 고분자물질, 금속산화물전구체및 금속촉매를포함하는혼합물을제조하는단계; 상기혼합물을전기방사하여금속산화물섬유를제조하는단계; 상기금속산화물섬유를열처리하여지지체를형성하는단계; 및상기지지체에탄소구조체를성장시키는단계;를포함하는무전원정전식공기필터의제조방법에관한발명으로서, 전원의공급없이정전방식으로공기속의미세한부유물질을포함하는오염원을제거하도록하는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种没有电源的电容式空气过滤器，包括：具有含金属氧化物的纤维的分支状支撑体; 以及从形成在所述支撑体上的种子生长的碳结构体和具有无电源的电容式空气过滤器的制造方法，其特征在于，包括：制造含有高分子材料，金属氧化物前体和金属催化剂的混合物的工序; 通过在所述混合物上进行电纺丝来生产金属氧化物纤维的步骤; 通过对所述金属氧化物纤维进行热处理而形成支撑体的工序; 以及使碳结构在支撑体中生长的步骤。 根据本发明，在空气中含有微细浮动物质的污染源可以以电容方式被去除，而不需要电力供应。
-
-
公开(公告)号：KR1020150007574A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：KR1020130081728
申请日：2013-07-11
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H05B3/20
CPC classification number: H05B3/141 , H05B3/22 , H05B2203/017 , H05B2214/04
Abstract: 산화아연나노와이어및 ITO 입자를이용한면상발열체및 그제조방법이개시된다. 본발명의일 실시예에따른면상발열체는기판; 및기판상에형성되는것으로, 산화아연나노와이어및 ITO(Indium Tin Oxide) 나노입자의하이브리드형태를갖는발열층을포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及使用氧化锌纳米线和氧化铟锡（ITO）颗粒的平面加热元件及其制造方法。 根据本发明实施例的平面加热元件包括：基板; 形成在基板上并具有氧化锌纳米线和ITO粒子的混合结构的发热层。
-
公开(公告)号：KR1020140141084A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：KR1020130062377
申请日：2013-05-31
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L41/083
CPC classification number: H01L41/0805 , H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/193 , H01L41/22
Abstract: 산화아연 나노와이어 압전필름 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일실시예에 따른 산화아연 나노와이어 압전필름 및 그 제조방법은 유연기판; 유연기판 상에 마련되는 하부전극; 하부전극 상에 수직 성장되는 산화아연 나노와이어; 및 산화아연 나노와이어를 캐핑(capping)시키는 캐핑 레이어를 포함하고, 캐핑 레이어는 폴리실라잔, 실세스퀴옥산 및 실란 화합물을 포함하는 코팅액으로 형성된다.
Abstract translation: 公开了一种ZnO纳米线压电膜及其制造方法。 根据本发明的ZnO纳米线压电膜包括柔性基板，形成在柔性基板上的底部电极，在底部电极上垂直生长的ZnO纳米线，以及封装ZnO纳米线的封盖层。 在根据本发明的制造方法中，覆盖层由包含聚硅烷，倍半硅氧烷和硅烷化合物的涂布溶液形成。
-
公开(公告)号：KR101447079B1
公开(公告)日：2014-10-06
申请号：KR1020130081727
申请日：2013-07-11
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H05B3/20
CPC classification number: H05B3/141 , H05B3/22 , H05B2203/017 , H05B2214/04
Abstract: The present invention relates to a planar heating element using zinc oxide nanoplates and a manufacturing method thereof. The planar heating element according to an embodiment of the present invention includes: a substrate; a heat emitting layer which is made of ZnO nanoplates on the substrate; and a protection layer which is formed on the top of the heat emitting layer. The present invention can provide the planar heating element configured to ensure even temperature distribution over the entire surface.
Abstract translation: 本发明涉及使用氧化锌纳米板的平面加热元件及其制造方法。 根据本发明实施例的平面加热元件包括：基板; 在衬底上由ZnO纳米板制成的发热层; 以及形成在发热层顶部的保护层。 本发明可以提供构造成确保在整个表面上均匀温度分布的平面加热元件。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
91
records
(took 0.035 seconds)
