-
公开(公告)号：KR1020050067895A
公开(公告)日：2005-07-05
申请号：KR1020030098928
申请日：2003-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01K7/02
Abstract: 본 발명은 밀리미터파 센서에 관한 것으로서, 소정의 DC드라이버 패드를 금속 신호선을 통해 안테나에 해당하는 밀리미터파 도파부와 연결시켜 DC전류를 입/출력시킬 수 있도록 함으로써 밀리미터파 도파부와 전기적으로 연결된 발열부에 소정의 열을 발생시키도록 하고, 더불어 소정의 온도감지부를 그 발열부의 주위에 형성하여 DC전류의 입/출력에 따라 발열부에서 발생하는 열을 감지하도록 함으로써, 외부에서 이를 이용해 DC전류를 조절하여 발열부가 항상 전이온도를 유지할 수 있도록 한다.
-
公开(公告)号：KR100294116B1
公开(公告)日：2001-07-12
申请号：KR1019970054034
申请日：1997-10-21
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G02B6/38
Abstract: PURPOSE: A method for fabricating a ferrule for multi-core type optical connector is provided to form a ferrule for multi-core type optical connector used in an optical connector for connecting one optical fiber with the other optical fiber. CONSTITUTION: A material layer reacted with an X-ray is formed on a substrate. The material layer is formed with a PMMA(Poly-Methyl-Meth-Acrylate) or a resin layer. An exposure process is performed by using an X-ray mask patterned with a ferrule shape. The exposure process is performed by irradiating the X-ray to the material layer. The substrate is exposed by developing the exposed material layer. A material layer having an opposite shape of the ferrule is formed in the substrate. The exposed substrate is filled by a plating structure. The plating structure is flattened by performing a polishing process. The material layer is removed. A lower plate(81) of the ferrule is obtained by separating the plating structure. An upper plate of the ferrule is obtained by performing the above processes, repeatedly. The lower plate(81) is combined with the upper plate.
-
公开(公告)号：KR100248195B1
公开(公告)日：2000-04-01
申请号：KR1019970044392
申请日：1997-08-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01B11/00
Abstract: 본 발명은 광원과, 상기 광원의 하부에 상기 광원으로부터 나온 광이 입사하는 제1 회절격자와, 상기 제1 회절격자를 통과한 광은 브래그 조건에 맞는 일정한 회절각을 갖는 ±m차 회절광으로 변경되며 상기 ±m차 회절광이 입사하도록 상기 제1 회절격자의 하부에 상기 제1 회절격자에 수직하게 위치하는 두 개의 거울과, 상기 거울의 하부에 상기 거울에 반사된 ±m차 회절광이 상기 회절각과 동일한 각도로 입사되고 상기 제1 회절격자와 간격이 같은 제2 회절격자와, 상기 제2 회절격자를 통과한 ±m차 회절광은 상기 제2 회절격자에 수직하게 회절되어 ±m'차 회절광으로 변경되며 상기 제2 회절격자의 하부에 상기 ±m'차 회절광의 위상차이로 인한 간섭광의 발생 및 세기 변화를 측정하는 광전센서를 포함하여 이루어진다. 본 발명의 변위측정장치는 광학계의 구성요소가 간편하며, 광축 정렬이 용이하다. 또한, 본 발명의 변위측정장치는 2개의 회절격자를 이용하여 변위를 측정하기 때문에 가공 및 측정기기의 측정 분해능 및 정밀도를 높일 수 있다.
-
公开(公告)号：KR100249317B1
公开(公告)日：2000-03-15
申请号：KR1019970068059
申请日：1997-12-12
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 리가(LIGA) 공정에 관한 것으로서, 우선, 패턴이 형성되어 있는 박막으로 이루어진 X-선용 마스크를 기판에 부착되어 있지 않고 양면이 노출되어 있는 감광막에 정렬시킨 다음, X-선을 조사하고 현상하여 감광막 패턴을 형성한다. 이때, 현상액에 의한 식각은 감광막의 윗면과 아래면을 통하여 이루어지므로 경사 식각이 가지는 폭이 줄어들어 기판에 부착되어 있는 채로 노광할 때보다 오차가 줄어든다. 또한, 감광막이 기판에 부착되어 있지 않으므로 X-ray의 광자에 의한 산란 또는 2차 전자 효과는 발생하지 않으므로, 현상 후에 감광막 패턴의 오차가 줄어든다.
-
公开(公告)号：KR1020000013879A
公开(公告)日：2000-03-06
申请号：KR1019980033000
申请日：1998-08-14
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L27/14
Abstract: PURPOSE: An alleviative ferroelectric lead magnesium niobate series ceramic composite is proved to be applied to an uncooled bolometric infrared detecting sensor and cut down production cost. CONSTITUTION: As starting materials, PbO, TiO2, MgNb2O6, and NiO are balanced to compound (1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 - xPbTiO3 (x is more than 0.03 and less than 0.09) and (1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 - xPbTiO3 - yNiO (x is more than 0.01 and less than 0.20, y is more than 0.005 and less than 0.10), which are composite of Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 series and mixed in an agitator by adding distilled water. The mixed sample is calcined, dried, and ground to attain a powder-typed sample. The powder-typed sample is shaped with a circular plate and agglomerated.
Abstract translation: 目的：减轻铁电铅铌酸铌系列陶瓷复合材料被应用于非制冷辐射红外探测传感器，降低生产成本。 构成：作为原料，PbO，TiO2，MgNb2O6和NiO与化合物（1-x）Pb（Mg1 / 3Nb2 / 3）O3-xPbTiO3（x大于0.03且小于0.09）和（1-x ）Pb（Mg1 / 3Nb2 / 3）O3-xPbTiO3-yNiO（x大于0.01且小于0.20，y大于0.005且小于0.10），它们是Pb（Mg1 / 3Nb2 / 3）O3系列 并通过加入蒸馏水在搅拌器中混合。 将混合的样品煅烧，干燥并研磨以获得粉末样品。 粉末样品成形为圆形板并凝聚。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019990020915A
公开(公告)日：1999-03-25
申请号：KR1019970044392
申请日：1997-08-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01B11/00
Abstract: 본 발명은 광원과, 상기 광원의 하부에 상기 광원으로부터 나온 광이 입사하는 제1 회절격자와, 상기 제1 회절격자를 통과한 광은 브래그 조건에 맞는 일정한 회절각을 갖는 ±m차 회절광으로 변경되며 상기 ±m차 회절광이 입사하도록 상기 제1 회절격자의 하부에 상기 제1 회절격자에 수직하게 위치하는 두 개의 거울과, 상기 거울의 하부에 상기 거울에 반사된 ±m차 회절광이 상기 회절각과 동일한 각도로 입사되고 상기 제1 회절격자와 간격이 같은 제2 회절격자와, 상기 제2 회절격자를 통과한 ±m차 회절광은 상기 제2 회절격자에 수직하게 회절되어 ±m'차 회절광으로 변경되며 상기 제2 회절격자의 하부에 상기 ±m'차 회절광의 위상차이로 인한 간섭광의 발생 및 세기 변화를 측정하는 광전센서를 포함하여 이루어진다. 본 발명의 변위측정장치는 광학계의 구성요소가 간편하며, 광축 정렬이 용이하다. 또한, 본 발명의 변위측정장치는 2개의 회절격자를 이용하여 변위를 측정하기 때문에 가공 및 측정기기의 측정 분해능 및 정밀도를 높일 수 있다.
-
公开(公告)号：KR1020170014959A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：KR1020150109051
申请日：2015-07-31
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명은무선센서및 이의전력제어기술에관한것으로, 무선센서의전력제어방법은 (a) 웨이크업이수행되면일련의동작을확인하는단계, (b) 상기일련의동작이특정기준을만족하면외부의무선전력송신장치에전력전송을요청하는단계및 (c) 상기전력전송이시작되면상기무선전력송신장치에의하여전송된전력을모니터링하여특정전력범위내에서상기전송된전력이벗어나지않도록제어하는단계를포함한다.
-
公开(公告)号：KR101489302B1
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：KR1020130090773
申请日：2013-07-31
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01L9/003 , H01L41/047 , H01L41/1132
Abstract: 본 발명은 압력센서에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 넓은 압력의 측정범위를 구비하는 압력센서를 제공하는데 있다. 또한, 압력센서는 전극을 형성하는 물질을 따로 구비할 필요가 없는 압력센서를 제공하는데 있다. 본 발명에 따른 압력센서는 상부로 갈수록 높이가 높은 상부면을 구성하는 계단식 구조의 웨이퍼, 웨이퍼를 수용할 수 있도록 형성된 반전된 계단식 구조로, 웨이퍼의 상부에 상기 웨이퍼와 이격된 상태로 배치되며, 외력에 의하여 웨이퍼에 접근하는 방향으로 변형가능한 변형웨이퍼, 웨이퍼와 변형웨이퍼 사이에 배치되어, 절연물질로 구성되며, 웨이퍼와 변형웨이퍼 사이의 거리를 유지시키는 보호필름을 포함한다.
Abstract translation: 压力传感器技术领域本发明涉及一种压力传感器，其目的在于提供一种压力传感器，该压力传感器具有宽范围压力的测量范围，不需要任何元件来形成电极。 根据本发明，压力传感器包括：构成朝向顶部具有较高高度的上表面的升压结构的晶片; 一个倒置的升压结构的可变形晶片，用于容纳位于其上侧的晶片，该晶片与晶片有一段距离，并且可通过外力向晶片变形; 以及放置在晶片和可变形晶片之间保护距离并且包括绝缘体的保护膜。
-
公开(公告)号：KR101197570B1
公开(公告)日：2012-11-06
申请号：KR1020100078776
申请日：2010-08-16
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 멤브레인 영역을 간편하게 특정할 수 있고, 압력이 가해지는 방향의 두께를 감소시켜 미소 센서를 구현할 수 있는 압저항형 압력센서 및 그의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
이를 위해, 본 발명은 하부전극으로 기능하는 제1 반도체층, 절연층 및 제2 반도체층이 적층된 기판과, 상기 제2 반도체층과 상기 절연층을 관통하여 상기 제1 반도체층 내로 확장된 식각 장벽층과, 상기 식각 장벽층에 의해 정의되어 상기 제1 반도체층 내에 형성된 공동과, 상기 제2 반도체층과 상기 절연층을 관통하여 상기 공동까지 확장된 개구부를 매립하는 밀봉막과, 상기 공동과 중첩되도록 상기 제2 반도체층 내에 형성된 상부전극과, 상기 상부전극과 접속된 제1 전극단자와, 상기 제2 반도체층과 상기 절연층을 관통하여 상기 제1 반도체층과 접속된 제2 전극단자를 포함하는 압저항형 압력센서를 제공한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 식각 선택비가 우수한 플루오르화크세논(XeF
2 ) 가스를 이용한 식각공정을 실시하여 공동을 형성함으로써 공동의 크기를 용이하게 제어할 수 있다. 또한, 공동을 밀봉하기 위한 밀봉막을 산화공정으로 형성함으로써 종래기술에 따른 증착공정에 비해 밀봉 특성을 개선시킬 수 있다. 더욱이, 공동 상부에 형성되는 밀봉막의 두께를 얇게 제어하는 것이 가능하여 미소 센서를 구현할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020110105197A
公开(公告)日：2011-09-26
申请号：KR1020100024318
申请日：2010-03-18
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L41/16
CPC classification number: H01L41/1873 , H01L41/0533 , H01L41/0838 , H01L41/318
Abstract: 본 발명은 솔-겔 방법을 이용하여 납이 첨가되지 않은 KNN계 고품질 압전박막의 형성을 위하여, 버퍼층을 삽입하여, 기판과 압전박막 간의 물리적 상수의 불일치에 의해 발생하는 잔류 응력을 효과적으로 감소시킬 수 있고, 이로 인해 기저 기판과의 물리적 상수 불일치에 따른 막의 특성 저하로 인해 발생하는 누설 전류 특성 등의 문제를 해결할 수 있다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
105
records
(took 0.023 seconds)
