公开(公告)号：KR1020130017189A

公开(公告)日：2013-02-20

申请号：KR1020110079483

申请日：2011-08-10

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 전영민 ,  황정민 ,  장지웅 ,  박민철 ,  우덕하 ,  김선호 ,  이석 ,  김재헌 ,  이택진

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/0274 ,  G03F7/70608 ,  G03F7/70616 ,  H01L22/12 ,  H01L22/30

Abstract: PURPOSE: A 3-dimensional image acquisition system for mask pattern inspection and a method thereof are provided to effectively inspect defects by tilting a stage for mounting a mask. CONSTITUTION: A moving unit(500) moves a stage to the X-, Y- or Z-axis. A tilting unit(600) tilts an angle of the stage to acquire the 3D height information of a mask. A CCD(Charged Coupled Device) camera(700) acquires a diffraction image reflected from the mask. A control device(800) performs inverse fast Fourier transform on the diffraction image to recover a pattern image of the mask and controls the moving unit and the tilting unit. [Reference numerals] (800) Control device

Abstract translation: 目的：提供一种用于掩模图案检查的三维图像采集系统及其方法，通过倾斜安装掩模的台架来有效地检测缺陷。 构成：移动单元（500）将平台移动到X轴，Y轴或Z轴。 倾斜单元（600）倾斜台的角度以获得掩模的3D高度信息。 CCD（电荷耦合器件）相机（700）获取从掩模反射的衍射图像。 控制装置（800）对衍射图像进行快速傅立叶逆变换，以恢复掩模的图案图像，并控制移动单元和倾斜单元。 （附图标记）（800）控制装置

公开(公告)号：KR1020130012713A

公开(公告)日：2013-02-05

申请号：KR1020110074038

申请日：2011-07-26

Applicant: 한국과학기술연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 이택진 ,  이석 ,  우덕하 ,  전영민 ,  김재헌 ,  이혁재 ,  이성춘

IPC: G06Q30/00 ,  H04W4/02 ,  H04W4/12 ,  G06F17/30

CPC classification number: G06Q30/018 ,  G06F17/30241 ,  H04W4/023 ,  H04W4/12

Abstract: PURPOSE: A location-based authentication system and an authentication method using the same are provided to efficiently prevent the distribution of imitation products by comparing first intrinsic information with first location information stored in an authentication server with each other. CONSTITUTION: A communication module(510) receives first intrinsic information and first location information of products. The communication module receives third location information of a consumer terminal while receiving second intrinsic information and second location information of the products from the consumer terminal. An encoding module(520) encodes the first intrinsic information and the first location information by using an encoding key. [Reference numerals] (500) Authentication server; (510) Communication module; (520) Encoding module; (530) Authentication module; (540) Database

Abstract translation: 目的：提供基于位置的认证系统和使用其的认证方法，以通过将第一固有信息与存储在认证服务器中的第一位置信息进行比较来有效地防止模仿产品的分发。 构成：通信模块（510）接收产品的第一固有信息和第一位置信息。 通信模块接收消费者终端的第三位置信息，同时从消费者终端接收产品的第二固有信息和第二位置信息。 编码模块（520）通过使用编码密钥对第一固有信息和第一位置信息进行编码。 （附图标记）（500）认证服务器; （510）通讯模块; （520）编码模块; （530）认证模块; （540）数据库

公开(公告)号：KR1020120126586A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：KR1020110044490

申请日：2011-05-12

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 전영민 ,  변영태 ,  장지웅 ,  김경헌 ,  이석 ,  우덕하 ,  김선호

IPC: B82B3/00 ,  B01J19/08

CPC classification number: B82Y30/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L51/0003 ,  H01L51/0018 ,  H01L51/0048 ,  H01L51/0508 ,  H01L51/0512

Abstract: PURPOSE: A controlling method of carbon nano-tube adsorption rate and a manufacturing method of carbon nano-tube using the same are provided to uniformly obtain adsorption quantity of carbon nano-tubes. CONSTITUTION: A controlling method of carbon nano-tube adsorption rate comprises the following steps: absorbing the carbon nano-tube particles on a semiconductor structure; and removing a part of absorbed carbon nano-tube by performing oxygen plasma treatment on the carbon nano-tube particles. The first step includes the following step: dipping a substrate on which photoresist pattern is formed in a solution in which carbon nano-tubes are dispersed in dichlorobenzene. The oxygen plasma treatment is performed for 5-30 seconds. A carbon nano-tube device manufacture method comprises the following steps: forming an insulating layer(210) on the substrate(200); forming a mask pattern(220) on an insulating layer; absorbing carbon nano-tube particles which are more than the reference amount in the opened domain among the mask pattern; and removing a part of absorbed carbon nano-tubes by performing the oxygen plasma treatment on the carbon nano-tube particles.

Abstract translation: 目的：提供碳纳米管吸附率的控制方法和使用其的碳纳米管的制造方法，以均匀地获得碳纳米管的吸附量。 构成：碳纳米管吸附速率的控制方法包括以下步骤：在半导体结构上吸收碳纳米管颗粒; 并通过对碳纳米管颗粒进行氧等离子体处理来去除一部分吸收的碳纳米管。 第一步包括以下步骤：在其中将碳纳米管分散在二氯苯中的溶液中浸渍形成有光致抗蚀剂图案的基板。 氧等离子体处理进行5-30秒。 碳纳米管装置制造方法包括以下步骤：在基板（200）上形成绝缘层（210）; 在绝缘层上形成掩模图案（220）; 吸收比掩模图案中的开放域中的参考量大的碳纳米管粒子; 并通过对碳纳米管颗粒进行氧等离子体处理来除去一部分吸收的碳纳米管。

公开(公告)号：KR101153934B1

公开(公告)日：2012-06-08

申请号：KR1020090114068

申请日：2009-11-24

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 우덕하 ,  김선호 ,  이석 ,  변영태 ,  전영민 ,  김재헌 ,  김신근

IPC: C23C14/24

Abstract: 본발명에서는증발장치용 PBN 도가니와, 상기도가니의외부표면에증착되어가열에적합하게패터닝된발열부를포함하는증발원, 그제작방법및 증발기가제시된다.

公开(公告)号：KR101119009B1

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：KR1020090019990

申请日：2009-03-09

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 우덕하 ,  김선호 ,  이석 ,  변영태 ,  전영민

IPC: H01L33/12

CPC classification number: H01L33/0079

Abstract: 이온주입에 의한 분리를 이용한 발광소자 제조 방법이 개시된다. 이 방법은 기판, 기판 상에 적층된 제1 도전형의 하부 반도체층, 활성층 및 제2 도전형의 상부 반도체층, 활성층 보다 낮은 낮은 영역에 형성된 분리층을 포함하는 적층 구조체를 형성하는 단계와, 열 공정으로 분리층의 상부와 하부를 분리시키는 단계를 포함한다. 이 방법에 의해 발광소자 제조 과정에서 크랙이 발생되는 것을 방지하고, 고효율, 저비용, 대면적의 발광소자를 단가 상승없이 제조할 수 있다.
발광소자, 이온주입, 분리, 열공정, 하부 반도체층, 활성층, 상부 반도체층

公开(公告)号：KR1020110129675A

公开(公告)日：2011-12-02

申请号：KR1020100049185

申请日：2010-05-26

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김재헌 ,  이석 ,  우덕하 ,  변영태 ,  김선호 ,  전영민 ,  장지웅 ,  김신근

IPC: G01N33/487 ,  G01N35/08 ,  G01N21/45

CPC classification number: G02B26/10 ,  G02B2006/1215 ,  G02B2006/12159

Abstract: PURPOSE: A beam scanning system for detecting a bio-substance by an optical phased array is provided to continuously detect the bio-substance without sample fixation. CONSTITUTION: A bean scanning system(100) comprises: a light source forming part(110) for forming a supercontinuum light source; a voltage application unit(120) for variably forming a voltage; and an optical device(130) which changes the phase of a supercontinuum light source to form and output beams(22). The optical device comprises an incident port, a plurality of output ports, and electrodes.

Abstract translation: 目的：提供用于通过光学相控阵列检测生物物质的束扫描系统，以在不进行样品固定的情况下连续检测生物物质。 构成：豆扫描系统（100）包括：用于形成超连续光源的光源形成部分（110）; 用于可变地形成电压的电压施加单元（120）; 以及改变超连续光源的相位以形成和输出光束（22）的光学装置（130）。 光学装置包括入射端口，多个输出端口和电极。

公开(公告)号：KR1020110060704A

公开(公告)日：2011-06-08

申请号：KR1020090117374

申请日：2009-11-30

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 변영태 ,  김선호 ,  이석 ,  김재헌 ,  김신근 ,  김경헌 ,  김수현

IPC: H01L29/84 ,  B82B3/00 ,  H01L21/28

Abstract: PURPOSE: A field effect transistor sensor array and a manufacturing method thereof are provided to simultaneously measure a plurality of materials by increasing the number of gate electrodes of a field effect transistor according to the kind of materials. CONSTITUTION: An n x n sensor array is arranged on a substrate. A plurality of gate electrodes corresponds to materials. A common source electrode commonly connects n sources comprising each row of the n x n sensor array. A common drain electrode commonly connects n drains comprising each row of the n x n sensor array. A nano wire channel is formed between the common source electrode and the common drain electrode.

Abstract translation: 目的：提供场效应晶体管传感器阵列及其制造方法，以通过根据材料的种类增加场效应晶体管的栅电极的数量来同时测量多种材料。 构成：一个n x n传感器阵列布置在基片上。 多个栅电极对应于材料。 公共源电极通常连接包括n×n个传感器阵列的每一行的n个源。 公共漏电极通常连接包括n×n个传感器阵列的每行的n个漏极。 在公共源电极和公共漏电极之间形成纳米线通道。

公开(公告)号：KR101017938B1

公开(公告)日：2011-03-04

申请号：KR1020090072426

申请日：2009-08-06

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김재헌 ,  이석 ,  우덕하 ,  김선호 ,  변영태 ,  전영민

IPC: H01S3/05

CPC classification number: H01S1/06

Abstract: 본 발명은 테라헤르츠파 생성기 및 이를 이용한 고출력 테라헤르츠파 생성 방법에 관한 것이다. 본 발명에서는 내부가 비어있는 구체와, 상기 구체의 소정 부위가 절개되어 설치되는 포커싱렌즈 또는 상기 구체의 소정 부위가 절개된 개구를 포함하고, 상기 구체의 내면이 금속으로 코팅된 테라헤르츠파 생성기와, 상기 포커싱렌즈 또는 상기 개구로 준위가 다른 2개의 주파수를 입사시켜 다수의 에어플라즈마(air plasma)를 생성하고, 상기 다수의 에어플라즈마가 상기 구체의 금속으로 코팅된 내면과 빈공간을 이용해 계속적인 포커싱(focusing)을 해줌으로써 고출력의 테라헤르츠파를 생성하는 방법이 제시된다. 본 발명에 의하면 계속적인 에어플라즈마를 생성함으로써 하나의 에어플라즈마를 이용하여 생성되는 테라헤르츠파의 광세기가 낮게 되는 것을 극복할 수 있다.
테라헤르츠파, 펨토초, 광신호

公开(公告)号：KR101007243B1

公开(公告)日：2011-01-13

申请号：KR1020080084549

申请日：2008-08-28

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 변영태 ,  이석 ,  김선호 ,  위재경 ,  이성수 ,  김부균 ,  하종찬 ,  임지훈

IPC: G01N21/66

Abstract: 본 발명은 저전력-저면적의 범용 다중 가스 검출 회로에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 센서별 전류 바이어스 회로 구성에 의해 다중 신호 검출이 가능할 뿐만 아니라, 검출하고자 하는 회로만을 활성화시켜 최대한 전력소모를 줄일 수 있는 다중 센서 신호의 검출 및 처리가 가능한 범용 검출 회로에 관한 것이다. 이러한 본 발명의 다중 가스 검출 회로는 센서의 단일 배열 및 다중 배열을 가능하게 하므로 복합 물질의 검출이 가능할 뿐만 아니라, 온도 측정 및 보상 회로부를 구비하여 센서의 온도 특성을 보상할 수 있고, 이에 가스의 존재 및 농도를 정확하게 검출할 수 있는 장점이 있게 된다.
반도체식, 가스 센서, 저전력, 저면적, 범용, 다중, 가스 검출 회로

公开(公告)号：KR100992834B1

公开(公告)日：2010-11-08

申请号：KR1020080084201

申请日：2008-08-28

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 변영태 ,  김선호 ,  이석 ,  우덕하 ,  김수현

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/027 ,  B82Y10/00

Abstract: 본 발명은 나노선 다중채널 전계효과 트랜지스터 소자의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기존의 나노구조 물질(나노튜브, 나노와이어)를 이용한 FET 소자 및 이를 이용한 화학센서와 바이오센서에서 전류운반능력과 전하(전자 또는 정공) 이동도를 향상시킬 수 있도록 한 나노선 다중채널 전계효과 트랜지스터 소자의 제조방법에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 레이저 간섭 리소그라피 공정을 통해 나노선 배열을 제조하는 단계; 상기 나노선 배열에 용액공정을 통해 나노물질을 자기조립하는 단계; 및 상기 나노물질이 자기조립된 나노선 배열을 이용하여 다중채널 전계효과 트랜지스터 소자를 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노선 다중채널 전계효과 트랜지스터 소자의 제조방법을 제공한다.
탄소나노튜브, 다중채널, 나노선 배열, 레이저 간섭 리소그라피, 용액공정