公开(公告)号：KR102223066B1

公开(公告)日：2021-03-05

申请号：KR1020190092686

申请日：2019-07-30

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박인규 ,  조민규 ,  지안성주

IPC: G01N27/407 ,  G01N33/00 ,  C23C14/58 ,  C23C14/02 ,  C23C14/20

Abstract: 본발명의일 실시예에따른팔라듐기반센서제조방법은, 전기방사를이용하여제1 기판위에다공성을가지는집합체를형성하는단계와, 상기집합체에소정두께로팔라듐을증착하는단계와, 상기팔라듐이증착된상기집합체를제2 기판상에배치하는단계와, 유기용매제를이용하여상기제2 기판상에배치된집합체를녹임에기초하여, 상기집합체형상의공간을포함하는팔라듐튜브를형성하는단계와, 상기제2 기판및 상기팔라듐튜브를이용하여팔라듐기반센서를제조하는단계를포함할수 있다.

公开(公告)号：KR102208383B1

公开(公告)日：2021-01-28

申请号：KR1020190081645

申请日：2019-07-05

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박인규 ,  조민규 ,  가오민

IPC: G01N27/407 ,  G01N27/12 ,  G01N33/00 ,  B82Y15/00

Abstract: 본발명의일 실시예에따른수소센서는, 도핑농도에따라복수의전극영역과하나의채널영역으로구획되는상부의반도체층이구비되는 SOI(Silicon-On-Insulator) 기판; 상기반도체층의상기복수의전극영역상에형성되는복수의전극; 및상기반도체층의상기채널영역을식각함으로써형성되는실리콘나노그물및 수소기체와반응하도록상기실리콘나노그물상에증착되는감지물질로구성되는감지부; 를포함한다.

公开(公告)号：KR102198765B1

公开(公告)日：2021-01-05

申请号：KR1020190011453

申请日：2019-01-29

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박인규 ,  조민규

IPC: H01L29/66 ,  H01L29/778 ,  H01L21/02 ,  H01L29/417

Abstract: 본발명의일 실시예에따른이종접합구조의수직형트랜지스터제조방법은, 제1 전자이동도를가지는제1 물질로구성되는제1 레이어, 상기제1 전자이동도보다큰 제2 전자이동도를가지는제2 물질로구성되는제2 레이어및 상기제1 물질로구성되는제3 레이어를포함하는다층구조를생성하는단계와, 상기다층구조에대해수직으로소스(source), 드레인(drain), 게이트(gate)를형성하여수직형트랜지스터를제조하는단계를포함할수 있다.

公开(公告)号：KR101980894B1

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：KR1020170074812

申请日：2017-06-14

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박인규 ,  이정용 ,  권동욱 ,  나광민

IPC: G01L1/24 ,  H01L31/042 ,  C08L83/00

公开(公告)号：KR101976024B1

公开(公告)日：2019-05-08

申请号：KR1020170147907

申请日：2017-11-08

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박인규 ,  권동욱 ,  구지민

IPC: C08J5/00 ,  C08K3/04 ,  C08L83/04

公开(公告)号：KR101927444B1

公开(公告)日：2019-03-12

申请号：KR1020170068881

申请日：2017-06-02

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박인규 ,  강경남 ,  이정용 ,  나광민

IPC: G01N21/78 ,  G01N33/00 ,  H01L31/042 ,  H02S40/38

公开(公告)号：KR101880176B1

公开(公告)日：2018-07-20

申请号：KR1020150167934

申请日：2015-11-27

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 성형진 ,  박인규 ,  오용석 ,  최동윤

IPC: B29C33/42 ,  B29C33/38 ,  H01L21/28

Abstract: 본발명은직접임프린팅용탄성체몰드와이를이용한높은종횡비를가지는와이어구조물제조방법에관한것으로서, 직접임프린팅용탄성체몰드의탄성변형과함께탄성체몰드와기판사이의슬립모션을통해다양한기능성물질들에대한높은종횡비를가지는와이어구조물들을제작가능하도록함으로써, 높은종횡비를가지는기능성와이어구조물들의생산성을높이고이들의제조원가를절감할수 있어다양한산업계와학계연구개발에활용할수 있는효과를갖는다.

公开(公告)号：KR101731173B1

公开(公告)日：2017-04-28

申请号：KR1020150124360

申请日：2015-09-02

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박인규 ,  권동욱

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L1/142

Abstract: 본발명에의하면, 제1 전극층; 상기제1 전극층과이격된제2 전극층; 및상기제1 전극층과상기제2 전극층사이에형성된유전층을포함하며, 상기유전층은다공성탄성중합체로이루어지는것을특징으로하는정전용량형압력센서가제공된다.

公开(公告)号：KR101707564B1

公开(公告)日：2017-02-16

申请号：KR1020150047014

申请日：2015-04-02

Applicant: 한국과학기술원 ,  재단법인 아산사회복지재단 ,  울산대학교 산학협력단

Inventor： 박인규 ,  박재호 ,  김상혁 ,  서준범 ,  김남국 ,  최재순

IPC: A61B5/053

Abstract: 본발명에따른조직생검술용바늘은복수개의생체지점들에대한임피던스를실시간으로측정할수 있고, 상기바늘은그 표면상에복수의전극배열로이루어진전극패턴을포함하고, 상기전극패턴은상기바늘의상하부를따라기 설정된간격만큼이격배치된제1 전극배열및 제2 전극배열을포함한다. 본발명은표면상에다수의전극배열을갖는조직생검용바늘을제안함으로써복수의전극측정을가능하게하는동시에전극형성의방향과개수에따라바늘주변의특정조직을선택적으로측정이가능하게한다.

公开(公告)号：KR1020150094981A

公开(公告)日：2015-08-20

申请号：KR1020140015954

申请日：2014-02-12

Applicant: 한국과학기술원 ,  한국기계연구원

Inventor： 박인규 ,  엄현진 ,  이재민 ,  이정용 ,  정준호 ,  이응숙

IPC: C25D5/00 ,  C25D3/56

CPC classification number: C25D5/00 ,  C25D3/56

Abstract: 투명전극의 내구성 향상을 위한 항산화막 코팅방법으로, 투명 전극을 이루는 금속 나노구조체 상에 항산화막을 전기도금 방식으로 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 투명전극의 내구성 향상을 위한 항산화막 코팅방법이 제공된다.

Abstract translation: 提供了一种涂覆抗氧化膜以提高透明电极的耐久性的方法，包括通过电镀方法在形成透明电极的金属纳米结构上涂覆抗氧化膜的步骤。