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公开(公告)号：KR100546773B1
公开(公告)日：2006-01-26
申请号：KR1020030064719
申请日：2003-09-18
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/122
CPC classification number: G11B11/10543 , B82Y20/00 , G02B6/1226 , G11B7/124
Abstract: 누설 플라즈몬 모드 커플러 및 이를 이용한 광자기 픽업 헤드용 편광 측정 모듈을 개시한다. 본 발명의 누설 플라즈몬 모드 커플러는 평판 도파로와 누설 플라즈몬 모드 도파로가 클래드층을 사이에 공유하면서 집적된 것이다. 본 발명의 편광 측정 모듈은 상기 누설 플라즈몬 모드 커플러의 상부에 제1 포토 다이오드를, 상기 평판 도파로의 출력단에 제2 포토 다이오드를 마련한 것이다. 평판 도파로를 통해 진행하는 도파 모드 중 TM 모드는 상기 누설 플라즈몬 모드 커플러를 통해 누설 플라즈몬 모드로 커플링되고 상기 누설 플라즈몬 모드 커플러를 따라 진행하면서 지속적으로 상기 제1 포토 다이오드 쪽으로 광 파워를 전달해 준다. 따라서, 모든 TM 모드 파워는 제1 포토 다이오드에 의해 검출되고, 커플링되지 못한 모든 TE 모드 파워는 제2 포토 다이오드에 의해 검출된다. TM 모드와 TE 모드가 효과적으로 분리되고, 파워의 차이로부터 편광 각도를 측정할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100527111B1
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：KR1020040015075
申请日：2004-03-05
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G11B11/105
Abstract: 본 발명은 블록 코폴리머를 이용한 광자기 매체의 제조방법에 관한 것으로, 특히 광자기 매체를 성형하기 위한 평활한 기판과 그의 상부에 일정하고 규칙적인 블록 코폴리머로 형성된 나노 패턴을 마스크로 하여 광자기 기록층을 형성함으로써, 광자기 매체의 기록밀도가 향상됨과 더불어 재생신호의 품질을 더욱 향상시킬 수 있는 블록 코폴리머를 이용한 광자기 매체의 제조방법에 대한 것이다.
본 발명의 블록 코폴리머를 이용한 광자기 매체의 제조방법은, (a) 기판의 상부에 하부층을 형성하는 단계; (b) 상기 하부층의 상부에 광자기 기록층을 형성하는 단계; (c) 상기 광자기 기록층의 상부에 일정한 두께로 블록 코폴리머층을 형성하는 단계; 및 (d) 식각공정을 통하여 나노 크기를 갖는 일정하고 규칙적인 패턴을 갖도록 패턴닝된 광자기 기록층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.-
公开(公告)号：KR100526679B1
公开(公告)日：2005-11-08
申请号：KR1020030048178
申请日：2003-07-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/12
Abstract: 본 발명은 광 커플링 효율(coupling efficiency)을 향상시킬 수 있는 광 도파로 격자 렌즈(Focusing waveguide grating coupler, FWGC)에 관한 것으로, 평면 도파로(planar waveguide), 경사진 격자(slanted grating), 프레넬 격자 렌즈(Fresnel lens)로 구성된다. 평면 도파로를 통해 도파되는 단일 모드(single mode)가 경사진 격자를 만나면서 브래그(Bragg) 조건을 만족하는 전파상수를 갖고 상부 클래딩(over cladding) 쪽으로 출력빔을 발생시킨다. 모드로부터 빠져 나온 빔은 프레넬 격자 렌즈에 의해 회절되어 클래딩 밖으로 빠져 나오면서 초점으로 모인다. 기존의 도파로 격자 렌즈가 클래딩 쪽과 기판 쪽으로 각각 50%의 커플링 효율을 갖는 반면, 본 발명에서 제안하는 광 도파로 격자 렌즈는 광 커플링 방향이 클래딩 쪽으로만 이루어지므로 50% 이상의 커플링 효율을 얻을 수 있다. 본 발명에서는 안정적이고 견고한 광민감성(photosensitivity) 유리에 광 각인(photo-imprinting) 방법으로 경사진 격자를 형성한다.
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公开(公告)号：KR100518030B1
公开(公告)日：2005-10-04
申请号：KR1020030045987
申请日：2003-07-08
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/28
Abstract: 본 발명은 제조 공정의 부담을 줄이면서도 단일 출력빔을 구현할 수 있는 누설모드를 이용한 광 커플러를 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은, 제1굴절율(n1)을 갖는 기판; 상기 기판 상에 배치된 제2굴절율(n2)의 제1코어층; 상기 제1코어층과 간격(d)를 갖고 이격되어 상기 제1코어층 상부에 배치된 제3굴절율(n3)의 제2코어층; 상기 제2코어층 상에 배치된 제4굴절율(n4)의 제1클래드층; 상기 제1클래드층 상에 배치되고, 상기 제1코어층과 상기 제2코어층 사이에 확장되어 게재된 제5굴절율(n5)의 제2클래드층; 및 상기 제2클래드층 상에 배치된 프레넬 렌즈를 포함하며, 상기 각 굴절율이 n5＞(n2, n3)＞n1 및 n5＞n4의 조건을 만족하고, 상기 제1코어층 및 상기 제2코어층을 통해 입사된 광이 상기 조건에 형성된 누설모드에 의해 상기 프레넬 렌즈에 누설빔으로 입사하며, 상기 누설빔은 상기 프레넬 격자에 의해 반사된 빔에 의해 상기 기판 하부로의 단일 방향 커플링을 이루어 광초점을 형성하는 것을 특징으로 하는 누설모드를 이용한 광 커플러를 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020050065900A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：KR1020030097062
申请日：2003-12-26
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01J4/04
CPC classification number: G01J4/04 , G01J1/0444 , G01R13/403 , H04N9/3197
Abstract: 본 발명은 집적 광 픽업 헤드(integrated optical pickup head, IOPH)를 광 자기 헤드로 구현하기 위해 필요한 Kerr 각도 측정 모듈에 관한 것이다. 본 발명의 Kerr 측정 모듈은 포토 다이오드, 홀로그래픽(holographic) 입력 커플러, 홀로그래픽 편광빔 분리기, 프리즘 등으로 구성되며, 실리카 기판으로 만들어진 광 도파로 격자렌즈(Focusing waveguide grating coupler)와 결합되어 광 자기 디스크로부터 반사되는 빔의 회전된 편광각을 검출하는 기능을 갖는다. 디스크에 반사된 빔은 격자렌즈에 의해 도파로를 따라 커플링되지만, 그 중 일부는 커플링되지 않고 실리카 기판을 투과하여 입력 커플러로 입사한다. 홀로그래픽 격자로 이루어진 입력 커플러는 홀로그래픽 편광빔 분리기의 빔 입사각을 만든다. 입력 커플러에 의해 회절된 빔 중 p 파는 편광빔 분리기를 투과하고(0차 회절), s 파는 브래그(Bragg) 조건을 만족하는 각도로 회절(1차 회절)한다. 편광 분리된 두 빔은 프리즘을 투과하여 분리되고, 공간적으로 분리된 빔은 포토 다이오드에 의해 각각의 파워가 검출된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050063640A
公开(公告)日：2005-06-28
申请号：KR1020040015074
申请日：2004-03-05
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G11B7/22
Abstract: 본 발명은 광자결정을 이용한 광픽업헤드의 제조방법에 관한 것으로, 특히 광도파로인 코아를 형성한 후, 형성된 코아의 일측면에 기판과 평행하게 입사된 광이 코아와 수직방향으로 전환되도록 그 내부에 일정크기의 결함을 갖는 광자결정을 형성함으로써, 모바일 기기등에 사용되도록 초경량, 초박형 광픽업헤드를 용이하게 구성할 수 있는 광자결정을 이용한 광픽업헤드의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 광자결정을 이용한 광픽업헤드의 제조방법은, (a) 기판의 상부에 하부 클래드층을 형성하는 단계; (b) 상기 하부 클래드층의 상부에 코아를 형성하는 단계; 및 (c) 상기 코아의 일측면에 나노 크기를 갖는 다수의 격자로 구성된 광자결정을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.-
公开(公告)号：KR1020050063639A
公开(公告)日：2005-06-28
申请号：KR1020040015073
申请日：2004-03-05
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G11B7/22
Abstract: 본 발명은 폴리머를 이용한 광픽업헤드의 제조방법에 관한 것으로, 특히 폴리머를 이용하여 광도파로인 폴리머 코아를 형성한 후, 형성된 폴리머 코아의 상부에 폴리머를 이용하여 굴절률이 상이한 폴리머 평면격자렌즈를 형성함으로써, 모바일 기기 등에 사용될 수 있는 초경량, 초박형 광픽업헤드를 용이하게 구성할 수 있을 뿐만 아니라 저가의 공정을 통해 대량생산이 가능한 폴리머를 이용한 광픽업헤드의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 폴리머를 이용한 광픽업헤드의 제조방법은, (a) 기판의 상부에 하부 클래드층을 형성하는 단계; (b) 상기 하부 클래드층의 상부에 폴리머를 이용한 폴리머 코아를 형성하는 단계; 및 (c) 상기 폴리머 코아의 상부에 폴리머를 이용하여 나노 크기를 갖는 다수의 곡선 격자로 구성된 폴리머 평면격자렌즈를 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.-
公开(公告)号：KR1020050063638A
公开(公告)日：2005-06-28
申请号：KR1020040015072
申请日：2004-03-05
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/027 , B82Y40/00
CPC classification number: G03F7/0015 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/0017
Abstract: 본 발명은 나노임프린트용 스탬퍼 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 나노임프린트용 스탬퍼로 사용될 기판과 그 상부에 도포되는 레지스트와의 사이에 접착력을 증대시키 위한 접착력 증대층을 형성하고, 전자선 묘화법의 직접쓰기법에 의해 나노크기의 레지스트 패턴을 형성함으로써, 나노크기를 갖는 소자들의 제작에 사용될 수 있으며 저가의 공정을 통해 대량생산이 가능하도록 한 나노임프린트용 스탬퍼 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 나노임프린트용 스탬퍼는, 스탬퍼용 기판; 상기 기판의 전체 상부면에 형성된 접착력 증대층; 전자선 묘화법의 직접쓰기법에 의해 형성된 나노크기의 레지스트 패턴을 포함하여 이루어진다.-
公开(公告)号：KR1020050008280A
公开(公告)日：2005-01-21
申请号：KR1020030048178
申请日：2003-07-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/12
Abstract: PURPOSE: An optical waveguide grating lens and a method for manufacturing the same are provided to obtain a coupling effect larger than 50% by making the optical coupling to be formed in a direction to the cladding. CONSTITUTION: An optical waveguide grating lens includes a substrate cladding(111), a core layer(112) and a top cladding(113). The core layer is formed thereon the sloped grating. The top cladding is provided with a Fresnel lens formed thereon. The optical waveguide grating lens is characterized in that the Fresnel grating lens focuses the light on the focal point after the single mode is diffracted to the top cladding by the sloped grating.
Abstract translation: 目的：提供一种光波导光栅透镜及其制造方法，通过使光耦合形成在与包层的方向上，获得大于50％的耦合效果。 构成：光波导光栅透镜包括基底包层（111），芯层（112）和顶部覆层（113）。 芯层在其上形成倾斜的光栅。 顶部包层上形成有菲涅耳透镜。 光波导光栅透镜的特征在于，在通过倾斜光栅将单模式衍射到顶部包层之后，菲涅耳光栅透镜将光聚焦在焦点上。
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公开(公告)号：KR100461505B1
公开(公告)日：2004-12-14
申请号：KR1020020011404
申请日：2002-03-04
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/84
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a nitride semiconductor substrate is provided to be capable of reducing manufacturing costs and increasing the area. CONSTITUTION: A buffer layer(11) made of an aluminum nitride(AlN) film is formed on a silicon substrate(10) for buffering lattice mismatch by using MBE(Molecular Bean Epitaxy). An oxide layer(11a) is formed on the buffer layer(11) by performing thermal oxidation processing. A nitride layer(12) is formed on the oxide layer(11a). Then, the silicon substrate(10) is removed.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造氮化物半导体衬底的方法，以能够降低制造成本和增加面积。 构成：在硅衬底（10）上形成由氮化铝（AlN）膜制成的缓冲层（11），以通过使用MBE（分子束外延）缓冲晶格失配。 通过执行热氧化处理在缓冲层（11）上形成氧化物层（11a）。 在氧化物层（11a）上形成氮化物层（12）。 然后，去除硅衬底（10）。
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