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公开(公告)号：KR1020080057956A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：KR1020060131916
申请日：2006-12-21
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/06
Abstract: An apparatus and a method for measuring thickness of a transparent plate regardless of rotational motion are provided to accurately measure the thickness regardless of an angle between the transparent plate and the apparatus. An apparatus for measuring thickness of an transparent plate regardless of rotational motion includes a laser(10), first to third optical dividers(4,7a,7b), two mirrors(6a,6b), two image sensors(3a,3b), and a signal processor(8). The first optical divider passes and reflects light from the laser. The two mirrors reflect each of two beams divided from the light of the laser. The second and third optical dividers input the two beams of the light and reflect the light reflected from the transparent plate. The two image sensors are arranged on a vertical line with the second and third optical dividers, respectively, for detecting the light reflected from the transparent plate. The signal processor calculates a mean thickness of the transparent plate by processing signals from the image sensors.
Abstract translation: 提供用于测量透明板的厚度而不管旋转运动如何的设备和方法，以精确地测量厚度，而与透明板和设备之间的角度无关。 无论旋转运动如何，用于测量透明板的厚度的装置包括激光器（10），第一至第三分光器（4,7a，7b），两个反射镜（6a，6b），两个图像传感器（3a，3b） 和信号处理器（8）。 第一光分路器通过并反射来自激光器的光。 两个反射镜反映了从激光的光分开的两个光束中的每一个。 第二和第三分光器输入光束的两束并且反射从透明板反射的光。 两个图像传感器分别与第二和第三分光器布置在垂直线上，用于检测从透明板反射的光。 信号处理器通过处理来自图像传感器的信号来计算透明板的平均厚度。
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公开(公告)号：KR100608892B1
公开(公告)日：2006-08-03
申请号：KR1020040000734
申请日：2004-01-06
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B9/02019 , G01B9/02056 , G01B2290/45 , G01B2290/70
Abstract: 본 발명은 서로 다른 물리량인 거리(변위)와 각도 변화를 동시에 측정하기 위해 하나의 광원에서 나온 빛을 하나의 광축 상에 둠으로써 정밀 측정기기나 가공기기의 스테이지(이송대)에 의해 위치 이동되는 측정기나 가공기의 변위와 각도 변화를 아베 오차(abbe error) 없이 동시에 측정할 수 있도록 한 것이다.
레이저 간섭계. 오토콜리메이터. 거리. 각도. 편광.-
33.发明公开광섬유에 의해 구현된 패브리 페로 공진기와 이를 이용한 원자간력 현미경에서의 외팔보 탐침의 변위 측정 및 보정시스템 失效具有凹凸镜的局部形状的纤维编织孔共振器和原子力显微镜中的扫描仪提示的位移测量和校正系统
公开(公告)号：KR1020030095049A
公开(公告)日：2003-12-18
申请号：KR1020020032558
申请日：2002-06-11
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B5/28
CPC classification number: G01Q20/02 , Y10S977/87
Abstract: PURPOSE: A fiber fabry-perot resonator and a displacement measuring and correcting system for a cantilever tip are provided to satisfy resonating conditions of the fiber fabry-perot resonator regardless of twist or inclination of a cantilever. CONSTITUTION: An atomic force microscope(13) includes a column(11) and a body(12). A head(10) is fixed to a predetermined portion of the column(11) through a piezoelectric device(9), which is movable in a z-axis direction. An optical fiber(1) is suspended to one end of the head(10) so as to measure displacement of a cantilever(3). The cantilever(3) is provided with a tip(5) making contact with a test sample placed on the body(12) of the atomic force microscope(13). A section surface of the optical fiber has a concave mirror shape. An upper surface of the cantilever(3) is formed with a reflective surface.
Abstract translation: 目的：提供一种用于悬臂尖端的纤维法布里 - 珀罗斯共振器和位移测量和校正系统，以满足纤维法布里 - 珀罗斯谐振器的谐振条件，而不管悬臂的扭转或倾斜。 构成：原子力显微镜（13）包括柱（11）和主体（12）。 头部（10）通过可沿z轴方向移动的压电装置（9）固定到柱（11）的预定部分。 光纤（1）悬挂在头部（10）的一端，以便测量悬臂（3）的位移。 悬臂（3）设置有与放置在原子力显微镜（13）的主体（12）上的测试样品接触的尖端（5）。 光纤的截面为凹面镜。 悬臂（3）的上表面形成有反射表面。
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公开(公告)号：KR101792632B1
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：KR1020160068129
申请日：2016-06-01
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01B9/02 , G01B11/02 , G02B27/14 , H01S3/11 , G01B9/02043 , G02B27/141 , H01S3/1106
Abstract: 본발명은절대거리측정장치를제공한다. 이절대거리측정장치는모드잠금광빗레이저; 상기모드잠금광빗레이저의출력광을제공받아기준경로와측정경로로빔을분할하는제1 광분할기; 상기기준경로의기준빔을제공받아제1 기준거울와제2 기준거울로빔을분할하는제2 광분할기; 상기제1 광분할기로부터상기측정경로의측정빔을제공받아반사시키는측정대상; 상기측정대상으로부터반사된빔을상기측정경로를따라상기제1 광분할기를통하여제공받고, 상기제1 기준거울로부터반사된빔, 그리고상기제2 기준거울로부터반사된빔을상기기준경로를따라상기제1 광분할기를통하여제공받아파장에따른스펙트럼을측정하는광 스펙트럼분석기; 및상기광 스펙트럼분석기의측정결과를분석하여상기측정대상의절대거리를추출하는연산부를포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种绝对距离测量装置。 绝对距离测量装置包括锁模光纤激光器; 第一分光器，用于接收所述锁模光梳激光器的输出光并将所述光束分成参考路径和测量路径; 第二分光器，用于接收参考路径的参考光束并将光束分成第一参考反射镜和第二参考反射镜; 测量目标，用于接收并反射来自第一分光器的测量路径的测量光束; 从待测量物体反射的光束沿着测量路径通过第一分束器提供，并且从第一参考反射镜反射的光束和从第二参考反射镜反射的光束沿着参考路径反射 光谱分析仪，通过第一分光器提供并根据波长测量光谱; 还有一个运算单元，用于分析光谱分析仪的测量结果并提取测量对象的绝对距离。
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公开(公告)号：KR1020170032700A
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：KR1020150130372
申请日：2015-09-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은두께측정장치를제공한다. 이두께측정장치는광대역광원; 상기광대역광원의출력광을전달하는제1 광섬유; 상기제1 광섬유를통하여전달된광을기준경로로진행하는기준빔과측정경로로진행하는측정빔으로분할하는제1 빔분할기; 상기기준빔을반사시키는기준경로거울; 상기측정빔을반사시키는측정경로거울; 상기기준경로거울에서반사된상기기준빔과상기측정빔을중첩하여간섭신호를생성하는제2 빔분할기; 상기간섭신호를전달하는제2 광섬유; 상기제2 광섬유를통하여전달된간섭신호를파장에따라측정하는스펙트럼분석기; 및상기스펙트럼분석기의출력신호를처리하여상기측정경로에삽입된측정대상의두께를산출하는처리부를포함한다. 상기기준경로와상기측정경로는사각형을형성하도록배치된다.
Abstract translation: 本发明提供了一种厚度测量装置。 厚度测量装置包括宽带光源; 用于传输宽带光源的输出光的第一光纤; 第一分束器，用于将通过第一光纤传输的光分成在参考路径上行进的参考光束和在测量路径上行进的测量光束; 用于反射参考光束的参考路径镜; 测量路径反射镜，用于反射测量光束; 第二分束器，用于通过叠加从参考路径镜反射的参考光束和测量光束来产生干涉信号; 用于传输干扰信号的第二光纤; 频谱分析器，用于根据波长来测量通过第二光纤传输的干扰信号; 以及处理器，用于处理频谱分析仪的输出信号以计算插入测量路径中的测量对象的厚度。 参考路径和测量路径排列成一个正方形。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150116332A
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：KR1020140041462
申请日：2014-04-07
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01B11/06 , G01B9/02 , G01N21/45 , G01N2021/456
Abstract: 본발명은두께측정장치및 두께측정방법을제공한다. 이두께측정광학장치는복수의파장에서발진하는광대역레이저광원; 상기광대역레이저광원의출력광을제1 포트로제공받아제2 포트로제공하고제2 포트로제공받은광을제3 포트로출력하는광서큘레이터; 상기광서큘레이터의제2 포트로부터출력되는광의일부를투과시키고나머지를반사시키는광분할기; 및상기광분할기로부터제공된광을반사시키는미러를포함한다. 측정대상은상기광분할기와상기미러사이에배치되고, 상기측정대상은상기광분할기를투과한광의일부를반사시키고나머지를투과시키어상기미러에제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种厚度测量装置和厚度测量方法。 厚度测量光学装置包括以多个波长振荡的宽带激光光源; 在第一端口中接收宽带激光光源的光的循环器，将光提供给第二端口，并通过第三端口输出在第二端口中接收的光; 光分路器，其透过通过光循环器的第二端口输出的一些光，并反射其余的光; 以及反射从分光器供应的光的镜子。 在光分路器和反射镜之间设置测量对象。 测量对象反映了通过光分路器传输的一些光，透过其余的光，然后将光提供给镜子。
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公开(公告)号：KR101533994B1
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020130128738
申请日：2013-10-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은광학장치및 표면형상측정장치를제공한다. 이장치는광대역의가간섭광을조사하는광원부; 입력단으로상기광원부의입사광을제공받아제1 출력단및 제2 출력단으로상기제1 입사광및 제2 입사광을분기하는제1 광섬유커플러; 상기제1 광섬유커플러의제2 출력단으로부터제2 입사광을제공받는제1 단자, 상기제1 단자로부터제공받은상기제1 입사광을샘플에제공하는제2 단자, 및상기샘플에서반사된반사광을상기제2 단자로제공받아출력하는제3 단자를포함하는광 서큘레이터; 상기제1 광섬유커플러의제1 출력단으로부터제1 입사광을제공받는제1 입력단, 상기반사광을제공받는제2 입력단, 및상기제2 입사광과상기반사광을결합하여출력하는출력단을포함하는제2 광섬유커플러; 및상기제2 광섬유커플러의출력광을제공받아파장에따라간섭광의세기를측정하는스펙트럼분석기를포함한다.
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公开(公告)号：KR101486272B1
公开(公告)日：2015-01-27
申请号：KR1020130025964
申请日：2013-03-12
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/06
Abstract: 본 발명은 투명 기판 모니터링 장치 및 투명 기판 모니터링 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 투명 기판 모니터링 장치는 광을 조사하는 발광부; 입사 광의 진행 방향을 가로지르는 제1 방향 및 제2 방향으로 정의되는 평면에 배치되고, 상기 제1 방향으로 서로 이격되어 상기 광을 통과시키는 제1 슬릿와 제2 슬릿을 포함하는 이중 슬릿; 상기 발광부와 상기 이중 슬릿의 사이에 배치된 투명 기판의 제1 위치를 투과하고 상기 제1 슬릿을 통과한 제1 광과 상기 투명 기판의 제2 위치를 투과하고 제2 슬릿을 통과한 제2 광에 의하여 스크린 평면 상에 형성된 간섭 패턴(interference pattern)을 측정하거나 상기 간섭 패턴의 위치 이동을 측정하는 광 검출부; 및 상기 광 검출부로부터 신호를 수신하여 상기 제1 위치 및 제2 위치에 기인한 광 위상차 또는 광 경로차를 산출하는 신호 처리부;를 포함한다.-
公开(公告)号：KR1020150005794A
公开(公告)日：2015-01-15
申请号：KR1020130078753
申请日：2013-07-05
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/06 , H01L21/67253
Abstract: 본 발명은 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법을 제공하는 것이다. 이 두께 측정 장치는 제1 파장 및 제2 파장의 레이저 빔을 순차적으로 투명 기판의 제1 위치에 조사하는 파장 가변 레이저; 상기 투명 기판을 투과한 투과 빔을 검출하는 광 검출기;및 제1 파장의 제1 투과 빔의 세기와 상기 제2 파장의 제2 투과 빔의 세기를 이용한 리자주 그래프에서 회전각, 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 광 경로의 차이(the difference in optical path length), 또는 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이를 추출하는 처리부를 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种厚度测量装置和厚度测量方法。 厚度测量装置包括：波长可变激光单元，其在透明基板上将第一波长和第二波长的激光束连续地发射到第一位置; 光检测器，其检测穿透透明基板的光束; 以及处理单元，其使用具有第一波长的第一穿透激光束的强度和具有第二波长的第二穿透激光束的强度从利萨如图提取旋转角度，相邻射线之间的光程长度差 通过在第一位置处的透明基板的内部反射，或通过透明基板在第一位置处的内部反射而使相邻光线的相位差。
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公开(公告)号：KR101390749B1
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：KR1020120093835
申请日：2012-08-27
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은, 광대역의가간섭광을조사하는발광부와, 적어도하나의미세홀을구비하며상기발광부로부터입사되는광을상기미세홀의바닥면에서반사하는피측정물과, 상기발광부로부터입사되는광을반사하며상기미세홀의바닥면에서반사된광과간섭을일으키는기준광을형성하는기준면과, 상기미세홀의바닥면및 상기기준면에서반사된광을수광하여간섭신호로부터상기미세홀의깊이를측정하는광 검출기와, 광섬유커플러및 상기광섬유커플러에서분기되는제1 광섬유, 제2 광섬유, 제3 광섬유및 제4 광섬유를포함하며, 상기제1 광섬유는상기발광부와연결되며상기발광부로부터입사되는광을상기광섬유커플러를통해상기제2 광섬유및 상기제3 광섬유에전달하고, 상기제2 광섬유는상기제2 광섬유의단부가상기기준면에대응되도록배치되어상기기준면에광을조사하여상기기준면에서반사된광을수광하고, 상기제3 광섬유는상기제3 광섬유의단부가상기미세홀에대응되도록배치되어상기미세홀에광을조사하여상기미세홀의바닥면에서반사되는광을수광하고, 상기제4 광섬유는상기광 검출기에연결되며상기제2 광섬유및 상기제3 광섬유로부터입사되는광을상기광섬유커플러를통해상기광 검출기에전달하는것을특징으로하는미세홀깊이측정장치를제공한다.
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