公开(公告)号：DE112011102135T5

公开(公告)日：2013-05-02

申请号：DE112011102135

申请日：2011-06-08

Applicant: IBM

Inventor： DOAN THAI ,  DUNBAR GEORGE A ,  HE ZHONG-XIANG ,  HERRIN RUSSELL T ,  JAHNES CHRISTOPHER V ,  MALING JEFFREY C ,  DANG DINH ,  MURPHY WILLIAM J ,  TWOMBLY JOHN G ,  STAMPER ANTHONY K ,  WHITE ERIC J

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H01H59/00

Abstract: Es werden Strukturen mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) mit planarem Hohlraum, Herstellungsverfahren und Design-Strukturen bereitgestellt. Das Verfahren weist das Bilden mindestens eines Hohlraums (60a, 60b) eines mikroelektromechanischen Systems (MEMS), welcher eine planare Fläche aufweist, unter Anwendung eines reversen Damaszener-Verfahrens auf.