Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von optoelektronischen Konversions-Halbleiterchips (61, 62), mit den Schritten: A) Bereitstellen eines Aufwachssubstrats (1), B) Aufwachsen einer Halbleiterschichtenfolge (2) auf das Aufwachssubstrat (1), C) Aufbringen eines elektrischen Kontakts (3) auf die dem Aufwachssubstrat (1) angewandte Rückseite (12) der Halbleiterschichtenfolge (2), D) Ausdünnen des Aufwachssubstrats (1), E) Aufbringen der Konversionsschicht (4) auf das ausgedünnte Aufwachssubstrat (1), und F) Vereinzeln zumindest des ausgedünnten Aufwachssubstrates (1) und der Halbleiterschichtenfolge (2) zur Erzeugung von mindestens zwei optoelektronischen Konversions-Halbleiterchips (61, 62).
Abstract:
In mindestens einer Ausführungsform ist das Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips (1) eingerichtet und umfasst die Schritte: A) Epitaktisches Wachsen einer Halbleiterschichtenfolge (3) auf einem Aufwachssubstrat (2), B) Aufbringen einer Stromaufweitungsschicht (4) aus einem transparenten, leitfähigen Oxid auf die Halbleiterschichtenfolge (3), C) Aufbringen einer Ätzmaske (6) auf die Stromaufweitungsschicht (4), D) Strukturieren der Stromaufweitungsschicht (4) sowie der Halbleiterschichtenfolge (3) durch Ätzen anhand derselben Ätzmaske (6), wobei ein Abstand einer Kante der Halbleiterschichtenfolge (3) zu einer Kante der Stromaufweitungsschicht (4) höchstens 3 μm beträgt.
Abstract:
In mindestens einer Ausführungsform ist das Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips (1) eingerichtet und beinhaltet die folgenden Schritte: Bereitstellen einer Halbleiterschichtenfolge (2) mit mindestens einer aktiven Schicht (20) zur Erzeugung einer elektromagnetischen Strahlung, Aufbringen eines sauerstoffhaltigen Silberspiegels (3) auf die Halbleiterschichtenfolge (2), wobei das Aufbringen des sauerstoffhaltigen Silberspiegels (3) durch Sputtern in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre erfolgt, und Fertigstellen des optoelektronischen Halbleiterchips (1).
Abstract:
Es wird ein Leuchtdiodenchip (1) angegeben, mit einer Halbleiterschichtenfolge (2), die eine zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung (13) geeignete aktive Schicht (3) aufweist, wobei der Leuchtdiodenchip (1) an einer Vorderseite eine Strahlungsaustrittsfläche (4) aufweist. Der Leuchtdiodenchip (1) weist an einer der Strahlungsaustrittsfläche (4) gegenüberliegenden Rückseite zumindest bereichsweise eine Spiegelschicht (5) auf, die Silber enthält. Auf der Spiegelschicht (5) ist eine Schutzschicht (6) angeordnet, die ein transparentes leitfähiges Oxid aufweist.
Abstract:
A thin-film encapsulation (11) for an optoelectronic semiconductor body comprising a PVD layer (6) deposited by means of a PVD method and a CVD layer (10) deposited by means of a CVD method is specified. An optoelectronic semiconductor body comprising a thin-film encapsulation and a method for producing a thin-film encapsulation are furthermore specified.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zum Sortieren von optoelektronischen Halbleiterbauelementen (10) angegeben. Die Halbleiterbauelement (10) weisen jeweils einen aktiven Bereich (100) zur Emission oder Detektion von elektromagnetischer Strahlung auf. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: - Einbringen der Halbleiterbauelemente (10) in einen Sortierbereich (2) auf einer vorgegebenen Bahn (3), - Bestrahlung der optoelektronischen Halbleiterbauelemente (10) mit elektromagnetischer Strahlung (50) eines ersten Wellenlängenbereichs zur Erzeugung von Dipolmomenten durch Ladungstrennung in den aktiven Bereichen (100) der optoelektronischen Halbleiterbauelemente (10), und - Ablenkung der optoelektronischen Halbleiterbauelemente (10) von der vorgegebenen Bahn (3) in Abhängigkeit ihres Dipolmoments mittels eines inhomogenen elektromagnetischen Feldes (60). Es wird weiterhin eine Vorrichtung zum Sortieren von optoelektronischen Halbleiterbauelementen (10) angegeben.
Abstract:
Es wird ein Bauelement (100) mit einem Träger (1), einem Halbleiterkörper (2) und einer dazwischen liegenden Spiegelschicht (3) angegeben, bei dem der Halbleiterkörper eine aktive Schicht (23) aufweist, die im Betrieb des Bauelements zur Erzeugung vom Licht eingerichtet ist. Das Bauelement weist eine Hauptfläche (101) auf, die im Betrieb des Bauelements leuchtet, wobei leuchtende Bereiche der Hauptfläche visuell erfassbare Information in Form eines Piktogramms (P) wiedergeben, wobei das Piktogramm in Draufsicht auf die Hauptfläche eine Kontur aufweist, die zumindest teilweise durch eine Kontur der Spiegelschicht definiert ist, und wobei das Bauelement in Draufsicht auf die Hauptfläche einen Umriss aufweist, der sich von der Kontur des Piktogramms unterscheidet. Des Weiteren wird ein Verfahren angegeben, das zur Herstellung eines solchen Bauelements geeignet ist.
Abstract:
Es wird eine Vorrichtung mit zumindest einem optoelektronischen Halbleiterbauelement (2), das auf einem Anschlussträger (9) angeordnet ist, angegeben, wobei das optoelektronische Halbleiterbauelement einen Halbleiterkörper (20) mit einem zur Erzeugung und/oder zum Empfangen von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich (23) aufweist. Das optoelektronische Halbleiterbauelement weist einen Formkörper (4) auf, durch den sich ein erster elektrischer Kontakt (55) und ein zweiter elektrischer Kontakt (56) zur elektrischen Kontaktierung des Halbleiterkörpers hindurch erstrecken. Der Formkörper weist eine Seitenfläche (40) auf, die das Halbleiterbauelement in einer lateralen Richtung begrenzt. Der Anschlussträger und die Seitenfläche des Formkörpers sind zumindest bereichsweise von einer strahlungsundurchlässigen Deckschicht (7) bedeckt.
Abstract:
Es wird ein Bauelement (100)mit einem Halbleiterkörper (2), einem Träger (1) und einer in vertikaler Richtung zwischen dem Halbleiterkörper und dem Träger angeordneten Stabilisierungsschicht (3) angegeben, wobei - der Halbleiterkörper eine dem Träger abgewandte erste Halbleiterschicht (21), eine dem Träger zugewandte zweite Halbleiterschicht (22) und eine zwischen der ersten Halbleiterschicht und der zweiten Halbleiterschicht angeordnete aktive Schicht (23) aufweist, - der Träger einen ersten Durchkontakt (41) und einen durch einen Zwischenbereich (40) von dem ersten Durchkontakt lateral beabstandeten zweiten Durchkontakt (42) aufweist, wobei der erste Durchkontakt mit der ersten Halbleiterschicht elektrisch leitend verbunden ist und der zweite Durchkontakt mit der zweiten Halbleiterschicht elektrisch leitend verbundenist, und - die Stabilisierungsschichtzusammenhängend ausgebildetist, in Draufsicht Überlappungen mit den Durchkontakten (41, 42) aufweist und den Zwischenbereich lateral überbrückt, wobei die Stabilisierungsschicht von den Durchkontakten sowie von dem Halbleiterkörper elektrisch isoliert ist. Des Weiteren wird ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauelements angegeben, bei dem der Träger (1) schrittweise am Halbleiterkörper (2) ausgebildet wird.