Abstract:
Ein optoelektronischer Halbleiterchip (100) umfasst eine Halbleiterschichtenfolge (1) mit einer aktiven Schicht (10) zur Emission elektromagnetischer Strahlung. Ferner umfasst der Halbleiterchip (1) zwei Kontaktelemente (21, 22) auf einer Rückseite (12) der Halbleiterschichtenfolge (1) sowie ein strahlungsdurchlässiges Kühlelement (3) auf einer der Rückseite (12) gegenüberliegenden Vorderseite (11) der Halbleiterschichtenfolge(1). Zwischen dem Kühlelement (3) und der Halbleiterschichtenfolge (1) ist eine Siloxan-haltige Konverterschicht (4) angeordnet. Die Kontaktelemente (21, 22) dienen zur elektrischen Kontaktierung des Halbleiterchips (100) und liegen im unmontierten Zustand des Halbleiterchips (100) frei. Das Kühlelement (3) ist von einem Aufwachssubstrat der Halbleiterschichtenfolge (1) verschieden und weist eine thermische Leitfähigkeit von mindestens 0,7 W/(m∙K) auf.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Halbleiterbauelements angegeben, mit den Schritten: a) Bereitstellen einer Halbleiterschichtenfolge (200) mit einem zum Erzeugen von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich (20), der eine Mehrzahl von Emissionsbereichen (3) aufweist; b) Ausbilden einer Mehrzahl von ersten Kontaktstellen (41), die jeweils mit einem Emissionsbereich elektrisch leitend verbunden sind, auf der Halbleiterschichtenfolge; c) Befüllen der Zwischenräume (45) zwischen den Kontaktstellen mit einer Formmasse (50); und d) Anordnen der Halbleiterschichtenfolge auf einem Anschlussträger (6) mit einer Ansteuerschaltung (65) und einer Mehrzahl von Anschlussflächen (61), wobei die ersten Kontaktstellen jeweils mit einer Anschlussfläche elektrisch leitend verbunden werden und die Emissionsbereiche mittels der Ansteuerschaltung unabhängig voneinander ansteuerbar sind. Weiterhin wird ein optoelektronisches Halbleiterbauelement (1) angegeben.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Halbleiterchips angegeben, umfassend die Schritte: a) Bereitstellen einer Halbleiterschichtenfolge (2) mit einem zum Erzeugen oder zum Empfangen von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich (20) auf einem Substrat (29); b) Ausbilden zumindest einer Ausnehmung (25), die sich durch den aktiven Bereich erstreckt; c) Ausbilden einer metallischen Verstärkungsschicht (3) auf der Halbleiterschichtenfolge mittels galvanischer Abscheidung, wobei die metallische Verstärkungsschicht die Halbleiterschichtenfolge vollständig bedeckt und die Ausnehmung zumindest teilweise füllt; und d) Entfernen des Substrats. Weiterhin wird ein optoelektronischer Halbleiterchip (1) angegeben.
Abstract:
Halbleiterbauelement - mit mindestens einem Halbleiterchip (10), der einen Halbleiterkörper (1) mit einem aktiven Bereich (12), ein Konversionselement (6) und einen Träger (3) umfasst, und der Träger (3) einen ersten Formkörper (33), einen ersten Leiterkörper (31) und einen zweiten Leiterkörper (32) aufweist, und die Leiterkörper (31, 32) mit dem aktiven Bereich (12) elektrisch leidend verbunden sind, und bei dem eine vom aktiven Bereich (12) abgewandte Seite des Konversionselements (6) eine Vorderseite (101) des Halbleiterchips (10) bildet und eine vom aktiven Bereich (12) abgewandte Seite des Trägers (3) eine Rückseite (102) des Halbleiterchips (10) bildet, und Seitenflächen (103) des Halbleiterchips Vorder- (101) und Rückseite (102) miteinander verbinden, und - mit einem zweiten Formkörper (5), wobei - der Halbleiterchip (10) den zweiten Formkörper (5) vollständig durchdringt, derart, dass der zweite Formkörper (5) einen Rahmen um den Halbleiterchip (10) bildet und dass die Vorderseite (101) und die Rückseite (102) des Halbleiterchips (10) zumindest stellenweise frei vom zweiten Formkörper (5) sind, und - der zweite Formkörper (5) an den Seitenflächen des Halbleiterchips (10) freiliegende Flächen des Konversionselements (6) zumindest teilweise überdeckt.
Abstract:
Es wird ein Bauelement (100) angegeben, das einen Träger (1), einen Halbleiterkörper (2) und eine in vertikaler Richtung zumindest bereichsweise zwischen dem Träger und dem Halbleiterkörper angeordnete Verdrahtungsstruktur (8) aufweist, wobei - die Verdrahtungsstruktur zur elektrischen Kontaktierung des Halbleiterkörpers eine erste Anschlussfläche (31) und eine zweite Anschlussfläche (32) aufweist, die an den Träger angrenzen und verschiedenen elektrischen Polaritäten des Bauelements zugeordnet sind, - der Träger eine metallische Trägerschicht (4) und einen ersten Durchkontakt (61) aufweist, wobei sich der erste Durchkonktakt in der vertikalen Richtung durch die Trägerschicht hindurch erstreckt, von der Trägerschicht durch eine Isolierungsschicht (5) elektrisch isoliert ist und an einer der Verdrahtungsstruktur zugewandten Vorderseite (11) des Trägers mit einer der Anschlussflächen (31, 32) im elektrischen Kontakt steht, - das Bauelement über den Träger extern elektrisch kontaktierbar ausgestaltet ist, und - der Träger einen Metallanteil von mindestens 60 Volumen- und/oder Gewichtsprozent aufweist. Des Weiteren wird ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauelements angegeben.
Abstract:
Ein optoelektronisches Bauelement (10) umfasst eine Halbleiter- Schichtstruktur (100), die eine Quantenfilmstruktur als aktive Schicht (140) und eine p-dotierte Schicht (160) aufweist, die oberhalb der Quantenfilmstruktur (140) angeordnet ist. Die p-dotierte Schicht (160) umfasst mindestens eine erste Teilschicht (161) und eine zweite Teilschicht (162). Die zweite Teilschicht (162) weist einen höheren Dotiergrad (323) auf als die erste Teilschicht (161).
Abstract:
Ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Halbleiterchips umfasst Schritte zum Bereitstellen eines Substrats, zum Aufwachsen einer ersten Schicht, zum Durchführen eines Ätzprozesses,um V-Defekte anzulegen, zum Aufwachsen einer zweiten Schicht, und zum Aufwachsen einer Quantenfilmstruktur.
Abstract:
Es wird ein Halbleiterbauelement (1) angegeben umfassend - einen Halbleiterkörper (2) mit - einer ersten Halbleiterschicht (3) und einer zweiten Halbleiterschicht (4), - einer ersten Hauptfläche (2A) und einer der ersten Hauptfläche (2A) gegenüberliegenden zweiten Hauptfläche(2B), wobei die erste Hauptfläche (2A) durch eine Oberfläche der ersten Halbleiterschicht (3) und die zweite Hauptfläche (2B) durch eine Oberfläche der zweiten Halbleiterschicht (4) gebildet wird, - mindestens einer Seitenfläche(2C, 2D), welche die erste Hauptfläche (2A) mit der zweiten Hauptfläche (2B) verbindet, - eine elektrisch leitende Trägerschicht(7), die die zweite Hauptfläche (2B) zumindest bereichsweise überdeckt, und - eine elektrisch leitende Verformungsschicht (8), die die zweite Hauptfläche (2B) zumindest bereichsweise überdeckt, wobei die elektrisch leitende Verformungsschicht (8) eine gleich große oder höhere Elastizität aufweist wie die elektrisch leitende Trägerschicht (7). Des Weiteren wird ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Halbleiterbauelements (1) angegeben.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauteils (10) angegeben, wobei ein gerichtetes Abscheiden einer Metallisierung (3) mit ersten Maskenstrukturen (2), und nachfolgend ungerichtetes Abscheiden eines ersten Passivierungsmaterials (4a) auf die Metallisierung (3) erfolgt. Weiterhin erfolgt ein Einbringen von Ausnehmungen (A) in den Halbleiterkörper (1), so dass die Ausnehmungen bis in einen n-Typ Halbleiterbereich (1b) reichen sowie ein Aufbringen eines zweiten Passivierungsmaterials (4b) auf Seitenflächen (A1) der Ausnehmungen (A). Weiterhin wird ein n-Kontaktmaterial (5) aufgebracht, strukturiert und passiviert. In einem weiteren Verfahrensschritt werden Kontaktstrukturen (7) auf den Halbleiterkörper (1) angeordnet und elektrisch mit dem n-Kontaktmaterial (5) und der Metallisierung (3) verbunden, wobei die Kontaktstrukturen (7) und der Halbleiterkörper (1) mit einem Verguss (8) vergossen und abgedeckt werden.
Abstract:
Es wird ein Halbleiterchip angegeben, mit - einem Träger (3), der einen ersten Leiterkörper (31), einen zweiten Leiterkörper (32) und einen Formkörper (33) umfasst, - einer elektrisch isolierenden Schicht (4), die eine erste Öffnung (41) und eine zweite Öffnung (42) umfasst, und - ersten und zweiten Anschlussstellen (51, 52), die elektrisch leitend ist, wobei - der erste Leiterkörper (31) vom zweiten Leiterkörper (32) einen ersten Abstand (D1) aufweist, - die erste Anschlussstelle (51) von der zweiten Anschlussstelle (52) einen zweiten Abstand (D2) aufweist, und - der erste Abstand (D1) kleiner als der zweite Abstand (D2) ist.