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公开(公告)号:CN102030483B
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201010523969.9
申请日:2010-10-29
Applicant: 浙江大学
CPC classification number: B05D5/061 , B01J13/14 , B01J13/203 , B05D1/005 , B82Y20/00 , B82Y30/00 , G02B1/111 , G02B1/118 , G02B5/0247
Abstract: 本发明公开了一种由纳米聚合物中空粒子组成的多孔防反射薄膜的制备方法。它的步骤如下:1)将纳米聚合物胶囊配制成质量百分比浓度为3~7%的水分散液,通过匀胶机在基材表面进行单面或双面旋涂,形成含纳米聚合物胶囊的薄膜;2)将上述含纳米聚合物胶囊的薄膜经真空高温干燥,待薄膜中纳米聚合物胶囊的核心材料完全挥发后,纳米聚合物胶囊变成了纳米聚合物中空粒子,得到由纳米聚合物中空粒子组成的多孔防反射薄膜。本发明的制备工艺简单,通过改变纳米聚合物胶囊水分散液的浓度和纳米聚合物中空粒子的空腔体积分率可方便有效的调节多孔防反射薄膜的厚度和折光指数,且所制备的多孔防反射薄膜具有较高的机械强度和耐摩擦性能。
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公开(公告)号:CN102452798A
公开(公告)日:2012-05-16
申请号:CN201010625086.9
申请日:2010-12-24
Applicant: 乐金显示有限公司
CPC classification number: B05B15/52 , B05B3/12 , B05B15/5223 , B05B15/55 , B05B15/70 , B05C3/09 , B05C3/10 , B05C11/11 , B05C13/00 , B05D1/005 , B05D1/02 , B05D1/26 , B41J2/16547 , C03C17/002 , G03F7/16 , G11B7/266 , H01L21/67051 , Y10S134/902 , Y10S135/902
Abstract: 涂布装置及利用该涂布装置形成涂布层的方法。一种涂布装置包括:喷嘴,其具有被配置成喷射涂布溶液的喷嘴前端以及被配置成存储该涂布溶液的头部;移动轴,其被配置成使所述喷嘴沿直线前后移动;旋转连接部件,其被配置成连接所述移动轴与所述喷嘴并允许所述喷嘴旋转;工作台,其设置在所述移动轴下方;以及清洁装置,其设置在所述移动轴的一端,并具有所述喷嘴前端的凹形的喷嘴前端插入单元和固定该喷嘴前端插入单元的基部,其中,所述喷嘴在所述工作台的表面的法线方向上被所述移动轴固定,在所述移动轴的延伸方向上前后移动,并且相对于所述移动轴旋转。
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公开(公告)号:CN101414132B
公开(公告)日:2012-01-11
申请号:CN200810166610.3
申请日:2008-10-15
Applicant: 株式会社迅动
IPC: G03F7/30
CPC classification number: G03F7/30 , B05D1/005 , G03F7/2041 , G03F7/3021 , H01L21/6715
Abstract: 一种显影装置,具有:旋转卡盘,其用于保持基板,而且所保持的所述基板能够自由旋转;显影液喷嘴,其形成有排成一列的喷出显影液的多个喷出口,并且使各喷出口喷出的显影液以相互分离的状态附着到基板上;水平移动机构,在俯视观察时,其将喷出口的排列方向保持在朝向基板中心的一个方向,同时沿该一个方向移动显影液喷嘴,从而在俯视观察时于基板的大致中心和周边缘之间移动显影液喷嘴;控制部,其控制旋转卡盘和水平移动机构,使显影液分别以螺旋状从各喷出口附着到基板上,从而对基板进行显影。
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公开(公告)号:CN102227659A
公开(公告)日:2011-10-26
申请号:CN200980148101.0
申请日:2009-09-25
Applicant: 加利福尼亚太平洋生物科学股份有限公司
CPC classification number: G01N21/6452 , B05D1/005 , C23C16/50 , G01N21/253 , G02B6/12002 , G02B6/131 , G02B6/132 , G02B6/136 , G02B2006/12035 , G02B2006/12061 , G02B2006/12104 , G02B2006/12164 , G02B2006/12197
Abstract: 揭示了用于超高多路分析分立的反应的设备、系统和方法,同时降低了光学噪声并增加了系统灵活性。这种设备包括具有集成光学元件的基片,通过增加反应区域密度、改善光线到分立的反应区域的透射或改善来自分立的反应区域的光线的收集中的一种或多种来增加多路分析能力。集成光学元件包括反射光学元件,用于使照射光线和从分立的区域发出的光线转向从而更有效地收集所发出的光线。尤其优选的应用包括单分子反应分析,例如聚合酶介导的模板依赖性核酸合成和序列测定。
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公开(公告)号:CN102150234A
公开(公告)日:2011-08-10
申请号:CN200980135993.0
申请日:2009-11-05
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/027 , G03F7/16 , H01L21/31 , H01L21/312 , H01L21/316
CPC classification number: H01L21/6715 , B05D1/005 , B05D3/0486 , G03F7/162 , H01L21/67253
Abstract: 本发明提供一种成膜装置(1),具有:负载涂布对象物(W)的平台(2),使平台(2)在水平面内旋转的旋转机构(3),在平台(2)上负载的涂布对象物(W)上的规定区域中涂布材料而形成涂布膜(M)的涂布部(4),产生能溶解涂布膜(M)的溶剂蒸气的供气部(5),对在平台(2)上负载的涂布对象物(W)上的涂布膜(M)喷吹由供气部(5)产生的溶剂蒸气的喷吹部(6),控制由喷吹部(6)喷吹的上述溶剂蒸气量,使其为能溶解涂布膜(M)、涂布膜(M)的表层侧部分的粘度比涂布对象物(W)侧部分的粘度低的量的控制部(9)。
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公开(公告)号:CN101905205A
公开(公告)日:2010-12-08
申请号:CN201010200797.1
申请日:2010-06-08
CPC classification number: H01L21/6715 , B05B12/08 , B05B12/084 , B05B15/52 , B05B15/555 , B05B15/557 , B05C5/0216 , B05C5/0291 , B05C11/08 , B05D1/005 , B41J2/165 , B41J2/16579 , H01L21/67051
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是,实现材料利用效率以及作业率的提高,且防止以涂覆喷嘴的污染为起因的膜厚均匀性的降低。本发明中,成膜装置(1)中,具备:具有载置涂覆对象物(W)的载置面(2a)的台架(2)、使台架(2)在沿载置面(2a)的旋转方向旋转的旋转机构(3)、将材料排出到台架(2)上的涂覆对象物(W)上并进行涂覆的涂覆喷嘴(4)、使台架(2)和涂覆喷嘴(4)在与旋转方向相交的交差方向沿载置面(2a)相对移动的移动机构(5)、一面通过旋转机构(3)使载置了涂覆对象物(W)的台架(2)旋转,一面通过移动机构(5)使台架(2)和涂覆喷嘴(4)在交差方向沿载置面(2a)相对移动,进行通过涂覆喷嘴(4)将向台架(2)上的涂覆对象物(W)涂覆材料的控制的控制部(10)、清洗涂覆喷嘴(4)的清洗装置(7)。
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公开(公告)号:CN101027138B
公开(公告)日:2010-08-25
申请号:CN200580017981.X
申请日:2005-06-01
Applicant: 芝浦机械电子装置股份有限公司
CPC classification number: B05C11/08 , B05D1/005 , B05D7/56 , G11B7/266 , Y10T156/10 , Y10T428/31504
Abstract: 本发明提供可用简单的顺序、使贴合前的基板上或已涂敷的基板上的树脂层均匀化的树脂层形成方法及树脂层形成装置、以及盘及盘的制造方法。一边使基板(P)低速旋转,一边在内周侧涂敷粘接剂(A),通过使基板(P)高速旋转,在基板(P)的表面形成第一粘接剂层(AL1),对第一粘接剂层(AL1)的内周侧照射紫外线、使其硬化,这样,在基板(P)的旋转中心周围形成台阶部(H),在台阶部(H)的基板(P)的旋转中心侧,涂敷粘接剂(A),使基板(P)高速旋转,以此在第一粘接剂层(AL1)上形成第二粘接剂层(AL2)。第一粘接剂层(AL1)和第二粘接剂层(AL2)一体化,整体作为均匀的粘接层(B)。
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公开(公告)号:CN101784924A
公开(公告)日:2010-07-21
申请号:CN200880105214.8
申请日:2008-08-21
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: G02B5/30
CPC classification number: G02B5/305 , B05D1/005 , B05D1/18 , B05D3/067 , B05D5/06 , G02B5/3033 , Y10T428/269 , Y10T428/31551 , Y10T428/31601
Abstract: 本发明描述了偏振制品及其制备方法。所述方法适用于制备具有高度的耐久性和增加的偏振效率的偏振制品。所述偏振制品可用于需要减少或消除炫光的任何制品。
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公开(公告)号:CN1297976C
公开(公告)日:2007-01-31
申请号:CN200410057344.2
申请日:2000-10-08
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 宇佐美由久
CPC classification number: G11B7/24 , B05C11/08 , B05D1/005 , B05D3/0406 , G11B7/26
Abstract: 一种信息记录媒体的制造方法,其在主板(202)上,具有可记录信息的记录层(204),在使形成有色素记录层(204)的主板(202)高速旋转的同时,使空气流过,进行干燥的场合,在使上述主板(202)高速旋转的装置顶部的开口部(422)上,设置在中心部具有圆形的开口部(512)的盖(504),用于使清洁的空气进入的进气口变窄。
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