由纳米聚合物中空粒子组成的多孔防反射薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN102030483B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201010523969.9

    申请日:2010-10-29

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 孙志娟 罗英武

    Abstract: 本发明公开了一种由纳米聚合物中空粒子组成的多孔防反射薄膜的制备方法。它的步骤如下:1)将纳米聚合物胶囊配制成质量百分比浓度为3~7%的水分散液,通过匀胶机在基材表面进行单面或双面旋涂,形成含纳米聚合物胶囊的薄膜;2)将上述含纳米聚合物胶囊的薄膜经真空高温干燥,待薄膜中纳米聚合物胶囊的核心材料完全挥发后,纳米聚合物胶囊变成了纳米聚合物中空粒子,得到由纳米聚合物中空粒子组成的多孔防反射薄膜。本发明的制备工艺简单,通过改变纳米聚合物胶囊水分散液的浓度和纳米聚合物中空粒子的空腔体积分率可方便有效的调节多孔防反射薄膜的厚度和折光指数,且所制备的多孔防反射薄膜具有较高的机械强度和耐摩擦性能。

    显影装置
    33.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101414132B

    公开(公告)日:2012-01-11

    申请号:CN200810166610.3

    申请日:2008-10-15

    CPC classification number: G03F7/30 B05D1/005 G03F7/2041 G03F7/3021 H01L21/6715

    Abstract: 一种显影装置,具有:旋转卡盘,其用于保持基板,而且所保持的所述基板能够自由旋转;显影液喷嘴,其形成有排成一列的喷出显影液的多个喷出口,并且使各喷出口喷出的显影液以相互分离的状态附着到基板上;水平移动机构,在俯视观察时,其将喷出口的排列方向保持在朝向基板中心的一个方向,同时沿该一个方向移动显影液喷嘴,从而在俯视观察时于基板的大致中心和周边缘之间移动显影液喷嘴;控制部,其控制旋转卡盘和水平移动机构,使显影液分别以螺旋状从各喷出口附着到基板上,从而对基板进行显影。

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