一种机柜式板式臭氧发生器

    公开(公告)号:CN106115627A

    公开(公告)日:2016-11-16

    申请号:CN201610466893.8

    申请日:2016-06-24

    Abstract: 本发明公开了一种机柜式板式臭氧发生器,包括:弱电控制机柜、强电控制机柜、高频电源箱机柜及臭氧放电室机柜;所述强电控制机柜分别与所述弱电控制机柜、高频电源箱机柜连接,所述臭氧放电室机柜分别与所述弱电控制机柜、高频电源箱机柜连接。实现了安全稳定的产生臭氧气体,具备安全性高;稳定性、可靠性好;运行成本低,能耗少;臭氧产量高;臭氧产量不衰减;体积小(占地空间仅为传统设备的70%)、操作简便、易维护;方便运输、安装等优点。

    臭氧气体供给系统
    34.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103459307B

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201180069523.6

    申请日:2011-03-24

    CPC classification number: B01J12/00 C01B13/11 C01B2201/64 C01B2201/90

    Abstract: 本发明的目的在于获得一种臭氧气体供给系统,其搭载有向放电面涂敷用于生成臭氧的光催化剂物质的无氮添加臭氧产生器(1),并能够向各臭氧处理装置供给可靠性高的臭氧气体。而且,本发明尤其是在原料气体供给部设置用于去除原料气体所含有的水分的机构(59),使向臭氧气体供给系统供给的原料气体所含的水分量减少,并且具有臭氧气体输出流量管理单元(9),该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自多个无氮添加臭氧产生单元(7-1~7-n)的多个臭氧气体输出,利用在内部设置的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作,以多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合,向多个臭氧处理装置(12-1~12-n)中的任意臭氧处理装置选择性地输出而能够执行臭氧气体输出流量控制。

    臭氧气体发生装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN102712472B

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201080043675.4

    申请日:2010-09-21

    Inventor: 松野敬 竹村理

    Abstract: 本发明公开了一种臭氧气体发生装置。该臭氧气体发生装置在一对电极(14、14)的各相向面侧分别设置有一个电介质(13)。在一对电介质(13、13)之间形成有放电间隙(20),该放电间隙(20)与原料气体供给通路和臭氧气体排出通路连接。在一对电介质(13、13)上设置有面向放电间隙(20)的功能膜(17)。功能膜(17)中包含:选自铌、钽、钼、铬中的一种或两种以上金属的第一金属氧化物、以及选自钛、钨、锌、铁中的一种或两种以上金属的第二金属氧化物。

    用于多腔室工具的臭氧系统

    公开(公告)号:CN101243369A

    公开(公告)日:2008-08-13

    申请号:CN200680030056.5

    申请日:2006-07-07

    Abstract: 用于控制与多腔室工具有关的臭氧浓度的改进系统和方法。该系统和方法包括与臭氧发生器相组合的第一和第二浓度控制器。第一浓度控制器检测EVENT(即,多腔室工具中的腔室之一进入在线或离线状态),并且作为响应根据预测控制算法而把功率指令提供给臭氧发生器。第一浓度控制器具有快速(即,约1秒)的响应时间。在EVENT期间,第二浓度控制器对于臭氧发生器而言是屏蔽起来的,但是在EVENT后消逝一段时间间隔之后就控制该发生器。第二浓度控制器具有比第一浓度控制器要慢的响应时间,然而,第二浓度控制器给系统提供了长期的稳定性,并且可以用于向预测控制算法提供经更新的数据。

Patent Agency Ranking