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公开(公告)号：CN100342518C
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200410031053.6
申请日：2004-04-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/68 , H01L21/205 , H01L21/3065 , C23C14/00 , C23C16/00 , H01J3/00 , H01J19/00 , H01J37/00
CPC classification number: H01L21/67207 , C23C16/54 , H01L21/67063 , H01L21/67069 , H01L21/67161 , H01L21/67173 , H01L21/67201
Abstract: 本发明涉及用于处理待处理物体的处理设备、处理方法、压力控制方法、被处理物体传送方法以及传送设备。提供了一种可以有效地进行多个处理的被处理物体处理设备。多个处理系统可连通地在一线连接在一起并在其中处理被处理物体。负载锁定系统可连通地连接到处理系统并具有将被处理物体送进和送出每个处理系统的传送机构。至少一个处理系统是真空处理系统，负载锁定系统设置在适当的位置以与处理系统形成一线。
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公开(公告)号：CN1110059C
公开(公告)日：2003-05-28
申请号：CN97181414.7
申请日：1997-09-29
Applicant: 英特尔公司
IPC: H01J3/00
CPC classification number: G06F13/4081 , G06F1/1632 , Y02D10/14 , Y02D10/151
Abstract: 现有技术静止对接和脱离对接的方法使用了位于笔记本计算机(10)内部的接口，这增加了笔记本计算机(10)的成本、复杂性、重量和功耗。本发明提供的用于将笔记本计算机(10)与对接站(11)静止对接的装置包括位于对接站内的接口电路。当笔记本计算机已经插入对接站(11)内部时接口进行检测，相应地接通开关，从而公共系统总线耦合在笔记本计算机(10)和对接站(11)之间。接口还产生事件使软件操作以配置笔记本计算机(10)和对接站而无需用户事先干涉。该接口还包括检测脱离对接请求的电路，并且相应地脱离对接计算机，以致于不会影响正发生在系统总线上的事务。
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公开(公告)号：CN1114951A
公开(公告)日：1996-01-17
申请号：CN95114813.3
申请日：1995-03-21
Applicant: 三菱电机株式会社 , 三菱电机家庭机器株式会社
Abstract: 一种形成矿泉水的装置，其包括一个主体外壳，一个装放在该主体外壳内的贮罐；至少两个设置在该贮罐上的循环口；一个连接到循环口中之一个上的矿泉水形成过滤器；一个连接于循环口之间的循环泵；一个设置在贮罐上用于排放贮罐内的矿泉水的排水口，一个具有用于一个将矿泉水供应到主体外壳外侧的供水口的供水管；和一个连接于排水口和供水口之间的供水泵。
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公开(公告)号：CN2691037Y
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：CN200320127486.2
申请日：2003-12-01
Applicant: 刘茹
Inventor： 刘茹
Abstract: 一种缺相供电器。主要解决现有技术中缺乏一种可以在单相电源失电时将用电器的电源输入端自动切换到未曾失电的其它相电源上的供电装置的问题。其特征在于：所述缺相供电器主要由两个交流接触器CJ1、CJ2构成，A相电源经过串联连接的两个交流接触器CJ1、CJ2的两对常闭触点进入用电器；B相电源经过串联连接的交流接触器CJ1的一对常开触点和交流接触器CJ2的一对常闭触点进入用电器；C相电源经过交流接触器CJ2的一对常开触点进入用电器；C相电源为交流接触器CJ2的线圈供电，B相电源经过交流接触器CJ2的一对常闭触点为交流接触器CJ1供电。具有可保证单相交流电的用户不会因三相交流电源缺相而断电的特点。
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公开(公告)号：JPS622422A
公开(公告)日：1987-01-08
申请号：JP4596186
申请日：1986-03-03
Applicant: TOSHIBA CORP
Inventor： NAKAMURA MAKOTO , UNO SHINTARO
Abstract: PURPOSE:To enhance channel utilization efficiency by dividing repeatedly a sub-group into further sub-groups having exclusively usable number of channels and realizing a communication channel having a layered structure. CONSTITUTION:A communication channel is divided into successive channel groups each of which has the largest number of exclusively usable channels for information transfer to be regarded as the first sub-group. Next, the first sub-group is divided repeatedly into further sub-groups having exclusive usable number of channels respectively, whereby a layer structured communication channel having the second, the third...sub-groups is obtained. And any information relating to channel access requirements is assigned to a sub-group having its exclusively usable number of channels necessary for information transfer. It follows from the above that idle channels exist in every fixed sub-group unit, information to be transferred can be assigned in good order and the succassive channels corresponding to a sub-group can easily be left, whereby channels utilization efficiency is enhanced.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JPS5017321Y1
公开(公告)日：1975-05-28
申请号：JP6996870
申请日：1970-07-13
IPC: H01J3/02 , H01J3/00 , H01J37/06 , H01J37/067
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公开(公告)号：JP2006525644A
公开(公告)日：2006-11-09
申请号：JP2006513439
申请日：2004-04-29
Applicant: アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド
Inventor： ビクター ベンベニステ
IPC: H01J37/04 , H01J3/00 , H01J37/304 , H01J37/317 , H01L21/265
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J2237/2446 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/24542
Abstract: 【課題】ターゲットでの実質的に均一な投与分布を得るために、均一なビームを得ること。
【解決手段】本発明はイオンビーム２０８全体（例 リボン状ビームのより広い部分）にわたって、種々の位置で入射角およびビーム電流の均一性を検出することによって、半導体装置の製造を容易にする。 多くの要素からなる１以上の均一性検出器が、イオン注入システム内（単一のウエハ及び／あるいは複数のウエハに基づくシステム）で使用される。 各要素は、入射するイオンビームの関数として、ビーム電流を測定する一対のセンサ２０２、２０４と、入射するイオンビームからビームレット２１０を選択的に得るマスク２０６の開口２１４とを含む。 特定の要素に対する入射角は、センサ対による測定されたビーム電流から少なくとも部分的に決定される。 結果としてイオンビームの生成は均一性が改善され、イオン注入は、改善された均一性と、厳しいプロセス制御の下で実行される。 -
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